Sensors & Feedthroughs
Easy Rate Sensor Feedthroughs
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 Easy Rate 센서를 수용합니다. CF40(2.75in ConFlat®) 및 2.54cm(1in) 볼트 스타일 피드스루를 전기 커넥터, 수냉 및 공기 튜브의 다양한 조합에 사용할 수 있습니다.
Easy Rate 센서용으로 특별히 설계된 INFICON 피드스루에는 사용자 맞춤형 센서 길이를 쉽게 설치할 수 있는 표준 튜브 피팅이 장착될 수도 있습니다.
달리 언급이 없으면, 일반적인 피드스루 전기 연결은 대기면의 동축 BNC 커넥터와 진공면의 Microdot® 커넥터로 구성됩니다. 이 전기 연결 방식은 Easy Rate 센서와 함께 주문된 진공 케이블에 사용하기 위한 것입니다.
참고: 표준 튜브 피팅이 있는 피드스루에는 바깥지름이 4.8mm(3/16인치)인 물 및 공기 튜브가 있습니다.
참고: 표준 튜브 피팅이 없는 피드스루에는 바깥지름이 4.8mm(3/16인치)인 공기 튜브가 있고 바깥지름이 4.8mm(3/16인치)인 물 튜브의 통과 지점이 있습니다.
다음 표는 피드스루 요구사항 및 센서 유형에 따른 부품 번호에 대한 빠른 참조를 보여줍니다.
특징
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings
