헬륨 누설 감지기

UL1000 Fab

헬륨 진공 누설 검출기(건식)

UL1000-Fab
ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!

진공 산업 및 반도체 생산 분야를 위한 진공 누설 검사에 대한 “건식” 표준

INFICON UL1000 Fab 헬륨 누설 검출기는 진공 산업 및 반도체 생산 분야를 위한 경제적인 헬륨 진공 누설 검사에 있어 세계 시장을 선도하는 제품입니다.

탄소 질소 화합물 또는 입자를 이용하여 검사한 부품 또는 장비에 남아있을 수 있는 오염물질을 드라이 펌프 기술로 제거합니다. UL1000 Fab은 고성능, 비교할 수 없는 견고함과 저렴한 가격을 아우르는 최상의 제품입니다. 또한 10-12 mbar·l/s 에 이르는 최고의 검출 한계와 빠른 펌프 다운 및 반응 시간을 함께 제공합니다. 효율적 설계 덕분에 쉽게 기동할 수 있어 공간이 좁아도 유지보수가 용이합니다. 선택적 백그라운드 감쇠(iZERO) 기술이 적용되어 기존 백그라운드 레벨보다 최소 2승 낮은 수준으로 연속 누설 검사를 가능하게 합니다.

이러한 장점 덕분에 누설 검사에 소요되는 노력과 시간을 절감하는 동시에 경제적으로 모든 누설을 확실히 파악할 수 있습니다.

SMART-Spray로 최적화된 누출 테스트 I·BOOST 및 스프레이 점검

SMART-Spray 는 대형 헬륨 실린더와 번거로운 호스가 필요 없어 누출 점검을 개선합니다. 프로세스를 간소화하여 수동 헬륨 유량 조정을 줄이고 오류를 최소화합니다. 이 도구를 사용하면 헬륨 소비량과 배경 수준을 낮게 유지하면서 누출을 더 빠르고, 더 쉽고, 더 안정적으로 감지할 수 있습니다. 효율적이고 정밀한 누출 테스트에 이상적입니다. 

I·BOOST는 누출 감지 시간을 최대 50%까지 절약할 수 있습니다. 응답 시간이 짧아 다양한 챔버 부피에서 빠르고 정밀한 측정이 가능하여 효율성과 정확성이 향상됩니다. 또한 테스트 누출에 스프레이를 뿌려서 누출 감지기의 기능 및 준비 상태를 확인할 수 있는 SPRAY-Check가 있습니다. 10-⁹ ~ 10-⁸ mbar∙l/s 범위에 이상적이며 테스트 프로세스 중에 신뢰할 수 있는 점검을 제공합니다.

장점

  • 빠른 펌프 다운과 반응 시간으로 누설 검사에 소요되는 노력을 최소화할 수 있습니다.
  • 선택적 백그라운드 감쇠(iZERO) 기술이 적용되어 여러 번 누설 검사를 실시할 필요가 없습니다.
  • 공간 효율적 설계로 좁은 작업 공간에 쉽게 접근을 용이하게 합니다.
  • 2개의 견고한 고온 필라멘트 이온 소스(3년 보증) 및 역류식 진공 시스템 덕분에 총소유비용(TOC)이 저렴합니다.
  • 회전식 디스플레이, 누설 광학 표시와 경고음, 리모컨(옵션)을 이용할 수 있어 편의성이 뛰어납니다.
  • 자동 보정 절차를 포함한 내장 누설 검사 기능으로 인해 유지보수가 간단합니다.

일반적인 응용 분야

  • 매우 청결해야 하는 산업용 진공 장비 생산 환경
  • 기존 도구에 설치하기 전 진공 부품 또는 하위 부품 누설 검사
  • 별도 펌프 유무에 상관없이 진공 장비 유지보수 가능
  • 공정 가스 시스템의 검사 및 설치
  • 반도체, 평판 디스플레이, 태양 전지 생산

사양서

UL1000
UL1000 Fab
헬륨의 최소 감지 가능 누출률(진공 방식)mbar•L/s< 5·10-12
헬륨의 최소 감지 가능 누출률(스니퍼 모드)mbar•L/s< 5·10-8
최대. 유입구 압력 GROSS 모드mbar15
최대. 흡입구 압력 미세 모드mbar2
최대. 입구 압력 ULTRA 모드mbar0.4
포어 진공 펌프 유형 오일 밀봉
대피 중 펌프 속도m³/h16 at 50 Hz
헬륨 펌프 속도 ULTRA 모드L/s2.5
감지 가능한 질량 2,3,4 amu
질량 분석기 섹터 필드 180°
필라멘트 이온수 이리듐/이트리아 코팅된 필라멘트 2
보정된 내장 테스트 누출mbar•L/sE-7
테스트 포트 DN 25 KF
조정 가능한 트리거 2
인터페이스인터페이스 RS232
차트 레코더 출력V2x10
입력/출력 PLC 호환
허용 주변 온도(작동 중 )°C+10.....+40
무게kg
lb
110
242
치수(가로 x 세로 x 높이)mm
in
1068 x 525 x 850
42 x 21 x 33
공급 전압V (AC)
V (AC)
V (AC)
230 (±10%) 50Hz
115 (±10%) 60Hz
100 (±10%) 50/60Hz
전력 소비VA1100
헬륨(진공 모드)의 최소 감지 가능 누출률mbar•L/s< 5·10-12
헬륨의 최소 감지 가능 누출률(스니퍼 모드)mbar•L/s< 5·10-8
최대. 유입구 압력 GROSS 모드mbar15
최대. 흡입구 압력 미세 모드mbar2
최대. 입구 압력 ULTRA 모드mbar0.4
포어 진공 펌프 유형 건식 압축
대피 중 펌프 속도m³/h25 at 50 Hz
헬륨 펌프 속도 ULTRA 모드L/s2.5
감지 가능한 질량 2,3,4 amu
질량 분석기 섹터 필드 180°
필라멘트 이온 소스 이리듐/이트리아 코팅 2
보정된 내장 누출mbar•L/s∼ 10-7
테스트 포트 DN 25 KF/(DN 40 KF)
조정 가능한 트리거 2
인터페이스 RS 232
차트 레코더 출력V2 x10
입력/출력 PLC 호환
허용 주변 온도(작동 중)°C+10 to +40
무게kg
lb
110
242
치수(가로 x 세로 x 높이)mm
in.
1050 x 472 x 987
41 x 19 x 39
공급 전압(EU)V (AC)230 (± 10 %) 50 Hz
공급 전압(미국)V (AC)100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
전력 소비량(통상)VA1100
전력 소비량(최대)VA1100

주문 정보

파트 넘버
악세사리
550-000AUL1000, 230 V AC, DN 25 KF
550-001AUL1000, 115 V AC, DN 25 KF
550-002AUL1000, 100 V AC, DN 25 KF
  
550-100AUL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF
550-101AUL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF
550-102UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF
14022리모컨 RC1000용 연장 케이블, 길이 8m
551-000툴박스, UL1000용 탈부착 가능
551-001UL1000/5000용 헬륨 병 홀더
551-002UL1000/5000용 ESD 매트
551-005TC1000-테스트 챔버, DN 25 KF, ESD 손목 밴드
551-010리모컨 RC1000C, 유선, 4m 코일 케이블 포함
551-015리모콘 RC1000WL, 무선, 무선 송신기 포함
551-020RC1000WL용 무선 송신기
551-050SMART-Spray 헬륨 스프레이 건 세트
551-031SPRAY-Check TL8(보정되지 않음)

다운로드

매뉴얼
제품은 다음 마켓에서 사용됩니다
Battery-Market-Navi
배터리

전극 생산에서 최종 라인 테스트까지 

더 배우기
energy-market-navi
에너지

전통적인 석유 및 가스 생산은 지난 수십 년 동안 수요가 증가했으며 개발 도상국의 인구 증가, 도시화 및 소비자 중산층에 의해 추진되고 있습니다.

더 배우기
HVACR-Navi
냉난방 공조

냉동 및 공조 기술은 의심할 여지 없이 21세기의 중요한 주제 중 하나입니다. 사용의 효율성, 에너지 효율, 그리고 마지막으로 가장 중요한 최적의 온도 또는 최적의 기후(민간 및 상업 부문)가 중요한 역할을 합니다. 

더 배우기
Industrial-Manufacturing-Navi-2
산업 제조

진공은 깨끗한 환경을 보장하기 위해 더 자주 사용되며 여러 공정에 필요하며 진공 없이는 작동하지 않습니다.

더 배우기
Mobility_and_Automotive-Navi
모빌리티 및 자동차

진화하는 산업에서 신뢰할 수 있는 누출 테스트. 자동차 산업의 변화로 인해 누설 검사가 더욱 중요해지고 있습니다.

더 배우기
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
반도체 IDM 및 파운드리

Sensors tailored to support a wide range of applications, ensuring product safety, increased yield and maximum productivity

더 배우기
SEMI-OEM-Navi
반도체 장비 제조업체

반도체 산업은 데이터 처리, 통신, 소비자 전자 제품, 자동차 및 항공 우주에 사용하기 위한 집적 회로의 설계, 제조, 조립 및 테스트로 구성됩니다.

더 배우기
Vacuum_Coating-Navi
진공 코팅

진공 코팅 시장은 광학 분야를 넘어 불과 10년 전만 해도 거의 상상할 수 없었던 영역, 산업 및 필름 레이어로 빠르게 확장되고 있습니다.

더 배우기
비디오 콘텐츠에 대한 동의가 필요합니다
자세한 정보