UL6000 Fab Series
UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS
누설 테스트의 속도와 정밀도에 대한 표준 설정
![UL6000-Fab-PLUS UL6000-Fab-PLUS](/uploads/media/500x335/01/931-UL6000-Fab-PLUS.png?v=1-0)
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
인피콘 UL6000 모바일 헬륨 누설 검출기는 가장 중요하고 까다로운 누설 검출 분야에 맞게 설계되었습니다. 현장 검증된 진공 설계에서 인피콘 독점 소프트웨어 알고리즘 I-CAL 및 Hydro-S를 특징으로 하는 UL6000은 테스트 유연성, 높은 민감도 및 신속 정확한 결과를 제공하여 어떤 누설 검출 분야든 빠르고 쉽게 만들어 줍니다.
UL6000은 모든 측정 범위에서 빠른 응답 시간을 제공하고 매우 짧은 주기 시간에 테스트 조건 및 최종 결과에 도달합니다. 특수 설계된 진공 구조는 사용자가 요구하는 지속적으로 높은 헬륨 펌핑 속도와 매우 빠른 응답 시간을 제공합니다.
누출 감지는 시간이 많이 걸리고 복잡합니다. 상승률 측정을 통해 반도체 및 진공 장비는 작동 중에 지속적으로 모니터링됩니다. 이 통합 누출 테스트를 통해 누출이 감지되면 헬륨 분무 방법을 사용하여 누출 위치를 파악하여 필요한 수리를 진행합니다. 그 다음에는 압력 증가 또는 진공 감쇠 측정을 이용한 또 다른 누출 테스트가 이어지며, 모든 누출이 감지될 때까지 복잡한 과정을 반복해야 합니다. 또한 이 절차는 최대한 정밀하게 수행하기 위해 장비 부피가 큰 경우 측정 시간이 특히 길어지는 경우가 많습니다. 엔드레스하우저의 지능형 상승률 측정 기능인 I-RISE 덕분에 UL6000 Fab PLUS는 자체적으로 압력 상승 측정을 수행하고 이를 헬륨 분무 방식과 결합합니다. 특허받은 시스템을 통해 측정 시간을 대폭 단축할 수 있으므로 일반적인 리크 테스트와 팹 장비 유지보수 시간을 모두 최소화할 수 있습니다. 챔버 부피와 관계없이 10초 이내에 더욱 빠르고 정확한 측정 결과를 경험할 수 있습니다.
장점
Fab 제품 시리즈
- 최첨단 센서 기술
- 테스트 조건에 빠르게 도달할 수 있는 HYDRO-S(HYDROgen-Suppression).
- 모든 측정 범위에서 누출에 빠르게 대응하는 I-CAL(지능형 - 누출률 계산 알고리즘).
- 모든 압력에서 높은 헬륨 압축으로 최적화된 높은 헬륨 펌프 속도를 제공하여 탁월한 감도, 응답 및 빠른 클리닝을 제공하는 특수 다중 입구 터보 분자 펌프.
- 가장 큰 부피와 챔버를 포함한 모든 테스트 대상에 대해 매우 빠른 응답을 제공하는 부스터 터보분자 펌프입니다.
- 수년간 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 현장에서 입증된 INFICON 자기 섹터 질량 분석기는 유지보수가 필요 없는 설계로 문제가 없습니다.
- 헬륨 및 미립자 오염으로부터 UL6000을 보호하는 자체 보호 기능과 필요할 때 UL6000을 준비할 수 있는 자동 퍼지 사이클까지 갖추고 있습니다.
- 회전식 디스플레이/제어 인터페이스와 원격 핸드 컨트롤러(옵션)를 통해 유연하게 작동할 수 있습니다.
- 소프트웨어를 통해 장치 및 시스템 소프트웨어에 대한 액세스 제어를 활성화하여 무단 사용이나 테스트 설정의 의도치 않은 수정을 방지할 수 있습니다.
- 이메일을 통한 소프트웨어 업데이트로 UL6000을 최적의 성능으로 유지할 수 있습니다.
- 테스트 편의를 위해 ESD 매트와 도구 상자가 포함된 최적의 높이 작업 표면을 갖춘 워크스테이션 디자인.
Fab PLUS 제품 시리즈
- 키사이트의 지능형 상승 속도인 I-RISE가 특징입니다: 헬륨 분사 방식과 결합된 디바이스 내 압력 상승 테스트 제공
- 10초 이내에 상승률 측정 가능
- 리크 테스트 및 팹 장비 유지보수에 소요되는 일반적인 시간을 최소화합니다.
- 더 빠른 속도, 더 정밀한 측정
일반적인 응용 분야
- 반도체 및 디스플레이 장비에서 사용되는 부품, 서브어셈블리 및 대형 챔버의 누설 검사
- 반도체 및 평면 패널 공구의 누설 검사
- 항공우주 부품, 서브어셈블리 및 시스템의 누설 검사
- 저장 용기/저장 탱크의 누설 검사
사양서
Min. detectable leak rate for helium (vacuum method) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
Max. inlet pressure (MASSIVE mode) | atm (~1013 mbar) | |
Type of roughing pump | roots | |
Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >36 |
Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode) | L/s | >36 |
Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40 | L/s | ~ 30 |
Evacuation Time to 1 mbar 50 L | s | 52 |
Response time for 50 L | s | 1.4 |
Evacuation time to 1 mbar 50 L | s | 52 |
Evacuation time to 1 mbar 100 L* | s | 104 |
Evacuation time to 1 mbar 500 L* | s | 527 |
Evacuation time to 1 mbar 1000 L* | s | 1054 |
Venting 50 L to atm. 16 s | s | 16 |
Run up time for operation | min | <2 |
Time for calibration | s | <30 s |
Inlet flange | DN63 ISO-K | |
Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
Supply voltage | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
Max. Power Consumption | VA | 1500 |
Typ. Power Consumption | VA | 700 |
Weight | kg | 143 |
Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
*extrapolated |
Min. detectable leak rate for helium (vacuum method) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
Max. inlet pressure (MASSIVE mode) | atm (~1013 mbar) | |
Type of roughing pump | roots | |
Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >36 |
Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode) | L/s | >36 |
Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40 | L/s | ~ 30 |
Response time for 50 L | s | 1.4 |
Evacuation time to 1 mbar 50 L | s | 52 |
Evacuation time to 1 mbar 100 L* | s | 104 |
Evacuation time to 1 mbar 500 L* | s | 527 |
Evacuation time to 1 mbar 1000 L* | s | 1054 |
Venting 50 L to atm. 16 s | s | 16 |
Run up time for operation | min | <2 |
Time for calibration | s | <30 s |
Time for rate-of-rise measurement (I·RISE) | s | <10 |
Inlet flange | DN63 ISO-K | |
Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
Supply voltage | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
Max. Power Consumption | VA | 1500 |
Typ. Power Consumption | VA | 700 |
Weight | kg | 143 |
Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
*extrapolated |
주문 정보
550-520 | UL6000 Fab |
550-530 | UL6000 Fab PLUS |
551-226 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF |
551-227 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF |
551-015 | Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter |
551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
551-202 | Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version) |
525-001 | SL3000-3, sniffer line 3 m length |
525-002 | SL3000-5, sniffer line 5 m length |
525-003 | SL3000-10, sniffer line 10 m length |
551-203 | Bracket for SL3000 |
551-210 | SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000 |
551-201 | Helium Bottle Holder |
560-310 | I/O 1000 module |
560-315 | BM1000 PROFIBUS module |
560-316 | BM1000 PROFINET IO module |
560-317 | BM1000 DeviceNet module |
560-318 | BM1000 Ethernet/IP module |
560-334 | Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m |
560-332 | Data Cable 2 m |
560-335 | Data Cable 5 m |
560-340 | Data Cable 10 m |
200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |