헬륨 누설 감지기

UL3000 Fab Series

UL3000 Fab /UL3000 Fab ULTRA

모바일 헬륨 누출 감지기, ULTRATEST ™ 센서 기술

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모바일 헬륨 누출 감지기: 반도체 애플리케이션의 누출 검사 요구에 맞게 특별히 설계되었습니다.

유연성, 이동성, 빠른 시동, 고감도, 빠르고 정확한 테스트 결과 및 신뢰성이 특징입니다.

공기 펌핑 속도가 빨라 펌프 다운(배기) 시간이 단축됩니다.
유지보수가 적은 루츠 러핑 펌프로 인해 총 소유 비용(TCO)이 절감됩니다.
HYDRO-S 소프트웨어가 수증기 백그라운드를 제거하여 민감한 측정 범위에 빠르게 도달할 수 있으므로 누설 점검을 더 일찍 시작할 수 있습니다.
UL3000 Fab ULTRA는 최대 10m 길이의 검증된 스니퍼 라인 SL3000을 사용하여 향상된 스니퍼 기능도 제공합니다. SL3000에는 별도의 연결 포트가 있어 진공 흡입구에 연결할 필요가 없습니다.

빠른 결과

유지보수가 적은 진공 펌프가 장착된 개선된 진공 시스템으로 대기압에서 시작되는 누설을 감지할 수 있습니다. 견고한 질량 분석기 시스템은 긴 작동 시간과 낮은 유지보수 비용을 보장합니다.

회전식 디스플레이 및 원격 제어 가능한 사용자 인터페이스

새로운 터치 스크린 디스플레이는 먼 거리에서도 테스트 결과와 상태 정보를 표시합니다. 경험이 없는 작업자도 사용자 안내 메뉴 구조를 통해 쉽게 조작할 수 있습니다. 특별한 소프트웨어나 앱 없이 스마트폰 또는 태블릿을 통해 UL3000 Fab(ULTRA)을 무선으로 제어할 수 있습니다. 푸시 버튼을 통한 테스트 결과 기록 및 저장은 추가 분석을 위해 다른 저장 매체로 전송할 수 있습니다.

뛰어난 기동성을 위한 슬림한 디자인

낮은 무게 중심, 큰 바퀴, 인체공학적으로 설계된 손잡이, 슬림한 하우징 덕분에 좁은 공간에서도 UL3000 Fab(ULTRA)의 기동성이 우수합니다.

SMART-Spray로 최적화된 누출 테스트 I·BOOST 및 스프레이 점검

SMART-Spray 는 대형 헬륨 실린더와 번거로운 호스가 필요 없어 누출 점검을 개선합니다. 프로세스를 간소화하여 수동 헬륨 유량 조정을 줄이고 오류를 최소화합니다. 이 도구를 사용하면 헬륨 소비량과 배경 수준을 낮게 유지하면서 누출을 더 빠르고, 더 쉽고, 더 안정적으로 감지할 수 있습니다. 효율적이고 정밀한 누출 테스트에 이상적입니다.

I·BOOST는 누출 감지 시간을 최대 50%까지 절약할 수 있습니다. 응답 시간이 짧아 다양한 챔버 부피에서 빠르고 정밀한 측정이 가능하여 효율성과 정확성이 향상됩니다. 또한 테스트 누출에 스프레이를 뿌려서 누출 감지기의 기능 및 준비 상태를 확인할 수 있는 SPRAY-Check가 있습니다. 10-⁹ ~ 10-⁸ mbar∙l/s 범위에 이상적이며 테스트 프로세스 중에 신뢰할 수 있는 점검을 제공합니다.

장점

10^-9 ~ 10^-12 mbar-l/s 범위에서 빠른 측정을 위한 I-CAL 소프트웨어 알고리즘으로 시간 절약
높은 측정 감도를 유지하면서 빠른 백그라운드 억제를 위해 향상된 지능형 기능을 갖춘 I-ZERO 2.0을 사용하여 가장 효율적인 누설 검사 가능
진공 및 스니퍼 누설 검색에 적용 가능
빠른 대피 및 대응 시간을 통해 누설 검사 노력 최소화
슬림한 설계를 통한 손쉬운 조작으로 시간 절약
견고한 이온 소스(3년 보증)와 역류 진공 시스템으로 낮은 총 소유 비용(TCO) 실현
풀 컬러 고해상도 회전식 디스플레이를 갖춘 사용하기 쉬운 작업자 안내형 HMI
UL3000 Fab ULTRA: HYDRO-S 소프트웨어가 수증기 배경을 제거하여 민감한 측정 범위에 빠르게 도달할 수 있으므로 누설 점검을 더 일찍 시작할 수 있습니다.
UL3000 Fab ULTRA: 루츠 펌프의 공기 펌핑 속도가 빨라져 펌프 다운(배기) 시간 단축
UL3000 Fab ULTRA: 유지보수가 적은 루츠 러핑 펌프로 인해 총 소유 비용(TCO)이 낮습니다.
UL3000 Fab ULTRA: 이 누설 감지기는 최대 10m 길이의 검증된 스니퍼 라인 SL3000을 사용하여 향상된 스니퍼 기능도 제공합니다. SL3000에는 별도의 연결 포트가 있어 진공 흡입구에 연결할 필요가 없습니다.

일반적인 응용 분야

반도체 팹
디스플레이 제조
태양 전지 제조
유리 및 웹(롤투롤) 코팅
일반 진공 코팅 및 응용 분야

사양서

UL3000 Fab

UL3000 Fab ULTRA

최대 러핑 펌프의 펌핑 속도	m³/h	>30
헬륨 펌핑 속도(고감도 모드 ULTRA)	L/s	4
치수 ( LxWxH )	mm in.	1050x472x987 42x21x34
추가 기능	공기 펌핑 속도가 가장 빠른 루츠 건조 펌프, HYDRO·S, SL3000용 별도 스니퍼 라인 포트, 진공 호스 홀더

최대 러핑 펌프의 펌핑 속도	m³/h	>36
헬륨 펌핑 속도(고감도 모드 ULTRA)	L/s	4
치수 ( LxWxH )	mm in.	1050x472x987 42x21x34
추가 기능	공기 펌핑 속도가 가장 빠른 루츠 건조 펌프, HYDRO·S, SL3000용 별도 스니퍼 라인 포트, 진공 호스 홀더

주문 정보

파트 넘버

악세사리

소모품

550-260	UL3000 Fab ULTRA
550-200	UL3000 Fab

551-050	SMART-Spray ***NEW
551-600	I·BOOST software license***NEW
551-031	SPRAY-Check TL8***NEW
551-010	리모컨 RC1000C, 유선, 4m 코일 케이블 포함
551-202	UL3000 Fab용 진공 호스 홀더(ULTRA 버전용 포함)
525-001	SL3000-3, 스니퍼 라인 3m 길이
525-002	SL3000-5, 스니퍼 라인 5m 길이
525-003	SL3000-10, 스니퍼 라인 10m 길이
551-203	SL3000용 브래킷
551-210	SL200, 스니퍼 라인 + UL3000용 엘. 연장선
551-201	헬륨 병 홀더
560-310	I/O 1000 듈
560-315	BM1000 PROFIBUS 듈
560-316	BM1000 PROFINET IO 듈
560-317	BM1000 DeviceNet 듈
560-318	BM1000 Ethernet/IP 듈
560-334	IO1000, BM1000용 데이터 케이블, 0.5m
560-332	데이터 케이블 2 m
560-335	데이터 케이블 5 m
560-340	데이터 케이블 10 m
551-005	TC1000 Test Chamber, DN25KF, ESD wrist band
551-205	TC1000 테스트 챔버, DN25KF, ESD 손목 밴드