질량 분석기
인피콘의 고성능 질량 분석기는 반도체 제조 공정, 산업용 코팅 및 진공 공정, 연구 및 환경 모니터링을 위한 정밀한 가스 분석을 제공합니다. 당사의 첨단 기술을 통해 미량 가스를 실시간으로 감지하여 품질 관리 및 공정 효율성을 개선하는 동시에 장비 가동 중단 시간을 최소화할 수 있습니다.
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질량 분석법
트랜스펙터 APX 다중 압력
다압 ALD/CVD 및 식각을 위한 고급 공정 전문가
트랜스펙터 APX 다중 압력
- 가혹한 공정 환경에서 수명이 연장되도록 코팅된 부품
- 다중 압력 샘플링 입구
- 10ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
질량분석기
Transpector® APX ALD 단일 압력
단일 압력 ALD/CVD 및 에칭을 위한 고급 공정 전문가
Transpector® APX ALD 단일 압력
- 가혹한 화학 물질에서 수명을 연장하기 위해 코팅된 부품
- 고온 단일 압력 주입구
- 10ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
질량 분석기
Transpector® CPX
고급 프로세스 모니터링을 위한 컴팩트한 프로세스 전문가
Transpector® CPX
- HexBlock 다중 압력 샘플링 주입구
- 200ppb 미만의 검출 한계
- 업계 최고의 펌핑 속도
- 시스템 부피 30% 감소
질량분석기
Transpector® XPR 3+
Extreme PVD 공정 모니터링 사중극자 질량분석기
TRANSPECTOR® XPR 3+ 잔류 가스 분석기
- 업계 최고의 최대 작동 압력
- 선택적 과압 차단 밸브 인터록
- 최대 100amu 스캔
질량분석기
Transpector® MPH
고성능 사중극자 질량분석기
TRANSPECTOR® MPH 잔류 가스 분석기
- 90년 다이내믹 레인지
- 업계 최고의 데이터 수집 속도
- 교환 가능한 센서 및 전자 장치
- 최대 300amu 스캔
질량분석기
Transpector® MPS
다목적 사중극자 질량분석기
Transpector® MPS
- 90년 다이내믹 레인지
- 교환 가능한 센서 및 전자 장치
- 선택적 연속 다이노드 전자 증배기
- 최대 200amu 스캔
질량분석기
Transpector® SPS
목표 압력 범위에서 프로세스 모니터링
TRANSPECTOR® SPS 잔류 가스 분석기
- 표적 고압 프로세스
- 단일 압력 샘플링 입구
- 1ppm 미만의 검출 한계
- 통합 차동 펌핑 시스템