광학 가스 분석기
인피콘은 반도체, 디스플레이 및 기타 제조 공정에서 가스 분석을 위한 업계 최고의 광학 센서 솔루션을 제공합니다. 당사의 최첨단 기술은 현장 에어 리크 감지, 엔드포인트 감지 및 공정 모니터링을 통해 수율을 개선하고 폐기물을 최소화할 수 있도록 지원합니다.
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광학 가스 분석 및 총 압력 측정을 위한 듀얼 게이지
Augent® OPG550
INFICON Augent® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
Augen® OPG550
- 고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능
- 생산성 및 수율 증가
- 긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
- 공정 화학물질에 대한 내구성
광학 가스 분석기
Quantus® HP100
최첨단 반도체 제조 공정 및 기타 가스 분석 애플리케이션을 위한 실시간 누출 감지, 엔드포인트 감지 및 공정 모니터링을 제공합니다.
Quantus® HP100
- 1 토르에서 최대 450 토르까지 작동 범위
- 1ppm 미만의 우수한 검출 한계
- 장기적인 신뢰성: 펌프 불필요
- KF25 연결을 사용한 간편한 설치
광학 가스 분석기
Quantus® LP100
중요한 프로세스 환경에 대한 실시간 누출 감지 및 끝점 감지 제공
INFICON QUANTUS® LP100 가스 분석기
- 10 mTorr ~ 1 Torr의 작동 범위
- 낮은 ppm 수준까지 뛰어난 검출 한계
- 장기적인 신뢰성: 펌프가 필요하지 않음
- 표준 KF25 연결을 사용한 손쉬운 설치