광학 가스 분석 및 총 압력 측정을 위한 듀얼 게이지
Augen® OPG550
광학 플라즈마 진공 게이지
ACADEMY
산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?
인피콘 Augent® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
Augent는 1 x 10-7에서 5 mbar까지의 가스 유형 모니터링과 동시에 1 x 10-7 mbar에서 대기압까지의 전체 압력을 측정하기 위해 두 가지 센서 기술을 하나의 소형 장치에 결합합니다.
Augent는 인테그레이션된 피라니 센서로 보호되어 20mbar 이상에서 플라즈마를 차단합니다.
빠른 광학 측정 원리를 통해 원칙적으로 모든 유형의 가스를 감지할 수 있습니다.
장점
- 고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능
- 생산성 및 수율 증가
- 긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
- 공정 화학물질에 대한 내구성
- 손쉬운 인테그레이션을 위한 스마트 알고리즘
- 컴팩트한 디자인 및 작은 설치 공간
- 안정적이고 빠른 시작
3D Model
확대/축소 및 이동을 통해 Augent® OPG550을 자세히 살펴보세요.
단계별 튜토리얼을 통해 인피콘 Augent® 광학 플라즈마 게이지의 센서를 직접 쉽게 세척하는 방법을 알아보세요.
사양서
| 측정 범위 N2 | mbar Torr | 1×10-7 … 5
|
| 정확도 총 압력 판독값 N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 mbar | 읽기 비율 | 30 |
| 100 ... 1000 mbar | 읽기 비율 | 50 |
| 반복성 총 압력 판독값 N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 mbar | 읽기 비율 | 5 |
| 온도 | ||
| 작동(주변) | °C | +5 … +50 |
| 보관 | °C | -20 … +70 |
| 전자 장치가 있는 플랜지에서 베이크 아웃 | °C | <80 |
| 전자 장치가 없는 플랜지에서 베이크 아웃 | °C | <120 |
| 공급 전압 | ||
| 게이지에서 | V (dc) | +14.5 … +30 |
| 리플 | V (p-p) | <1 |
| 전력 소비 | W | <5 |
| 연결할 퓨즈 | AT | 1 |
| 진공에 노출된 재료 | ||
| 일반 | 일반 | Al2O3, 스테인리스 스틸 |
| 양극 | 양극 | 몰리브덴 |
| 이온화 챔버 | 이온화 챔버 | 티타늄, 스테인리스 스틸 |
| 점화 보조 장치 | 점화 보조 장치 | 스테인리스 스틸 |
악세사리
스페어 파트
| 파트 넘버 | 설명 |
| 303-333 | 진단 포트용 진단 케이블(RS232), 2m |
| 351-051 | 아날로그 출력 및 RS232 라인이 있는 24V(dc) 전원 공급 장치 |
| 351-052 | 광학 창 클리닝 키트(PN 3OF1-xxx-xxxx가 있는 게이지용) |
| 파트 넘버 | 설명 |
| 351-594 | 교체용 센서 DN ISO 16 KF |
| 351- 595 | 교체용 센서 DN 16 CF-R |
| 351-597 | 교체용 센서 DN ISO 25 KF |
| 351-598 | 교체용 센서 DN ISO 40 KF |
| 351-599 | 교체용 센서 DN ISO 40 CF-F |
| 351-596 | 교체용 센서 8 VCR 암 |
| 351-055 | 예비 이온 챔버 TI - OPG550 |
| 351-995 | MxG40x/50x, OPG550 예비 부품 점화 보조 장치(10) |
파트 넘버
다운로드
매뉴얼
3D Step Files
Augent® OPG550 3D KF25 EtherCAT
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3D 파일
Augent® OPG550 3D KF25 PROFINET
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5,6 MB
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3D 파일
Augent® OPG550 3D KF16
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3,6 MB
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3D 파일
Augent® OPG550 3D CF16
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3,7 MB
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3D 파일
OPG550 8VCR
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4,8 MB
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3D 파일
OPG550 CF40
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4,9 MB
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3D 파일
OPG550 KF25
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4,9 MB
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3D 파일
OPG550 KF40
stp
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4,7 MB
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3D 파일
