Sensors & Feedthroughs
RSH-600 회전 센서
RSH-600 회전 센서 헤드는 매우 두꺼운 막과 몇 가지 다른 재료를 사용하는 까다로운 공정을 위해 설계되었습니다
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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RSH-600 회전 센서 헤드는 매우 두꺼운 막과 몇 가지 다른 재료를 사용하는 까다로운 공정을 위해 설계되었습니다. RSH-600은 열 차폐된 수냉식 하우징에 6개의 크리스탈을 수용하여 최대 300°C의 온도 환경에서 뛰어난 크리스탈 성능을 보장합니다. 크리스탈은 제거하기 쉬운 Teflon® 및 스테인리스 스틸 크리스탈 홀더에 들어 있습니다.
특징
- 6개의 크리스탈
- 위치 피드백(컨트롤러에 따라 다름)
- 조절 가능한 길이(플랜지 옵션 포함)
- 견고한 디자인
사양서
| 크리스탈 수 | 6 |
| 설치 구멍 | 50.8 mm (2.0 in.) diameter |
| 작동 온도(냉각수 포함) | 300° C max with stainless steel head cover 400° C max with copper head cover |
악세사리
Accessories
Consumables
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 153202 | Adjustable flange |
| 153204 | Crystal Retainer Assembly, Flat |
| 153204-2 | Crystal Retainer Assembly, Angled |
| 153731 | RSH-600 Sensor Head Cover, Copper, Flat |
| 153731-2 | RSH-600 Sensor Head Cover, Copper, Angled |
| 153708 | RSH-600 Sensor Head Cover, Stainless Steel, Flat |
| 153713 | RSH-600 Sensor Head Cover, Stainless Steel, Angled |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Part Number | Description |
| 153706 | Spring Retainer assembly Flat |
| 153707 | 24 VDC Solenoid valve assembly |
| 153709 | Retaining Screw for Flat crystal retainer |
| 153710 | Crystal Holder Flat (includes 153709) |
| 153714 | Spring Retainer Assembly, Angled,RSH-600 |
| 153715 | Retainer Screw for angled crystal retainer |
| 153716 | Crystal Holder, Angled, RSH-600 |
| 153722 | Signal/Ground Contact Module, RSH-600 |
| 153724 | Spring retainer contact kit - Flat (set of six) |
| 153726 | Crystal Contact for Crystal Retainer Assembly |
| 889128 | 7 pin male connector |
| 889128-2 | 7-pin Female Connector |
| 144-101 | M3x6 SOC Head Screw for Flat Crystal Retainer |
