헬륨 누설 감지기

UL6000 Fab Series

UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS 누출 감지기

ULTRATEST™ 센서 기술
누출 테스트의 속도와 정밀도에 대한 새로운 기준을 제시합니다.

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반도체 애플리케이션을 위한 헬륨 누출 감지기 시리즈

인피콘 UL6000 모바일 헬륨 누설 검출기는 가장 중요하고 까다로운 누설 검출 분야에 맞게 설계되었습니다. 현장 검증된 진공 설계에서 인피콘 독점 소프트웨어 알고리즘 I-CAL 및 Hydro-S를 특징으로 하는 UL6000은 테스트 유연성, 높은 민감도 및 신속 정확한 결과를 제공하여 어떤 누설 검출 분야든 빠르고 쉽게 만들어 줍니다.

UL6000은 모든 측정 범위에서 빠른 응답 시간을 제공하고 매우 짧은 주기 시간에 테스트 조건 및 최종 결과에 도달합니다. 특수 설계된 진공 구조는 사용자가 요구하는 지속적으로 높은 헬륨 펌핑 속도와 매우 빠른 응답 시간을 제공합니다.

효율적인 누수 테스트

누출 감지는 시간이 많이 걸리고 복잡합니다. 상승률 측정을 통해 반도체 및 진공 장비는 작동 중에 지속적으로 모니터링됩니다. 이 통합 누출 테스트를 통해 누출이 감지되면 헬륨 분무 방법을 사용하여 누출 위치를 파악하여 필요한 수리를 진행합니다. 그 다음에는 압력 증가 또는 진공 감쇠 측정을 이용한 또 다른 누출 테스트가 이어지며, 모든 누출이 감지될 때까지 복잡한 과정을 반복해야 합니다. 또한 이 절차는 최대한 정밀하게 수행하기 위해 장비 부피가 큰 경우 측정 시간이 특히 길어지는 경우가 많습니다. 엔드레스하우저의 지능형 상승률 측정 기능인 I-RISE 덕분에 UL6000 Fab PLUS는 자체적으로 압력 상승 측정을 수행하고 이를 헬륨 분무 방식과 결합합니다. 특허받은 시스템을 통해 측정 시간을 대폭 단축할 수 있으므로 일반적인 리크 테스트와 팹 장비 유지보수 시간을 모두 최소화할 수 있습니다. 챔버 부피와 관계없이 10초 이내에 더욱 빠르고 정확한 측정 결과를 경험할 수 있습니다.

SMART-Spray로 최적화된 누출 테스트 I·BOOST 및 스프레이 점검

SMART-Spray 는 대형 헬륨 실린더와 번거로운 호스가 필요 없어 누출 점검을 개선합니다. 프로세스를 간소화하여 수동 헬륨 유량 조정을 줄이고 오류를 최소화합니다. 이 도구를 사용하면 헬륨 소비량과 배경 수준을 낮게 유지하면서 누출을 더 빠르고, 더 쉽고, 더 안정적으로 감지할 수 있습니다. 효율적이고 정밀한 누출 테스트에 이상적입니다.

I·BOOST는 누출 감지 시간을 최대 50%까지 절약할 수 있습니다. 응답 시간이 짧아 다양한 챔버 부피에서 빠르고 정밀한 측정이 가능하여 효율성과 정확성이 향상됩니다. 또한 테스트 누출에 스프레이를 뿌려서 누출 감지기의 기능 및 준비 상태를 확인할 수 있는 SPRAY-Check가 있습니다. 10-⁹ ~ 10-⁸ mbar∙l/s 범위에 이상적이며 테스트 프로세스 중에 신뢰할 수 있는 점검을 제공합니다.

장점

Fab 제품 시리즈

최첨단 센서 기술
테스트 조건에 빠르게 도달할 수 있는 HYDRO-S(HYDROgen-Suppression).
모든 측정 범위에서 누출에 빠르게 대응하는 I-CAL(지능형 - 누출률 계산 알고리즘).
모든 압력에서 높은 헬륨 압축으로 최적화된 높은 헬륨 펌프 속도를 제공하여 탁월한 감도, 응답 및 빠른 클리닝을 제공하는 특수 다중 입구 터보 분자 펌프.
가장 큰 부피와 챔버를 포함한 모든 테스트 대상에 대해 매우 빠른 응답을 제공하는 부스터 터보분자 펌프입니다.
수년간 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 현장에서 입증된 INFICON 자기 섹터 질량 분석기는 유지보수가 필요 없는 설계로 문제가 없습니다.
헬륨 및 미립자 오염으로부터 UL6000을 보호하는 자체 보호 기능과 필요할 때 UL6000을 준비할 수 있는 자동 퍼지 사이클까지 갖추고 있습니다.
회전식 디스플레이/제어 인터페이스와 원격 핸드 컨트롤러(옵션)를 통해 유연하게 작동할 수 있습니다.
소프트웨어를 통해 장치 및 시스템 소프트웨어에 대한 액세스 제어를 활성화하여 무단 사용이나 테스트 설정의 의도치 않은 수정을 방지할 수 있습니다.
이메일을 통한 소프트웨어 업데이트로 UL6000을 최적의 성능으로 유지할 수 있습니다.
테스트 편의를 위해 ESD 매트와 도구 상자가 포함된 최적의 높이 작업 표면을 갖춘 워크스테이션 디자인.

Fab PLUS 제품 시리즈

키사이트의 지능형 상승 속도인 I-RISE가 특징입니다: 헬륨 분사 방식과 결합된 디바이스 내 압력 상승 테스트 제공
10초 이내에 상승률 측정 가능
리크 테스트 및 팹 장비 유지보수에 소요되는 일반적인 시간을 최소화합니다.
더 빠른 속도, 더 정밀한 측정

일반적인 응용 분야

반도체 및 디스플레이 장비에서 사용되는 부품, 서브어셈블리 및 대형 챔버의 누설 검사
반도체 및 평면 패널 공구의 누설 검사
항공우주 부품, 서브어셈블리 및 시스템의 누설 검사
저장 용기/저장 탱크의 누설 검사

사양서

UL 6000 Fab

UL 6000 Fab PLUS

헬륨의 최소 감지 가능 누출률(진공 방식)	mbar∙L/s	<5∙10^-12
헬륨의 최소 감지 가능 누출률(스니퍼 모드)	mbar∙L/s	<5∙10^-8
최대 흡입구 압력(매시브 모드)		atm (~1013 mbar)
황삭 펌프의 유형		roots
황삭 펌프의 최대 펌프 속도	m³/h	>36
펌프 속도 @ 입구(100-1000 mbar)	m³/h	23
펌프 속도 @ 입구(10-100mbar 및 1-10mbar)	m³/h	26
최대. 헬륨 펌핑 속도(울트라 모드)	L/s	>36
최대 헬륨 펌프 속도 DN63이 DN40으로 감소했습니다.	L/s	~ 30
1기압 50L까지 대피 시간	s	52
50L의 응답 시간	s	1.4
1기압 100L*까지 대피 시간	s	104
1기압 500L*까지 대피 시간	s	527
1기압 1000L*까지 대피 시간	s	1054
50L를 기압으로 환기합니다. 16 s	s	16
운영 시간 단축	min	<2
보정 시간	s	<30 s
입구 플랜지		DN63 ISO-K
감지 가능한 질량(울트라테스트 센서 기술)		2,3,4 (H₂, ³He, He)
공급 전압	V	100 to 230, 50/60 Hz
최대. 전력 소비량	VA	1500
Typ. 전력 소비량	VA	700
무게	kg	143
치수(LxWxH)	mm in.	1050x427x1040 42x21x41
*추정

헬륨의 최소 감지 가능 누출률(진공 방식)	mbar∙L/s	<5∙10^-12
헬륨의 최소 감지 가능 누출률(스니퍼 모드)	mbar∙L/s	<5∙10^-8
최대 흡입구 압력(매시브 모드)		atm (~1013 mbar)
황삭 펌프의 유형		roots
황삭 펌프의 최대 펌프 속도	m³/h	>36
펌프 속도 @ 입구(100-1000 mbar)	m³/h	23
펌프 속도 @ 입구(10-100mbar 및 1-10mbar)	m³/h	26
최대. 헬륨 펌핑 속도(울트라 모드)	L/s	>36
최대 헬륨 펌프 속도 DN63이 DN40으로 감소했습니다.	L/s	~ 30
50L의 응답 시간	s	1.4
1기압 50L까지 대피 시간	s	52
1기압 100L*까지 대피 시간	s	104
1기압 500L*까지 대피 시간	s	527
1기압 1000L*까지 대피 시간	s	1054
50L를 기압으로 환기합니다. 16 s	s	16
운영 시간 단축	min	<2
보정 시간	s	<30 s
상승률 측정 시간(I-RISE)	s	<10
입구 플랜지		DN63 ISO-K
감지 가능한 질량(울트라테스트 센서 기술)		2,3,4 (H₂, ³He, He)
공급 전압	V	100 to 230, 50/60 Hz
최대. 전력 소비량	VA	1500
Typ. 전력 소비량	VA	700
무게	kg	143
치수(LxWxH)	mm in.	1050x427x1040 42x21x41
*추정

주문 정보

파트 넘버

악세사리

소모품

550-520	UL6000 Fab
550-530	UL6000 Fab PLUS

551-050	SMART-Spray ***NEW
551-600	I·BOOST software license***NEW
551-031	SPRAY-Check TL8***NEW
551-226	Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF
551-227	Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF
551-015	Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter
551-010	Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202	Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001	SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002	SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003	SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203	Bracket for SL3000
551-210	SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201	Helium Bottle Holder
560-310	I/O 1000 module
560-315	BM1000 PROFIBUS module
560-316	BM1000 PROFINET IO module
560-317	BM1000 DeviceNet module
560-318	BM1000 Ethernet/IP module
560-334	Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332	Data Cable 2 m
560-335	Data Cable 5 m
560-340	Data Cable 10 m