Sensors & Feedthroughs
전면 장착 싱글 센서
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 전면 장착 싱글 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다. 프론트 로드 설계에서는 측면 삽입을 위한 공간이 충분하지 않은 응용 분야에서 크리스탈 홀더를 쉽게 삽입할 수 있습니다. 납땜이 아니라 기계적으로 조립되어, 부품을 현장에서 필요에 따라 편리하게 교체할 수 있습니다. 센서는 개별적으로 또는 압축 피팅에 조립하거나 용접할 수 있는 센서/피드스루 조합으로 주문할 수 있습니다.
특징
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 2.54cm(1인치) 볼트 피드스루/CF40 피드스루와 함께 사용
- 압축 피팅과 함께 주문한 경우 조정 가능한 길이
- 센서/피드스루 조합을 고객이 지정한 길이로 용접해서 제공할 수 있음
- 압축 피팅과 함께 주문하거나 피드스루에 용접할 경우 납땜 필요 없음
사양서
| Maximum operating isothermal environment temperature with minimum water flow | 400° C |
| Water tube | 1/8 in. (3.175 mm) O.D. seamless stainless steel |
| Crystal exchange | Front loading; self-contained package for ease of exchange |
| Feedthrough Specifications 1 in. bolt and Ultra-Torr (compression fitting) terminations: | |
| Materials | 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON® |
| Temperature | Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without |
| Mounting | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture |
악세사리
Accessories
Consumables
| Name | Description |
| QCM Sensor Feedthroughs | QCM Sensor Feedthroughs |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 080-018 | Set screw (for female coax) |
| 750-903-G1 | Standard Sensor Kit - Includes standard set screw, ceramic insulator, Teflon screw |
| 750-904-G1 | Compact Sensor Kit - Includes compact set screw, ceramic insulator, Teflon screw |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 750-115-P4 | Coupling (installs onto bellows assembly) |
| 750-169-P2 | Bellows assembly (coupling not included) |
| 750-171-P1 | Finger spring contact |
| 750-172-G1 | Crystal holder (includes retainer spring) |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 750-188-P3 | Leaf Spring |
| 750-210-G1 | Shutter module (bellows assembly, shaft assembly, and shutter assembly) |
| 750-215-G1 | Shaft assembly (part of shutter module) |
| 750-216-G1 | Shutter assembly (part of shutter module) |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 783-500-023 | In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 783-500-024 | In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
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