COOL DRAWER 듀얼 센서

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Cool Drawer 듀얼 센서는 진공 챔버에 두 번째 크리스탈이 있는 것이 바람직한 중요한 공정에 사용하도록 설계되어 있습니다. 수냉식 주조 스테인리스 스틸 본체, 2개의 Cool Drawer 크리스탈 홀더 및 1개의 공압식 셔터가 견고한 센서 헤드에 제공되어 백업 크리스탈을 더욱 신뢰성 있게 해줍니다. 챔버 내부에 동축 케이블이 없기 때문에 보다 깨끗하고 보다 안정적인 진공 시스템 설치가 가능합니다.

특징

듀얼 크리스털
Cool Drawer 크리스탈 홀더
내부 케이블 없음
크리스탈 셔터
다음 항목과 함께 사용: CF40 피드스루 및 2.54cm(1인치) 볼트 피드스루
용접된 CF40 플랜지와 함께 주문할 경우 베이크 가능
압축 피팅과 함께 주문할 경우 길이 조정 가능
센서/피드스루 조합을 고객이 지정한 길이로 용접해서 제공할 수 있음

사양서

냉각수	Minimum water flow of 150 to 200 cm³/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze)

재료	304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel

1인치 볼트 및 압축 피팅 밀폐형 마감:
온도	Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without

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부품 번호

Accessories

Consumables

Part Number	Description
750-420-G1	Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors)

Name	Description
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

부품 번호

Spare Parts

Part Number	Description
123259	Cool Drawer Sensor Crystal Retainer
123261	Cool Drawer sensor Drawer
123260	Cool Drawer Sensor Drawer and Retainer Combo
147206-2	* Bellows with 35 in. tube
147207	Bellows and cover assembly (Includes all parts marked with *)
147401	Shutter
147402	Link
147403	* Actuator
147406	* Bellows support
147407	* Bellows Cover
147408	* Threaded shaft
147411	Spacer
147424	* Bellows tube
082-026	# 2-56 Nut (part of heat shield assembly)
082-064	* Lockwasher
084-205	* #4-40 x 3/16 Phillips screw
800128	#4 Lockwasher
800371	Shoulder Screw
800372	Washer
800416	* 6-32 x 3/16 in. set screw
803313	* Spring
123223-2	Conduit brazed assembly - short pin
803102	O-ring for 5 port adjustable feedthrough
803261	Washer for 5 port adjustable feedthrough

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특징

사양서

부품 번호

Spare Parts

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