UL1000 Fab
헬륨 진공 누설 검출기(건식)
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
진공 산업 및 반도체 생산 분야를 위한 진공 누설 검사에 대한 “건식” 표준
INFICON UL1000 Fab 헬륨 누설 검출기는 진공 산업 및 반도체 생산 분야를 위한 경제적인 헬륨 진공 누설 검사에 있어 세계 시장을 선도하는 제품입니다.
탄소 질소 화합물 또는 입자를 이용하여 검사한 부품 또는 장비에 남아있을 수 있는 오염물질을 드라이 펌프 기술로 제거합니다. UL1000 Fab은 고성능, 비교할 수 없는 견고함과 저렴한 가격을 아우르는 최상의 제품입니다. 또한 10-12 mbar·l/s 에 이르는 최고의 검출 한계와 빠른 펌프 다운 및 반응 시간을 함께 제공합니다. 효율적 설계 덕분에 쉽게 기동할 수 있어 공간이 좁아도 유지보수가 용이합니다. 선택적 백그라운드 감쇠(iZERO) 기술이 적용되어 기존 백그라운드 레벨보다 최소 2승 낮은 수준으로 연속 누설 검사를 가능하게 합니다.
이러한 장점 덕분에 누설 검사에 소요되는 노력과 시간을 절감하는 동시에 경제적으로 모든 누설을 확실히 파악할 수 있습니다.
SMART-Spray로 최적화된 누출 테스트 I·BOOST 및 스프레이 점검
SMART-Spray 는 대형 헬륨 실린더와 번거로운 호스가 필요 없어 누출 점검을 개선합니다. 프로세스를 간소화하여 수동 헬륨 유량 조정을 줄이고 오류를 최소화합니다. 이 도구를 사용하면 헬륨 소비량과 배경 수준을 낮게 유지하면서 누출을 더 빠르고, 더 쉽고, 더 안정적으로 감지할 수 있습니다. 효율적이고 정밀한 누출 테스트에 이상적입니다.
I·BOOST는 누출 감지 시간을 최대 50%까지 절약할 수 있습니다. 응답 시간이 짧아 다양한 챔버 부피에서 빠르고 정밀한 측정이 가능하여 효율성과 정확성이 향상됩니다. 또한 테스트 누출에 스프레이를 뿌려서 누출 감지기의 기능 및 준비 상태를 확인할 수 있는 SPRAY-Check가 있습니다. 10-⁹ ~ 10-⁸ mbar∙l/s 범위에 이상적이며 테스트 프로세스 중에 신뢰할 수 있는 점검을 제공합니다.
장점
- 빠른 펌프 다운과 반응 시간으로 누설 검사에 소요되는 노력을 최소화할 수 있습니다.
- 선택적 백그라운드 감쇠(iZERO) 기술이 적용되어 여러 번 누설 검사를 실시할 필요가 없습니다.
- 공간 효율적 설계로 좁은 작업 공간에 쉽게 접근을 용이하게 합니다.
- 2개의 견고한 고온 필라멘트 이온 소스(3년 보증) 및 역류식 진공 시스템 덕분에 총소유비용(TOC)이 저렴합니다.
- 회전식 디스플레이, 누설 광학 표시와 경고음, 리모컨(옵션)을 이용할 수 있어 편의성이 뛰어납니다.
- 자동 보정 절차를 포함한 내장 누설 검사 기능으로 인해 유지보수가 간단합니다.
일반적인 응용 분야
- 매우 청결해야 하는 산업용 진공 장비 생산 환경
- 기존 도구에 설치하기 전 진공 부품 또는 하위 부품 누설 검사
- 별도 펌프 유무에 상관없이 진공 장비 유지보수 가능
- 공정 가스 시스템의 검사 및 설치
- 반도체, 평판 디스플레이, 태양 전지 생산
사양서
헬륨의 최소 감지 가능 누출률(진공 방식) | mbar•L/s | < 5·10-12 |
헬륨의 최소 감지 가능 누출률(스니퍼 모드) | mbar•L/s | < 5·10-8 |
최대. 유입구 압력 GROSS 모드 | mbar | 15 |
최대. 흡입구 압력 미세 모드 | mbar | 2 |
최대. 입구 압력 ULTRA 모드 | mbar | 0.4 |
포어 진공 펌프 유형 | 오일 밀봉 | |
대피 중 펌프 속도 | m³/h | 16 at 50 Hz |
헬륨 펌프 속도 ULTRA 모드 | L/s | 2.5 |
감지 가능한 질량 | 2,3,4 amu | |
질량 분석기 섹터 필드 | 180° | |
필라멘트 이온수 이리듐/이트리아 코팅된 필라멘트 | 2 | |
보정된 내장 테스트 누출 | mbar•L/s | E-7 |
테스트 포트 | DN 25 KF | |
조정 가능한 트리거 | 2 | |
인터페이스인터페이스 | RS232 | |
차트 레코더 출력 | V | 2x10 |
입력/출력 | PLC 호환 | |
허용 주변 온도(작동 중 ) | °C | +10.....+40 |
무게 | kg lb | 110 242 |
치수(가로 x 세로 x 높이) | mm in | 1068 x 525 x 850 42 x 21 x 33 |
공급 전압 | V (AC) V (AC) V (AC) | 230 (±10%) 50Hz 115 (±10%) 60Hz 100 (±10%) 50/60Hz |
전력 소비 | VA | 1100 |
헬륨(진공 모드)의 최소 감지 가능 누출률 | mbar•L/s | < 5·10-12 |
헬륨의 최소 감지 가능 누출률(스니퍼 모드) | mbar•L/s | < 5·10-8 |
최대. 유입구 압력 GROSS 모드 | mbar | 15 |
최대. 흡입구 압력 미세 모드 | mbar | 2 |
최대. 입구 압력 ULTRA 모드 | mbar | 0.4 |
포어 진공 펌프 유형 | 건식 압축 | |
대피 중 펌프 속도 | m³/h | 25 at 50 Hz |
헬륨 펌프 속도 ULTRA 모드 | L/s | 2.5 |
감지 가능한 질량 | 2,3,4 amu | |
질량 분석기 섹터 필드 | 180° | |
필라멘트 이온 소스 이리듐/이트리아 코팅 | 2 | |
보정된 내장 누출 | mbar•L/s | ∼ 10-7 |
테스트 포트 | DN 25 KF/(DN 40 KF) | |
조정 가능한 트리거 | 2 | |
인터페이스 | RS 232 | |
차트 레코더 출력 | V | 2 x10 |
입력/출력 | PLC 호환 | |
허용 주변 온도(작동 중) | °C | +10 to +40 |
무게 | kg lb | 110 242 |
치수(가로 x 세로 x 높이) | mm in. | 1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39 |
공급 전압(EU) | V (AC) | 230 (± 10 %) 50 Hz |
공급 전압(미국) | V (AC) | 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz |
전력 소비량(통상) | VA | 1100 |
전력 소비량(최대) | VA | 1100 |
주문 정보
550-000A | UL1000, 230 V AC, DN 25 KF |
550-001A | UL1000, 115 V AC, DN 25 KF |
550-002A | UL1000, 100 V AC, DN 25 KF |
550-100A | UL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF |
550-101A | UL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF |
550-102 | UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF |
14022 | 리모컨 RC1000용 연장 케이블, 길이 8m |
551-000 | 툴박스, UL1000용 탈부착 가능 |
551-001 | UL1000/5000용 헬륨 병 홀더 |
551-002 | UL1000/5000용 ESD 매트 |
551-005 | TC1000-테스트 챔버, DN 25 KF, ESD 손목 밴드 |
551-010 | 리모컨 RC1000C, 유선, 4m 코일 케이블 포함 |
551-015 | 리모콘 RC1000WL, 무선, 무선 송신기 포함 |
551-020 | RC1000WL용 무선 송신기 |
551-050 | SMART-Spray 헬륨 스프레이 건 세트 |
551-031 | SPRAY-Check TL8(보정되지 않음) |