Residual Gas Analyzer는 실시간으로 진공 시스템의 공정을 관측하기에 용이한 센서입니다. 반도체/디스플레이 시장에서는 공정을 이해하고 결함을 모니터링하는 것이 제조 센터에서 훨씬 높은 우선순위가 되었습니다. RGA를 사용함에 있어 보다 세부적인 정보를 제공함으로서, RGA를 보다 효과적으로 사용할 수 있도록 기초교육을 준비하였습니다.
교육 내용 : 1) 용어 정의 2) Mass Spectrum 3) RGA 이론 4) RGA 제품 종류 5) RGA 유지보수 6) 활용 사례 소개
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