박막 증착 기술
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![962-Research-Crystals 962-Research-Crystals](/uploads/media/323x215/02/962-Research-Crystals.png?v=1-0)
INFICON이 개척한 표준 AT판, 1인치(25.4 mm) 직경의 크리스탈은 INFICON RQCM(연구용 석영 크리스탈 마이크로밸런스)과 함께 연구 분야에서 주로 사용됩니다
- 정확함
- 신뢰성
- 안정적
- 다양한 전극 재료 사용 가능
![968-ALD-Sensor 968-ALD-Sensor](/uploads/media/323x215/08/968-ALD-Sensor.png?v=1-0)
INFICON ALD 센서는 QCM(Quartz Crystal Microbalance) 측정의 반복성, 정밀도 및 내구성을 원자층 증착(ALD)까지 가능하게 합니다
- 대부분의 ALD 공정 온도에 사용 가능
- 유지보수를 크게 줄입니다.
- 시스템 가동시간이 극대화됩니다.
- 측정 정확도가 극대화합니다.
![980-Cool-Drawer-Dual-Sensor 980-Cool-Drawer-Dual-Sensor](/uploads/media/323x215/00/980-Cool-Drawer-Dual-Sensor.png?v=1-0)
Cool Drawer 듀얼 센서는 진공 챔버에 두 번째 크리스탈이 있는 것이 바람직한 중요한 공정에 사용하도록 설계되어 있습니다
- Dual crystals
- Cool Drawer crystal holder
- No internal cables
- Crystal shutter
![961-Cool-Drawer-Single-Sensor 961-Cool-Drawer-Single-Sensor](/uploads/media/323x215/01/961-Cool-Drawer-Single-Sensor.png?v=1-0)
Cool Drawer 싱글 센서를 사용하면 측면 센서에 크리스탈을 설치할 수 있어 전면 크리스탈 설치 공간이 부족한 시스템에 편리합니다
- 내부 케이블 없음
- Cool Drawer 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 용접된 CF40 플랜지와 함께 주문할 경우 베이크 가능
![964-Crystal-12-Sesor 964-Crystal-12-Sesor](/uploads/media/323x215/04/964-Crystal-12-Sesor.png?v=1-0)
INFICON Crystal 12 센서는 INFICON IC6 박막 증착 컨트롤러와 함께 사용할 경우 공정을 중단하지 않고도 크리스탈을 자동으로 교체합니다
- 안정적인 자동 전환 기능으로 12개의 크리스탈을 사용하여 공정 가동 시간을 극대화함
- 제거하기 쉬운 캐러셀로 12개의 크리스탈 모두를 빠르게 교체할 수 있음
- 공압 방식으로 크리스탈을 전환하므로 크리스탈 온도가 안정적임(경쟁 제품은 발열 모터 사용)
- 제거하기 쉬운 전면 증착 실드는 재료 축적으로부터 크리스탈과 캐러셀을 보호하여 유지보수를 위해 전체 센서를 제거할 필요성을 줄여줌
![975-CrystalSix-Sensor 975-CrystalSix-Sensor](/uploads/media/323x215/05/975-CrystalSix-Sensor.png?v=1-0)
INFICON CrystalSix 센서는 지속적인 속도 제어가 요구되는 긴 공정에서 중요합니다
- Holds 6 crystals with robust, automatic switching to maximize process uptime
- Stable crystal temperature, because crystal switching is pneumatically-driven (competitive units use heat-generating motors)
- 1/8" tubes maintain thermal stability and allow flexibility in sensor placement
- Optional crystal shutter available
![960-cygnus 960-cygnus](/uploads/media/323x215/00/960-cygnus.png?v=1-0)
Cygnus 2 박막 증착 컨트롤러는 OLED 공정을 최대한 활용할 수 있는 고유한 기능들과 INFICON 박막 컨트롤러의 입증된 성능을 결합하여 탁월한 가치를 제공합니다
- INFICON ModeLock 기술은 매우 낮은 속도에서도 가장 안정적이고 가장 높은 해상도의 속도 및 두께 측정 가능
- Auto Z 기능은 재료가 증착됨에 따라 Z 비율을 자동으로 결정하여 두께 정확도를 향상시킴
- 최대 6개의 소스를 독립적으로 또는 1개의 Cygnus 2와 결합하여 동시에 제어할 수 있어 2개 또는 3개의 컨트롤러를 대신할 수 있음
- 컬러 TFT LCD 디스플레이로 공정 진행 상황을 쉽게 볼 수 있음
![974-Easy-Rate-Dual-Sensor 974-Easy-Rate-Dual-Sensor](/uploads/media/323x215/04/974-Easy-Rate-Dual-Sensor.png?v=1-0)
Easy Rate 듀얼 센서는 한 개의 크리스탈로 충분하지 않을 수 있는 QCM 적용개소에 간단하고 경제적인 솔루션을 제공합니다
- 듀얼 크리스털
- 가격
- 로우 프로파일 설계
- 크리스털 셔터 포함
![959-Sensor-Feedthroughs 959-Sensor-Feedthroughs](/uploads/media/323x215/09/959-Sensor-Feedthroughs.png?v=2-0)
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 Easy Rate 센서를 수용합니다
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings
![967-Easy-Rate-Single-Sensor 967-Easy-Rate-Single-Sensor](/uploads/media/323x215/07/967-Easy-Rate-Single-Sensor.png?v=1-0)
Easy Rate 싱글 센서는 비용을 최소화하면서 생산을 극대화할 수 있습니다
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
![965-Front-Load-Dual-Sensor 965-Front-Load-Dual-Sensor](/uploads/media/323x215/05/965-Front-Load-Dual-Sensor.png?v=1-0)
INFICON 전면 장착 듀얼 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 듀얼 크리스털
- 크리스탈 셔터
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
![976-Front-Load-Single-Sensor 976-Front-Load-Single-Sensor](/uploads/media/323x215/06/976-Front-Load-Single-Sensor.png?v=1-0)
INFICON 전면 장착 싱글 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 2.54cm(1인치) 볼트 피드스루/CF40 피드스루와 함께 사용
- 압축 피팅과 함께 주문한 경우 조정 가능한 길이
![956-Guardian 956-Guardian](/uploads/media/323x215/06/956-Guardian.png?v=1-0)
Guardian은 증착 속도 0.1 ~ 10,000 Å/s 제어 가능
- 최대 8가지 재료의 동시 증착을 모니터링 및 제어
- 0.1 ~ 10,000 Å/s의 증착 속도
- 통합 EIES 및 QCM 박막 공정 제어
- 12개의 릴레이 출력과 12개의 디지털 입력
![966-IC6 966-IC6](/uploads/media/323x215/06/966-IC6.png?v=1-0)
Provides exceptional value by combining the best performance, quality, and features of any other quartz crystal controller
- INFICON ModeLock technology ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Auto Z improves thickness accuracy by automatically determining the Z-ratio as material is deposited
- Codeposition of up to six sources simultaneously
- USB data storage for screen shots, recipe storage, and data logging
![973-IMM-100 973-IMM-100](/uploads/media/323x215/03/973-IMM-100.png?v=1-0)
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- EtherCAT communications for seamless integration
![977-IMM-200 977-IMM-200](/uploads/media/323x215/07/977-IMM-200.png?v=1-0)
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- Ethernet communications for seamless integration
![979-IQM-233 979-IQM-233](/uploads/media/323x215/09/979-IQM-233.png?v=1-0)
IQM-233 PCI Express 카드는 사용자의 PC를 박막 증착 컨트롤러로 변화시킵니다
- PCI Express, PC에 여러 카드 설치
- 카드당 3개의 센서 입력, 3개의 제어 출력
- 손쉬운 PLC 통합을 통한 I/O 기능 추가
- 여러 소스의 공동 배치
![1171-QCM-Sensor-Feedthroughs 1171-QCM-Sensor-Feedthroughs](/uploads/media/323x215/01/1171-QCM-Sensor-Feedthroughs.png?v=1-0)
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 많은 QCM 센서와 챔버 구성을 수용합니다
- 2.54cm(1인치) 볼트 또는 CF40(2.75인치 ConFlat®) 스타일 사용 가능
- 사용 가능한 Ultra-Torr O-링 압축 피팅
- 사용자 지정 피드스루 구성 사용 가능
- 요청 시 기타 피드스루 스타일 사용 가능
![982-Quartz-Crystal-Group 982-Quartz-Crystal-Group](/uploads/media/323x215/02/982-Quartz-Crystal-Group.png?v=1-0)
크리스탈의 품질과 수명은 속도와 두께 측정의 정확성뿐만 아니라 제어되는 공정의 성공적인 완료에도 중요한 영향을 미칩니다
- 5 MHz 및 6 MHz
- 금, 은(열 부하가 높은 공정용), 응력 감소 합금(유전체 재료를 이용한 광학 코팅 및 반도체 공정용)
- 3가지 편리한 포장 옵션 -- 청정실 규격 디스펜서, 플랫 팩 디스펜서, 소형 박스
- 고객의 특정 크기 및 주파수에 따라 생산된 맞춤 크리스탈
![958-RSH-600-Rotary-Sensor 958-RSH-600-Rotary-Sensor](/uploads/media/323x215/08/958-RSH-600-Rotary-Sensor.png?v=1-0)
RSH-600 회전 센서 헤드는 매우 두꺼운 막과 몇 가지 다른 재료를 사용하는 까다로운 공정을 위해 설계되었습니다
- 6개의 크리스탈
- 위치 피드백(컨트롤러에 따라 다름)
- 조절 가능한 길이(플랜지 옵션 포함)
- 견고한 디자인
![969-SQM-160 969-SQM-160](/uploads/media/323x215/09/969-SQM-160.png?v=1-0)
SQM-160은 입증된 INFICON 석영 크리스탈 센서 기술을 사용하여 박막 증착 공정의 속도와 두께를 측정합니다
- 2개의 측정 채널이 표준으로 제공되고 4개의 채널을 옵션으로 추가할 수 있음
- 속도/두께 기록을 위한 아날로그 출력
- 고해상도 옵션: 10개 판독값/초에서 0.03 Hz
- RS-232 표준, USB 또는 이더넷 옵션
![981-STM-2 981-STM-2](/uploads/media/323x215/01/981-STM-2.png?v=1-0)
STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다
- 저렴한 기기
- USB 연결
- 내부 오실레이터
- 초당 10회 측정 시 높은 정확도
![963-SemiQCM-CR-Sensor 963-SemiQCM-CR-Sensor](/uploads/media/323x215/03/963-SemiQCM-CR-Sensor.png?v=1-0)
real-Time, in situ process monitoring, prevent over-etching, identify chamber clean end point
- QCM data monitored at 10Hz
- FabGuard correlates QCM data to tool state and process step
- Precise measurement of deposition or etch rates
- Sensitivity & precision for sub-monolayer thickness measurement
![955-TDMAT-Sensor 955-TDMAT-Sensor](/uploads/media/323x215/05/955-TDMAT-Sensor.png?v=1-0)
SemiQCM™ SR sensor is one component of a system for precursor monitoring with the other components being an IMM-200 and FabGuard (version 19.12.00-a or higher).
- QCM data monitored at 10Hz
- FabGuard correlates QCM data to tool state and process step
- Precise measurement of deposition or etch rates
- Sensitivity & precision for sub-monolayer thickness measurement
![957-Sputtering-Sensor 957-Sputtering-Sensor](/uploads/media/323x215/07/957-Sputtering-Sensor.png?v=1-0)
INFICON 스퍼터링 센서는 스퍼터링 공정에 사용하기 위해 특별히 설계되었습니다
- 냉각 효율성을 극대화하는 금 도금된 베릴륨 구리 센서 본체 및 냉각 튜브
- 자유 전자를 모니터 크리스탈로부터 편향시키는 자석
- 센서 배치의 유연성을 제공하는 구부러지는 워터 튜브로 쉽게 설치할 수 있음
- 후면 장착 크리스탈 삽입으로 크리스탈을 쉽게 교체할 수 있음
![978-UHV-Bakeable-Sensor 978-UHV-Bakeable-Sensor](/uploads/media/323x215/08/978-UHV-Bakeable-Sensor.png?v=1-0)
INFICON UHV 베이커블 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 고온 납땜 및 용접 구조
- 최고 450°C 베이크아웃 온도
- 크리스탈 셔터(옵션)
- 전면 장착 크리스탈 홀더
![972-XTC3M 972-XTC3M](/uploads/media/323x215/02/972-XTC3M.png?v=1-0)
단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다
- 단층 또는 다층 모델로 제공
- 모드 호핑으로 발생하는 막 두께 오류를 방지하는 특허 받은 ModeLock 기술
- INFICON Crystal 12®, Crystal Six® 및 듀얼 센서 자동 크리스탈 전환 지원으로 생산성 극대화
- XTC/3M 다층 모델은 최대 99개의 공정, 999개의 층, 32개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원