FabGuard® FDC
더 스마트한 제조를 위한 스마트 모니터링
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인피콘 FabGuard는 반도체 및 하이테크 제조를 위해 설계된 업계 최고의 공정 모니터링 및 결함 감지 시스템입니다. 실시간 데이터 분석과 AI 기반 인사이트를 활용하여 FabGuard는 생산에 영향을 미치기 전에 문제를 감지하고 가동 중단 시간을 줄이며 수율 효율성을 향상시킬 수 있도록 지원합니다.
FabGuard는 팹 장비 전반의 원활한 통합을 통해 더 높은 처리량, 낮은 결함률, 향상된 운영 신뢰도를 보장하여 정밀 제조 분야에서 경쟁 우위를 확보할 수 있도록 지원합니다.
더 스마트한 제조를 위한 실시간 공정 모니터링
인피콘의 FabGuard FDC 시스템은 탁월한 연결성, 데이터 수집 및 실행 가능한 인사이트를 제공하여 반도체 제조를 최적화합니다. 엔지니어는 툴 성능과 공정 효율성에 대한 심층적인 가시성을 확보하여 보다 현명한 의사 결정과 지속적인 개선을 실현할 수 있습니다. 기존의 결함 감지 및 분류(FDC) 방식을 뛰어넘어 FabGuard는 고급 비지도 머신 러닝이 포함된 SmartFDC®를 활용하여 공정 변화를 자동으로 감지함으로써 응답 시간을 단축하고 수율을 개선하며 생산 효율성을 극대화합니다.
장점
- 프로세스 장비와 센서 데이터의 원활한 통합
- 엣지 컴퓨팅
- 온프레미스 또는 클라우드 기반
- 실시간 및 런바이런 분석
- 센서, 게이지, IoT/ IIoT, 프로세스 도구에 대한 세계적 수준의 연결성
- 자동 머신 러닝
지능형 프로세스 모니터링 및 제어
FabGuard는 엔지니어에게 다양한 센서, 게이지, 시설 및 장치에 대한 종합적인 실시간 인사이트를 제공하는 고급 공정 모니터링 시스템입니다. 여러 소스의 데이터를 원활하게 통합하여 공정 장비에 대한 탁월한 가시성을 제공하므로 더 현명한 의사 결정, 향상된 공정 제어 및 향상된 제조 효율성을 실현할 수 있습니다.
- 센서 RGA, OES, RF/DC, 쿼츠 크리스탈 마이크로밸런스
- 게이지: 넓은 범위 진공, 고정밀 진공, 질량 유량, 액체 유량
- 시설 펌프, 저감, 히터, 냉각기, 화학 물질 전달
- 고속: 가속도계, 아크 감지, 고속 아날로그
적응형 실시간 데이터 수집을 통해 FabGuard는 정확한 결함 감지 및 공정 특성화를 위해 중요한 데이터를 적시에 캡처할 수 있도록 보장합니다. 동적 데이터 수집 기능은 툴 대역폭을 최적화하여 성능 저하 없이 데이터의 깊이와 폭을 극대화합니다. 공정 조건, 센서 및 장비 구성 요소에 맞춰 실시간으로 조정함으로써 FabGuard는 더 스마트한 인사이트, 더 빠른 응답 및 탁월한 공정 최적화를 제공합니다.
팩토리를 혁신하는 전문성
인피콘은 모든 팩토리에 심도 있는 공정 및 장비 전문 지식을 제공하여 엔지니어가 실제 제조 문제를 정밀하고 효율적으로 해결할 수 있도록 지원합니다. 당사의 현장 서비스 및 소프트웨어 개발 팀은 업계 베테랑으로 구성되어 있어 생산 환경의 고유한 요구 사항을 충족하도록 FabGuard를 맞춤화할 수 있습니다.
모든 웨이퍼 직경, 평판 크기, 소자 형상 및 기판 유형에 대한 경험을 바탕으로 인피콘은 최소한의 자동화 또는 완전 자동화된 스마트 제조 시스템 운영 등 모든 수준의 팹을 지원합니다. 첨단 기술과 업계 실무 지식을 결합하여 공정을 최적화하고, 장비 성능을 향상시키며, 수율을 높일 수 있도록 지원합니다.
인피콘의 AI 기반 전문가에게 문의하세요.
고급 LLM(대규모 언어 모델) 기술을 기반으로 구축된 '인피콘에 질문'은 실시간 지원을 제공하여 반도체 제조업체가 필수 제품 지식에 빠르게 액세스할 수 있도록 지원합니다. 지식 도우미는 FabGuard 웹 어플리케이션과 통합되어 FabGuard 도움말, 교육 자료, 센서 설명서 및 기타 최종 사용자 리소스를 통합하여 엔지니어와 운영자가 문제를 해결하고, 오류 감지 및 센서화 개념을 이해하고, FabGuard 기능에 대한 이해를 높일 수 있도록 지원하며, 이 모든 것이 원활한 AI 기반 인터페이스 내에서 이루어집니다.
