Sensors & Feedthroughs
전면 장착 듀얼 센서
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 전면 장착 듀얼 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다. 듀얼 센서는 백업 크리스탈을 제공하며 진공 챔버에 2차 크리스탈을 설치하는 것이 바람직한 중요한 공정에 필수적입니다.
전면 장착 설계여서 측면 삽입을 위한 공간이 불충분한 경우 크리스탈 홀더를 쉽게 삽입할 수 있습니다. 납땜이 아니라 기계적으로 조립되어, 부품을 현장에서 필요에 따라 편리하게 교체할 수 있습니다. 센서는 개별적으로 또는 압축 피팅에 조립하거나 용접할 수 있는 센서/피드스루 조합으로 주문할 수 있습니다.
특징
- 듀얼 크리스털
- 크리스탈 셔터
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 다음 항목과 함께 사용: 2.54cm(1인치) 볼트 피드스루 및 CF40 피드스루
- 압축 피팅과 함께 주문할 경우 길이 조정 가능
- 압축 피팅과 함께 주문하거나 피드스루에 용접할 경우 납땜 필요 없음
- 센서/피드스루 조합을 고객이 지정한 길이로 용접해서 제공할 수 있음
사양서
| 최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도 | 400 ° C |
| 크리스탈 교환 | Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders. |
| 워터 튜브 | S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing |
| 피드스루 사양 1인치 볼트 및 Ultra-Torr(압축 피팅) 마감: | |
| 재료 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON® |
| 온도 | Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without |
| 장착 | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture |
악세사리
Accessories
Consumables
| Name | Description |
| QCM Sensor Feedthroughs | QCM Sensor Feedthroughs |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 080-018 | Set screw (for female coax) |
| 082-044 | Teflon screw (for leaf spring) |
| 750-115-P4 | Coupling (installs onto bellows assembly) |
| 750-169-P2 | Bellows assembly (coupling not included) |
| 750-171-P1 | Finger spring contact |
| 750-172-G1 | Crystal holder (includes retainer spring) |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 750-175-P1 | Insulator (underneath leaf spring) |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 750-188-P3 | Leaf Spring |
| 750-210-G1 | Shutter module (bellows assembly, shaft assembly, and shutter assembly) |
| 750-215-G1 | Shaft assembly (part of shutter module) |
| 750-216-G1 | Shutter assembly (part of shutter module) |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
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