RF 감지 기술
ADC100
ADC100 시스템은 실시간으로 플라즈마 아킹을 검출하기 위해 DC 발전기에 연결됩니다
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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ADC100 시스템은 실시간으로 플라즈마 아킹을 검출하기 위해 DC 발전기에 연결됩니다. 이것은 웨이퍼 처리를 중단하고 엔지니어들에게 잠재적 하드웨어 또는 제품 손상을 알려주는 기능을 제공합니다.
특징
- FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템을 통해 소프트웨어를 도구에 통합
- 채널당 250 kHz에서 데이터 수집
- 대부분의 DC 발생기에 맞춤형 케이블 연결
- 미리 정의된 분석 도구를 통해 아크를 빠르게 검출
제품은 다음 마켓에서 사용됩니다
