박막 증착 기술
인피콘의 박막 증착 솔루션은 고정밀 제조 공정에 필수적인 초박막 재료 층 생성을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 당사의 도구는 실시간 피드백을 제공하여 산업 전반의 효율성과 제품 품질을 모두 향상시킵니다.
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INFICON이 개척한 표준 AT판, 1인치(25.4 mm) 직경의 크리스탈은 INFICON RQCM(연구용 석영 크리스탈 마이크로밸런스)과 함께 연구 분야에서 주로 사용됩니다
- 정확함
- 신뢰성
- 안정적
- 다양한 전극 재료 사용 가능
INFICON ALD 센서는 QCM(Quartz Crystal Microbalance) 측정의 반복성, 정밀도 및 내구성을 원자층 증착(ALD)까지 가능하게 합니다
- 대부분의 ALD 공정 온도에 사용 가능
- 유지보수를 크게 줄입니다.
- 시스템 가동시간이 극대화됩니다.
- 측정 정확도가 극대화합니다.
Cool Drawer 듀얼 센서는 진공 챔버에 두 번째 크리스탈이 있는 것이 바람직한 중요한 공정에 사용하도록 설계되어 있습니다
- Dual crystals
- Cool Drawer crystal holder
- No internal cables
- Crystal shutter
Cool Drawer 싱글 센서를 사용하면 측면 센서에 크리스탈을 설치할 수 있어 전면 크리스탈 설치 공간이 부족한 시스템에 편리합니다
- 내부 케이블 없음
- Cool Drawer 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 용접된 CF40 플랜지와 함께 주문할 경우 베이크 가능
INFICON Crystal 12 센서는 INFICON IC6 박막 증착 컨트롤러와 함께 사용할 경우 공정을 중단하지 않고도 크리스탈을 자동으로 교체합니다
- 안정적인 자동 전환 기능으로 12개의 크리스탈을 사용하여 공정 가동 시간을 극대화함
- 제거하기 쉬운 캐러셀로 12개의 크리스탈 모두를 빠르게 교체할 수 있음
- 공압 방식으로 크리스탈을 전환하므로 크리스탈 온도가 안정적임(경쟁 제품은 발열 모터 사용)
- 제거하기 쉬운 전면 증착 실드는 재료 축적으로부터 크리스탈과 캐러셀을 보호하여 유지보수를 위해 전체 센서를 제거할 필요성을 줄여줌
INFICON CrystalSix 센서는 지속적인 속도 제어가 요구되는 긴 공정에서 중요합니다
- Holds 6 crystals with robust, automatic switching to maximize process uptime
- Stable crystal temperature, because crystal switching is pneumatically-driven (competitive units use heat-generating motors)
- 1/8" tubes maintain thermal stability and allow flexibility in sensor placement
- Optional crystal shutter available
Cygnus 2 박막 증착 컨트롤러는 OLED 공정을 최대한 활용할 수 있는 고유한 기능들과 INFICON 박막 컨트롤러의 입증된 성능을 결합하여 탁월한 가치를 제공합니다
- INFICON ModeLock 기술은 매우 낮은 속도에서도 가장 안정적이고 가장 높은 해상도의 속도 및 두께 측정 가능
- Auto Z 기능은 재료가 증착됨에 따라 Z 비율을 자동으로 결정하여 두께 정확도를 향상시킴
- 최대 6개의 소스를 독립적으로 또는 1개의 Cygnus 2와 결합하여 동시에 제어할 수 있어 2개 또는 3개의 컨트롤러를 대신할 수 있음
- 컬러 TFT LCD 디스플레이로 공정 진행 상황을 쉽게 볼 수 있음
Easy Rate 듀얼 센서는 한 개의 크리스탈로 충분하지 않을 수 있는 QCM 적용개소에 간단하고 경제적인 솔루션을 제공합니다
- 듀얼 크리스털
- 가격
- 로우 프로파일 설계
- 크리스털 셔터 포함
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 Easy Rate 센서를 수용합니다
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings
Easy Rate 싱글 센서는 비용을 최소화하면서 생산을 극대화할 수 있습니다
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
INFICON 전면 장착 듀얼 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 듀얼 크리스털
- 크리스탈 셔터
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
INFICON 전면 장착 싱글 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 2.54cm(1인치) 볼트 피드스루/CF40 피드스루와 함께 사용
- 압축 피팅과 함께 주문한 경우 조정 가능한 길이
Guardian은 증착 속도 0.1 ~ 10,000 Å/s 제어 가능
- 최대 8가지 재료의 동시 증착을 모니터링 및 제어
- 0.1 ~ 10,000 Å/s의 증착 속도
- 통합 EIES 및 QCM 박막 공정 제어
- 12개의 릴레이 출력과 12개의 디지털 입력
Provides exceptional value by combining the best performance, quality, and features of any other quartz crystal controller
- INFICON ModeLock technology ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Auto Z improves thickness accuracy by automatically determining the Z-ratio as material is deposited
- Codeposition of up to six sources simultaneously
- USB data storage for screen shots, recipe storage, and data logging
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- EtherCAT communications for seamless integration
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- Ethernet communications for seamless integration
IQM-233 PCI Express 카드는 사용자의 PC를 박막 증착 컨트롤러로 변화시킵니다
- PCI Express, PC에 여러 카드 설치
- 카드당 3개의 센서 입력, 3개의 제어 출력
- 손쉬운 PLC 통합을 통한 I/O 기능 추가
- 여러 소스의 공동 배치
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 많은 QCM 센서와 챔버 구성을 수용합니다
- 2.54cm(1인치) 볼트 또는 CF40(2.75인치 ConFlat®) 스타일 사용 가능
- 사용 가능한 Ultra-Torr O-링 압축 피팅
- 사용자 지정 피드스루 구성 사용 가능
- 요청 시 기타 피드스루 스타일 사용 가능
크리스탈의 품질과 수명은 속도와 두께 측정의 정확성뿐만 아니라 제어되는 공정의 성공적인 완료에도 중요한 영향을 미칩니다
- 5 MHz 및 6 MHz
- 금, 은(열 부하가 높은 공정용), 응력 감소 합금(유전체 재료를 이용한 광학 코팅 및 반도체 공정용)
- 3가지 편리한 포장 옵션 -- 청정실 규격 디스펜서, 플랫 팩 디스펜서, 소형 박스
- 고객의 특정 크기 및 주파수에 따라 생산된 맞춤 크리스탈
RSH-600 회전 센서 헤드는 매우 두꺼운 막과 몇 가지 다른 재료를 사용하는 까다로운 공정을 위해 설계되었습니다
- 6개의 크리스탈
- 위치 피드백(컨트롤러에 따라 다름)
- 조절 가능한 길이(플랜지 옵션 포함)
- 견고한 디자인
매우 정확한 시퀀스 또는 코드포지션 제어
- 밝은 컬러 LCD 디스플레이 - 영어 또는 중국어로 제공
- 표준 RS-232 및 USB(RS-232 및 이더넷 옵션)
- "빠른 설정" 메뉴, 상황에 맞는 6개의 푸시 버튼, 편리한 파라미터 설정 노브를 통한 간편한 설정 및 작동
- 프로세스 개발, 테스트 및 다운로드, 프로세스 분석 및 품질 관리를 위해 계측기 데이터를 PC에 로깅할 수 있는 Windows® 프로그램
SQM-160은 입증된 INFICON 석영 크리스탈 센서 기술을 사용하여 박막 증착 공정의 속도와 두께를 측정합니다
- 2개의 측정 채널이 표준으로 제공되고 4개의 채널을 옵션으로 추가할 수 있음
- 속도/두께 기록을 위한 아날로그 출력
- 고해상도 옵션: 10개 판독값/초에서 0.03 Hz
- RS-232 표준, USB 또는 이더넷 옵션
STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다
- 저렴한 기기
- USB 연결
- 내부 오실레이터
- 초당 10회 측정 시 높은 정확도
real-Time, in situ process monitoring, prevent over-etching, identify chamber clean end point
- QCM data monitored at 10Hz
- FabGuard correlates QCM data to tool state and process step
- Precise measurement of deposition or etch rates
- Sensitivity & precision for sub-monolayer thickness measurement
SemiQCM™ SR sensor is one component of a system for precursor monitoring with the other components being an IMM-200 and FabGuard (version 19.12.00-a or higher).
- QCM data monitored at 10Hz
- FabGuard correlates QCM data to tool state and process step
- Precise measurement of deposition or etch rates
- Sensitivity & precision for sub-monolayer thickness measurement
INFICON 스퍼터링 센서는 스퍼터링 공정에 사용하기 위해 특별히 설계되었습니다
- 냉각 효율성을 극대화하는 금 도금된 베릴륨 구리 센서 본체 및 냉각 튜브
- 자유 전자를 모니터 크리스탈로부터 편향시키는 자석
- 센서 배치의 유연성을 제공하는 구부러지는 워터 튜브로 쉽게 설치할 수 있음
- 후면 장착 크리스탈 삽입으로 크리스탈을 쉽게 교체할 수 있음
INFICON UHV 베이커블 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 고온 납땜 및 용접 구조
- 최고 450°C 베이크아웃 온도
- 크리스탈 셔터(옵션)
- 전면 장착 크리스탈 홀더
단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다
- 단층 또는 다층 모델로 제공
- 모드 호핑으로 발생하는 막 두께 오류를 방지하는 특허 받은 ModeLock 기술
- INFICON Crystal 12®, Crystal Six® 및 듀얼 센서 자동 크리스탈 전환 지원으로 생산성 극대화
- XTC/3M 다층 모델은 최대 99개의 공정, 999개의 층, 32개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원
반복성 극대화 및 탁월한 수정 효율을 위한 정밀 제어
- 모드락 측정 시스템을 사용하여 최고의 두께 정확도, 최고의 측정 해상도 및 최저 속도 노이즈로 재현성과 균일성을 극대화합니다.
- 모드 잠금(가장 긴 사용 가능한 크리스탈 수명)으로 크리스탈 소모품 비용을 낮추면서 실행 가능한 횟수를 최대화합니다.
- 이전 버전과의 호환성, 로직, 단일 컨트롤러로 단일 프로세스 중에 여러 소스를 동시에 실행하는 옵션 기능으로 통합 비용을 최소화하고 통합 속도를 극대화할 수 있습니다.
- 전 세계 전문가 어플리케이션 지원을 통해 개발 위험 최소화 및 시스템 성능 최적화
정확한 박막 증착 및 모니터링을 위한 정밀 도구
박막 기술은 정밀 제조 공정에서 매우 중요한 역할을 하며 다양한 표면에 초박막 소재를 증착할 수 있게 해줍니다. 박막 증착에 대한 인피콘의 전문성은 첨단 코팅에 의존하는 산업에 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 보장하는 고정밀 솔루션을 제공합니다. 이러한 공정의 핵심 도구 중 하나는 증착 속도를 모니터링하고 정밀한 재료 레이어링을 보장하는 쿼츠 크리스탈 마이크로밸런스(QCM)입니다.
제조업체는 인피콘의 박막 계측 장비를 사용하여 박막 증착 공정을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이러한 정밀 측정 도구는 반도체, 광학 및 첨단 재료와 같은 분야에서 매우 중요한 정확성과 일관성을 유지하도록 설계되었습니다. QCM 기술의 통합으로 가장 섬세한 박막도 정확한 표준에 따라 적용될 수 있습니다.
인피콘의 툴 제품군은 박막 증착을 개선할 뿐만 아니라 실시간 피드백을 제공하여 매개변수를 즉시 쉽게 조정할 수 있습니다. 그 결과 효율성이 향상되고 폐기물이 감소하며 제품 품질이 개선되어 박막 기술 솔루션을 발전시키기 위한 당사의 노력이 더욱 확고해집니다.