가스 분석
반도체, 배터리, 디스플레이, 에너지, 제약 및 의료, 연구 및 학술, 일반 진공 코팅 산업을 포함한 다양한 산업 분야에서 정확하고 신뢰할 수 있는 가스 분석을 위해 설계된 고급 가스 분석기 제품군을 살펴보세요. 귀하의 필요에 맞는 올바른 가스 분석기를 찾으려면 당사의 솔루션을 살펴보세요.
결과를 얻으려면 필터를 재설정하세요.
다압 ALD/CVD 및 식각을 위한 고급 공정 전문가
- 가혹한 공정 환경에서 수명이 연장되도록 코팅된 부품
- 다중 압력 샘플링 입구
- 10ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
단일 압력 ALD/CVD 및 에칭을 위한 고급 공정 전문가
- 가혹한 화학 물질에서 수명을 연장하기 위해 코팅된 부품
- 고온 단일 압력 주입구
- 10ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
고급 프로세스 모니터링을 위한 컴팩트한 프로세스 전문가
- HexBlock 다중 압력 샘플링 주입구
- 200ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
- 시스템 부피 30% 감소
Extreme PVD 공정 모니터링 사중극자 질량분석기
- 업계 최고의 최대 작동 압력
- 선택적 과압 차단 밸브 인터록
- 최대 100amu 스캔
고성능 사중극자 질량분석기
- 90년 다이내믹 레인지
- 업계 최고의 데이터 수집 속도
- 교환 가능한 센서 및 전자 장치
- 최대 300amu 스캔
다목적 사중극자 질량분석기
- 90년 다이내믹 레인지
- 교환 가능한 센서 및 전자 장치
- 선택적 연속 다이노드 전자 증배기
- 최대 200amu 스캔
목표 압력 범위에서 프로세스 모니터링
- 표적 고압 프로세스
- 단일 압력 샘플링 입구
- 1ppm 미만의 검출 한계
- 통합 차동 펌핑 시스템
QMG 700 Analytical Mass Spectrometer는 검출 장벽을 허물고 다음 단계의 혁신으로 프로세스를 추진합니다.
- 1-512 amu의 질량 범위 옵션
- 9 디케이드 이상의 동적 범위
- 매우 빠른 측정 속도: 0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
INFICON Augent® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
- 고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능
- 생산성 및 수율 증가
- 긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
- 공정 화학물질에 대한 내구성
최첨단 반도체 제조 공정 및 기타 가스 분석 애플리케이션을 위한 실시간 누출 감지, 엔드포인트 감지 및 공정 모니터링을 제공합니다.
- 1 토르에서 최대 450 토르까지 작동 범위
- 1ppm 미만의 우수한 검출 한계
- 장기적인 신뢰성: 펌프 불필요
- KF25 연결을 사용한 간편한 설치
중요한 프로세스 환경에 대한 실시간 누출 감지 및 끝점 감지 제공
- 10 mTorr ~ 1 Torr의 작동 범위
- 낮은 ppm 수준까지 뛰어난 검출 한계
- 장기적인 신뢰성: 펌프가 필요하지 않음
- 표준 KF25 연결을 사용한 손쉬운 설치
연소 효율 최적화
- 효율, O2, CO2, CO 및 연도 가스 온도 측정값을 모두 한 화면에 표시합니다.
- 읽기 쉬운 백라이트 디스플레이
- 내장 압력계 및 호스 키트로 시스템 압력 모니터링
- FLUE-Mate 모바일 앱을 사용하여 빠른 분석 보고서를 위한 QR 코드
Micro GC Fusion 기술은 신속한 온도 램핑과 모듈식 아키텍처를 통해 상당한 처리량 향상을 제공합니다
- 분석 시간 최소화
- 가용성 극대화
- 라이센스 필요 없는 액세스
- 손쉬운 연결성
시료 온도를 50°C(122°F) 이상으로 유지하면서 감압 기능을 모두 제공합니다.
- Micro GC Fusion에 쉽게 부착
- 측면 도어가 있어 필터 교체가 용이
- 퀵 커넥트 피팅을 사용하여 샘플링이 용이합니다.
- 현장 샘플링을 위해 현장으로 가져갈 수 있음
Micro GC Fusion은 기존 소프트웨어에 비해 몇 가지 새로운 이점을 제공하는 웹 기반 사용자 인터페이스를 활용합니다. 각 기기에는 라이선스가 필요 없는 소프트웨어가 내장되어 있으므로 설치할 필요가 없습니다.
- 운영 체제 독립적
- 라이선스 프리
- 모든 악기와 함께 제작
- 설치 불필요
고급 가스 분석기 및 산업용 가스 분석 솔루션
인피콘은 중요한 산업 응용 분야에 정확한 가스 분석을 제공하는 고급 가스 분석기를 제공합니다. 인피콘의 분석기는 정확한 가스 탐지 및 모니터링에 필수적이며, 반도체 제조 공정 최적화 및 환경 제어를 포함한 다양한 분야에서 산업이 안전, 규정 준수 및 운영 효율성을 유지할 수 있도록 지원합니다.
그 강력한 예가 바로 Transpector® APX 다중 압력 질량 분석기입니다. 이 분석기는 여러 압력에 대한 실시간 모니터링을 제공함으로써 잔류 가스 분석에 탁월합니다. 이 분석기는 반도체 제조에 이상적입니다. 가스 구성에 대한 빠르고 정확한 데이터를 제공하여 생산 환경을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 이 분석기의 다양성과 정확성은 품질 표준을 유지하고 공정 중단을 최소화하는 데 매우 유용합니다.
인피콘의 산업용 가스 분석 솔루션은 기업들이 가스 탐지 및 모니터링 시스템의 신뢰성을 신뢰할 수 있도록 보장합니다. 인피콘 분석기를 사용하면 산업계는 규제 기준을 자신 있게 충족하고, 안전성을 개선하며, 공정 효율성을 높일 수 있어 현대 산업 운영의 필수 구성 요소가 될 수 있습니다.