Sensors & Feedthroughs
Easy Rate Single Sensor
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Easy Rate 싱글 센서는 비용을 최소화하면서 생산을 극대화할 수 있습니다. 이러한 센서는 센서 수명을 늘리고 유지보수를 줄여 가용성을 극대화하고, 가장 적은 초기 투자 비용과 총 소유 비용으로 생산 비용을 최소화합니다. 현장에서 편리하게 교체할 수 있는 부품을 사용하는 신뢰할 수 있는 센서입니다.
두께 모니터링을 위한 가장 비용 효율적인 솔루션을 제공하는 INFICON Easy Rate 싱글 센서는 표준 및 직각 방향에서도 사용할 수 있고 표준 튜브 피팅이 있거나 없는 피드스루가 포함되도록 구성될 수 있습니다.
참고: Easy Rate 싱글 센서는 4.8 mm(3/16인치) 외경의 수냉 튜브를 사용합니다. 이 센서는 Ultra-Torr 장착 피드스루와 호환되지 않으며 4.8 mm(3/16인치) 외경의 수냉 튜브와 함께 표준 피드스루에 용접하기 위해 튜브 어댑터가 필요합니다.
특징
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
- Available in standard and right angle configurations
- Optional shutter available
- Sensor / Feedthrough combinations available with or without bored-through tube fittings
사양서
| 최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도 | 400° C |
| 크리스탈 교환 | Front loading; self-contained package for ease of exchange |
| Water Tubes | S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing |
| Feedthrough Specifications-1 in. Bolt | |
| 재료 | 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON® |
| 온도 | Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without |
| 장착 | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture |
악세사리
Accessories
Consumables
Spare Parts
| Name | Description |
| Easy Rate Sensor Feedthroughs | Easy Rate Sensor Feedthroughs |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Part Number | Description |
| 784-205-G1 | Crystal Retainer Assembly |
| 784-204-G1 | Crystal Holder Assembly |
| 784-403-P1 | Crystal Finger Spring |
| 784-404-P1 | Retaining Ring |
| 784-300-P1 | Crystal Holder |
| 784-405-P1 | Holder Finger Spring |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 080-011-P3 | SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP |
| 080-013 | #0-80 Split washer |
| 784-209-G1 | Shutter Kit, Single (Unassembled Parts) |
| 784-305-P1 | Easy Rate Single Sensor Shutter |
| 784-206-G1 | Easy Rate Sensor Actuator Assembly |
| 784-306-P1 | Easy Rate Sensor Actuator Clamp |
| 084-054S | Split Washer #4 Stainless Steel Spare |
| 084-027 | Socket Screw |
| 783-500-023 | In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.) |
| 783-500-024 | In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.) |
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