광학 가스 분석 및 총 압력 측정을 위한 듀얼 게이지

Augen® OPG550

광학 플라즈마 진공 게이지

ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

인피콘 Augent^® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
Augent는 1 x 10-7에서 5 mbar까지의 가스 유형 모니터링과 동시에 1 x 10-7 mbar에서 대기압까지의 전체 압력을 측정하기 위해 두 가지 센서 기술을 하나의 소형 장치에 결합합니다.
Augent는 인테그레이션된 피라니 센서로 보호되어 20mbar 이상에서 플라즈마를 차단합니다.
빠른 광학 측정 원리를 통해 원칙적으로 모든 유형의 가스를 감지할 수 있습니다.

장점

고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능
생산성 및 수율 증가
긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
공정 화학물질에 대한 내구성
손쉬운 인테그레이션을 위한 스마트 알고리즘
컴팩트한 디자인 및 작은 설치 공간
안정적이고 빠른 시작

3D Model

확대/축소 및 이동을 통해 Augent® OPG550을 자세히 살펴보세요.

단계별 튜토리얼을 통해 인피콘 Augent^® 광학 플라즈마 게이지의 센서를 직접 쉽게 세척하는 방법을 알아보세요.

Watch: How to clean the sensor?

사양서

측정 범위 N₂	mbar Torr	1×10^-7 … 5 (7.6×10^-8 … 3.8)
정확도 총 압력 판독값 N₂

1 x 10^-7 ... 100 mbar	읽기 비율	30
100 ... 1000 mbar	읽기 비율	50

반복성 총 압력 판독값 N₂

1 x 10^-7 ... 100 mbar	읽기 비율	5

온도

작동(주변)	°C	+5 … +50
보관	°C	-20 … +70
전자 장치가 있는 플랜지에서 베이크 아웃	°C	<80
전자 장치가 없는 플랜지에서 베이크 아웃	°C	<120

공급 전압

게이지에서	V (dc)	+14.5 … +30
리플	V (p-p)	<1
전력 소비	W	<5
연결할 퓨즈	AT	1

진공에 노출된 재료

일반	일반	_Al2O3, 스테인리스 스틸
양극	양극	몰리브덴
이온화 챔버	이온화 챔버	티타늄, 스테인리스 스틸
점화 보조 장치	점화 보조 장치	스테인리스 스틸

악세사리

스페어 파트

파트 넘버	설명

303-333	진단 포트용 진단 케이블(RS232), 2m
351-051	아날로그 출력 및 RS232 라인이 있는 24V(dc) 전원 공급 장치
351-052	광학 창 클리닝 키트(PN 3OF1-xxx-xxxx가 있는 게이지용)

파트 넘버	설명

351-594	교체용 센서 DN ISO 16 KF
351- 595	교체용 센서 DN 16 CF-R
351-597	교체용 센서 DN ISO 25 KF
351-598	교체용 센서 DN ISO 40 KF
351-599	교체용 센서 DN ISO 40 CF-F
351-596	교체용 센서 8 VCR 암
351-055	예비 이온 챔버 TI - OPG550
351-995	MxG40x/50x, OPG550 예비 부품 점화 보조 장치(10)