QCM 센서 피드스루
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 많은 QCM 센서와 챔버 구성을 수용합니다. CF40(2.75in ConFlat®) 및 2.54cm(1in) 볼트 스타일 피드스루를 전기 커넥터, 수냉 및 공기 튜브의 다양한 조합에 사용할 수 있습니다. 또한 INFICON 피드스루에는 설치 및 센서 길이 조정이 쉽게 Ultra-Torr O-링 압축 피팅이 장착될 수 있습니다. 다른 피드스루 스타일은 요청 시 사용할 수 있으므로(KF40 등), 필요한 피드스루는 INFICON에 문의하십시오.
언급되지 않은 경우, 일반적인 피드스루 전기 연결은 대기면의 동축 BNC 커넥터와 진공면의 Microdot® 커넥터로 구성됩니다. 이 전기 연결 방식은 INFICON 전면 장착 싱글, 전면 장착 듀얼, 스퍼터링, CrystalSix, and Crystal 12 센서 등 진공 케이블 센서와 함께 사용하기 위한 것입니다.
참고: 피드스루 물 및 공기 튜브는 바깥지름이 4.8 mm(3/16인치)입니다.
다음 표는 피드스루 요구사항 및 센서 유형에 따른 부품 번호에 대한 빠른 참조를 보여줍니다.
Sensor Type
The following table is a quick reference for feedthrough requirements and part numbers based on sensor type.
| Requirements | Part Number | |||||
| Sensor Type | Number of Coax | Number of Tubes | CF40 | CF40 with Ultra-Torr | 2.54 cm (1 in.) Bolt | 2.54 cm (1 in.) Bolt with Ultra-Torr |
| Single | 1 | 2 | 002-043 | 206-878-G2 | 002-042 | 750-624-G1 |
| Single with Shutter | 1 | 3 | 750-685-G1 | 750-685-G2 | 750-030-G1 | Contact Factory |
| Dual | 2 | 3 | 002-080 | 206-890-G2 | 750-707-G1 | Contact Factory |
| CrystallSix or Crystall 12 | 1 | 3 | 750-685-G1 | 750-685-G1 | 750-030-G1 | Contact Factory |
CrystallSix or with shutter | 1 | 4 | 750-683-G1 | N/A | Contact Factory | N/A |
특징
- 2.54cm(1인치) 볼트 또는 CF40(2.75인치 ConFlat®) 스타일 사용 가능
- 사용 가능한 Ultra-Torr O-링 압축 피팅
- 사용자 지정 피드스루 구성 사용 가능
- 요청 시 기타 피드스루 스타일 사용 가능
파트 넘버
| Part Number | Description |
| 2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs | (Includes VITON® O-ring) |
| 002-042 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 750-030-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 3 Tubes |
| 750-707-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 2 Coax, 3 Tubes |
| 750-624-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 783-501-013 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs | (Includes copper gasket) |
| 002-043 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 750-685-G1 | CF40 Feedthrough, 1 Coax,3 Tubes |
| 002-080 | CF40 Feedthrough, 2 Coax, 3 Tubes |
| 750-683-G1 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 4 Tubes |
| 206-878-G2 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| 750-685-G2 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| 206-890-G2 | CF40 Feedthrough, 2 Coax, 3 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| KF40 Feedthroughs | (Does not include centering ring or clamp) |
| 130246 | KF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 130239 | KF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tubes |
악세사리
| Name | Description |
| Clamping Ring with Wing Nut | Clamping Ring with Wing Nut |
| Part Number | Description |
| 002-064 | Quad Ring Gasket, VITON®, CF40 |
| 012-328 | Gasket, Copper, CF40 |
| 070-0237 | O-ring, VITON®, 2.54 cm (1 in.) bolt |
| 211-003 | Clamping ring DN 32-40 ISO-KF |
| 211-070 | Centering ring DN 40 ISO-KF,SS/FPM |
