질량 분석기

Transpector® CPX

고급 프로세스 모니터링을 위한 컴팩트한 프로세스 전문가

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향상된 성능, 검증된 안정성 및 어플리케이션 다양성

인피콘 트랜스펙터 CPX는 반도체 제조의 고급 공정 모니터링을 위한 시장을 선도하는 잔류 가스 분석기(RGA)입니다. 인피콘은 반도체 제조 공정에는 어플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성이 필요한 특정 요구 사항이 있다는 것을 잘 알고 있습니다. Transpector CPX는 이러한 다목적성을 염두에 두고 설계되었으며, 다중 압력 HexBlock 인렛과 다양한 기능 옵션을 통해 어플리케이션 요구 사항을 충족합니다.

차세대 Transpector CPX는 업계 최고의 펌핑 시스템을 유지하면서 이전 세대*보다 부피가 30% 감소했습니다. 옵션으로 Transpector CPX에 이중 필라멘트 폐쇄형 이온 소스를 장착하여 작동 중 수명과 RGA 가동 시간을 개선할 수 있습니다. 또한 Transpector CPX는 더욱 스마트한 제어 기능을 갖춘 시스템입니다.

*트랜스펙터 CPM 3과 비교

장점

다양한 응용 분야를 위한 최대 3개의 압력 인렛을 갖춘 구성 가능한 HexBlock
공간 제약이 있는 어플리케이션에서 더 쉬운 RGA 통합을 위해 Transpector CPM 3보다 시스템 부피가 30% 감소했습니다.
듀얼 필라멘트 기능 옵션으로 수명 연장 및 RGA 가동 시간 증가
업계 최고의 펌핑 시스템과 온도 제어 가열 카트리지로 시스템 복잡성 감소
자동화된 교정을 통해 센서 간 및 도구 간 챔버 매칭을 위한 장기적인 데이터 신뢰성 및 정확성 보장
Transpector CPX는 FabGuard 소프트웨어와 통합되고 세계적인 수준의 어플리케이션 전문가가 지원하면 강력한 공정 모니터링 및 진단 도구가 됩니다.

사양서

100 AMU

200 AMU

300 AMU CPM

검출 한계	< 200 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr to 1.2 ATM

감도(저방출)	> 4E-6 Amps/Torr

감도(고감도)	> 2E-5 Amps/Torr

검출 한계	< 500 ppb

공정 압력 범위	1E-8 Torr to 1.2 ATM

감도(저방출)	> 4E-6 Amps/Torr

감도(고감도)	> 2E-5 Amps/Torr

검출 한계	< 1 ppm

공정 압력 범위	1E-8 Torr to 1.2 ATM

감도(저방출)	> 4E-6 Amps/Torr

감도(고감도)	> 2E-5 Amps/Torr

전체 사양 다운로드

소모품

파트 넘버	설명
969-818-G2S	싱글 필라멘트 코팅 필라멘트 키트
969-818-G1S	싱글 필라멘트 텅스텐 필라멘트 키트
969-819-G3S	싱글 필라멘트 코팅 이온 소스 키트
969-819-G1S	싱글 필라멘트 텅스텐 이온 소스 키트
969-819-G2S	싱글 필라멘트 텅스텐 이온 소스 키트 + 양극 라이너
961-707-G1	전자 배율기 교체 키트
923-418-G2	2단계 펌프용 교체용 다이어프램 키트
923-711-G1	헥스블록 밸브 교체 키트