질량분석기
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![8252-Transpector-APX-Multi-Pressure 8252-Transpector-APX-Multi-Pressure](/uploads/media/323x215/02/8252-Transpector-APX-Multi-Pressure.png?v=1-0)
질량 분석법
트랜스펙터 APX 다중 압력
다압 ALD/CVD 및 식각을 위한 고급 공정 전문가
트랜스펙터 APX 다중 압력
- 가혹한 공정 환경에서 수명이 연장되도록 코팅된 부품
- 다중 압력 샘플링 입구
- 10ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
![8251-Transpector-APX-ALD-Single-Pressure 8251-Transpector-APX-ALD-Single-Pressure](/uploads/media/323x215/01/8251-Transpector-APX-ALD-Single-Pressure.png?v=2-0)
질량분석기
Transpector® APX ALD 단일 압력
단일 압력 ALD/CVD 및 에칭을 위한 고급 공정 전문가
Transpector® APX ALD 단일 압력
- 가혹한 화학 물질에서 수명을 연장하기 위해 코팅된 부품
- 고온 단일 압력 주입구
- 10ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
![7484-Transpector-XPR3%2B 7484-Transpector-XPR3%2B](/uploads/media/323x215/04/7484-Transpector-XPR3%2B.png?v=1-0)
질량분석기
Transpector® XPR 3+
Extreme PVD 공정 모니터링 사중극자 질량분석기
TRANSPECTOR® XPR 3+ 잔류 가스 분석기
- 업계 최고의 최대 작동 압력
- 선택적 과압 차단 밸브 인터록
- 최대 100amu 스캔
![899-Transpector-MPH 899-Transpector-MPH](/uploads/media/323x215/09/899-Transpector-MPH.png?v=1-0)
질량분석기
Transpector® MPH
고성능 사중극자 질량분석기
TRANSPECTOR® MPH 잔류 가스 분석기
- 90년 다이내믹 레인지
- 업계 최고의 데이터 수집 속도
- 교환 가능한 센서 및 전자 장치
- 최대 300amu 스캔
![900-Transpector-MPS 900-Transpector-MPS](/uploads/media/323x215/00/900-Transpector-MPS.png?v=1-0)
질량분석기
Transpector® MPS
다목적 사중극자 질량분석기
Transpector® MPS
- 90년 다이내믹 레인지
- 교환 가능한 센서 및 전자 장치
- 선택적 연속 다이노드 전자 증배기
- 최대 200amu 스캔
![901-Transpector-CPM 901-Transpector-CPM](/uploads/media/323x215/01/901-Transpector-CPM.png?v=1-0)
질량분석기
Transpector® CPM 3
기준선에서 프로세스 압력까지 다양한 프로세스 모니터링
TRANSPECTOR® CPM 3 컴팩트 프로세스 모니터
- 이상적인 반도체 프로세스 모니터
- 다중 압력 샘플링 입구
- 1ppm 미만의 검출 한계
- 통합 차동 펌핑
![1146-Transpector-SPS 1146-Transpector-SPS](/uploads/media/323x215/06/1146-Transpector-SPS.png?v=1-0)
질량분석기
Transpector® SPS
목표 압력 범위에서 프로세스 모니터링
TRANSPECTOR® SPS 잔류 가스 분석기
- 표적 고압 프로세스
- 단일 압력 샘플링 입구
- 1ppm 미만의 검출 한계
- 통합 차동 펌핑 시스템
![1145-QMG700 1145-QMG700](/uploads/media/323x215/05/1145-QMG700.png?v=1-0)
질량분석기
QMG 700
QMG 700 Analytical Mass Spectrometer는 검출 장벽을 허물고 다음 단계의 혁신으로 프로세스를 추진합니다.
QMG 700
- 1-512 amu의 질량 범위 옵션
- 9 디케이드 이상의 동적 범위
- 매우 빠른 측정 속도: 0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
![1144-Transpector-CPM-Mobile-Cart 1144-Transpector-CPM-Mobile-Cart](/uploads/media/323x215/04/1144-Transpector-CPM-Mobile-Cart.png?v=1-0)
질량분석기
Mobile Cart for Transpector® CPM
Transpector CPM이 모바일 문제 해결 도구가 되도록 허용
Mobile Cart for Transpector® CPM
- 필요한 곳에서 Transpector CPM을 얻을 수 있을 만큼 유연합니다.
- 좁은 공간에 맞는 작은 설치 공간
- Transpector CPM을 실행하는 데 필요한 모든 것을 수용할 수 있는 완전한 시스템