증착 모니터
SQM-160 박막 증착 모니터
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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SQM-160은 입증된 INFICON 석영 크리스탈 센서 기술을 사용하여 박막 증착 공정의 속도와 두께를 측정합니다. 2개의 센서 입력이 표준으로 제공되고 4개의 추가 센서 입력은 옵션입니다. 2개의 레코더 출력은 아날로그 속도와 두께 신호를 제공합니다.
센서 입력은 서로 다른 재료에 할당되거나 대형 시스템의 정확한 증착 제어를 위해 평균화되거나 이중 센서로 구성될 수 있습니다. 속도 샘플링 모드는 셔터식 센서가 고속 공정에서 센서 수명을 연장하게 해줍니다. 0.1Å/s 또는 0.01Å/s의 속도 표시는 사용자가 선택할 수 있습니다. 또한 주파수나 질량 디스플레이도 선택할 수 있습니다. 4개의 릴레이 출력을 통해 SQM-160은 소스 또는 센서 셔터, 신호 시간 및 두께 설정값 및 신호 크리스탈 오류를 제어할 수 있습니다. 디지털 입력은 외부 신호가 시작/정지되고 판독값이 0이 되게 해줍니다.
특징
- 2개의 측정 채널이 표준으로 제공되고 4개의 채널을 옵션으로 추가할 수 있음
- 속도/두께 기록을 위한 아날로그 출력
- 고해상도 옵션: 10개 판독값/초에서 0.03 Hz
- RS-232 표준, USB 또는 이더넷 옵션
사양서
SQM-160 Standard Resolution
SQM-160 High Resolution
| QCM 센서 입력 | Standard: 2; optional: 4 |
| 측정 주파수 범위 | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum |
| 두께 및 비율 해상도/측정(1) | ± 0.37 Å |
| 저장된 막 | 99 |
| 디지털 입력/출력 | Four inputs, four relay outputs |
| (1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6 MHz, 0.10초 측정 간격 | |
| QCM 센서 입력 | Standard: 2; optional: 4 |
| 측정 주파수 범위 | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum |
| 두께 및 비율 해상도/측정(1) | ± 0.037 Å |
| 저장된 막 | 99 |
| 디지털 입력/출력 | Four inputs, four relay outputs |
| (1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6 MHz, 0.10초 측정 간격 | |
악세사리
Accessories
Accessories and Replacement Parts
Consumables
| Front Load Single Sensor | Front Load Single Sensor |
| Front Load Dual Sensor | Front Load Dual Sensor |
| Cool Drawer Single Sensor | Cool Drawer Single Sensor |
| Cool Drawer Dual Sensor | Cool Drawer Dual Sensor |
| Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
| Easy Rate Dual Sensor | Easy Rate Dual Sensor |
| UHV Bakeable Sensor | UHV Bakeable Sensor |
| Sputtering Sensor | Sputtering Sensor |
| Part Number | Description |
| 782-900-014 | 19 in. Rack Mount Kit for two SQM-160 or CI-100 instruments |
| 782-502-096-G1 | USB option card |
| 782-502-097-G1 | Ethernet option card |
| Oscillator kits | (Includes oscillator and cables) |
| 783-500-109-10 | 3 m (10 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-25 | 7.6 m (25 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-50 | 15.2 m (50 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-75 | 22.8 m (75 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable |
| Oscillator Only | (No cables included) |
| 783-500-013-G1 | OSC-100 oscillator only (no cables) |
| Cables | |
| 782-902-011 | 15.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female |
| 782-902-012-10 | 3 m (10 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-25 | 7.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-50 | 15.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-75 | 22.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
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