질량 분석기

QMG 800

탁월한 감도, 정밀도, 탁월한 분석 기능으로 한계를 뛰어넘다

인피콘 QMG 800은 QMG 700의 뒤를 잇는 차세대 분석 질량 분석기입니다. QMG 800은 분석 공정 모니터링을 위한 시장을 선도하는 잔류 가스 분석기(RGA)입니다.

고객의 고유한 요구 사항을 인식한 인피콘은 업계 최고의 측정 속도와 감도를 유지하면서 특정 응용 분야 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 높이기 위해 QMG 800을 개발했습니다. QMG 800은 광범위한 분석 질량 분석 응용 분야에 향상된 성능과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 오염 모니터링 프로세스에서 정밀하고 정확한 분석을 위한 이상적인 선택으로 다양한 산업 분야에서 최고 수준의 순도 및 품질 관리를 보장합니다. 사용자는 성능과 경험을 향상시키기 위해 최첨단 기술을 통합한 QMG 800의 디지털 발전에 만족할 것입니다.

50년 이상 분석 질량 분석 분야에서 탁월한 선구자적 역할을 해온 인피콘 QMG 800은 가스 분석 투자에 대한 새로운 기준을 제시합니다. 엔드레스하우저의 글로벌 전문성과 혁신을 향한 노력이 뒷받침하는 탁월한 정확도와 정밀도를 경험해 보십시오.

매번 신뢰할 수 있는 결과를 얻으려면 QMG 800을 선택하세요.

특징

고급 디지털 플랫폼으로 OPC UA를 통한 통신 가능
원활한 OEM 인테그레이션
다양한 어플리케이션을 위한 이온 소스 옵션
탁월한 진단을 위해 전체 FabGuard® 소프트웨어 제품군과 완벽하게 호환됩니다.
라디칼 및 비이온화 입자로 인한 노이즈를 최소화하는 90° 오프 액시스 SEM
단일 이온 감지 기능으로 탁월한 정밀도와 감도 제공
AMU당 125 microseconds의 업계 최고 측정 속도

일반적인 어플리케이션

오염 감지
가스 순도 모니터링
엔드포인트 감지
분자 빔 에피택시 모니터링

사양

QMA 400

QMA 430

질량 범위	1-512 amu

로드 재질	몰리브덴

최대. 작동 압력(EM)	1 E-5 mbar

패러데이 감도

축 방향 이온 소스	3E-4 A/mbar

크로스 빔 이온 소스	7E-5 A/mbar

크로스 빔 가스 타이트 이온 소스	7E-5 A/mbar

자석이 있는 크로스 빔 이온 소스	7E-4 A/mbar

자석이 있는 크로스 빔 기체 밀착 이온 소스	7E-4 A/mbar

그리드 이온 소스	2E-4 A/mbar

분해능(조정 가능)	0.3 - 7 amu

감지 가능한 최소 분압	1 E-15 mbar

전자 승수를 사용한 분압 비율	< 0.5 ppb

Max. 작동 온도(센서 및 전자 장치)	150 °C

측정 속도	0.125 ms - 60 s/amu

질량 범위	1-300 amu

로드 재질	스테인리스 스틸

최대. 작동 압력(EM)	1 E-5 mbar

패러데이 감도

축 방향 이온 소스	2E-4 A/mbar

크로스 빔 이온 소스	8E-5 A/mbar

크로스 빔 가스 타이트 이온 소스	8E-5 A/mbar

자석이 있는 크로스 빔 이온 소스	7E-4 A/mbar

자석이 있는 크로스 빔 기체 밀착 이온 소스	7E-4 A/mbar

그리드 이온 소스	2E-4 A/mbar

분해능(조정 가능)	0.3 - 7 amu

감지 가능한 최소 분압	2E-15 mbar

전자 승수를 사용한 분압 비율	< 1 ppb

Max. 작동 온도(센서 및 전자 장치)	150 °C

측정 속도	0.125 ms - 60 s/amu