Controllers
XTC/3 박막 증착 컨트롤러
단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다. 특허 받은 ModeLock이 포함된 XTC/3은 입증된 모드 호핑 방지로 일관된 품질을 제공합니다. XTC/3 박막 증착 컨트롤러를 사용하면 증착 속도 및 두께를 매우 정확히 제어할 수 있으며, 거의 모든 층을 수용할 수 있고 설치가 쉬우며 신뢰성이 매우 높아 생산성을 보장할 수 있습니다.
박막 증착 분야의 세계적인 선두 업체인 INFICON은 이제 크게 낮아진 소유 비용으로 독보적인 가치를 누릴 수 있는 기기를 제공합니다.
제어 요구에 생산 또는 연구 개발 용도가 반영되는 경우 INFICON XTC/3가 바로 그러한 제품임을 알 수 있습니다.
전 세계 INFICON 지원
사용자는 어느 위치에 있든 간에 빠른 응답, 세심한 서비스 및 최대 가동 시간을 얻을 수 있습니다. 전 세계에 지사를 두고 있는 INFICON은 전 세계에서 현지 서비스 및 기술 지원을 제공하는 유일한 박막 증착 컨트롤러 제조업체입니다.
특징
- 단층 또는 다층 모델로 제공
- 모드 호핑으로 발생하는 막 두께 오류를 방지하는 특허 받은 ModeLock 기술
- INFICON Crystal 12®, Crystal Six® 및 듀얼 센서 자동 크리스탈 전환 지원으로 생산성 극대화
- XTC/3M 다층 모델은 최대 99개의 공정, 999개의 층, 32개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원
- XTC/3S 단층 모델은 최대 9개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원
- 읽기 쉬운 TFT LCD 그래픽 디스플레이
- 막과 공정에 고유의 서술적 이름을 지정할 수 있어 쉽게 검색됨
- 이더넷 연결 가능
- 독립형(컴퓨터 불필요) 또는 PC 작동을 위한 옵션 Windows® 소프트웨어
- INFICON XTC/2 컨트롤러에 대한 플러그 앤 플레이 교환(XTC/2 기능 및 명령어 세트로 제한됨)
일반적인 응용 분야
- 고급 광학 코팅
사양서
XTC3/S
XTC3/M
측정 주파수 범위 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) |
두께 및 비율 해상도/측정(1) | ±0.034 Å |
센서 입력 수 | 2 |
소스 출력 수 | 2 |
(1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6MHz |
측정 주파수 범위 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) |
두께 및 비율 해상도/측정(1) | ±0.034 Å |
센서 입력 수 | 2 |
소스 출력 수 | 2 |
(1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6MHz |
Accessories
Accessories and Replacement Parts
Consumables
Name | Description |
Front Load Single Sensor | Front Load Single Sensor |
Front Load Dual Sensor | Front Load Dual Sensor |
Cool Drawer Single Sensor | Cool Drawer Single Sensor |
Cool Drawer Dual Sensor | Cool Drawer Dual Sensor |
Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
Easy Rate Dual Sensor | Easy Rate Dual Sensor |
ALD Sensor | UHV Bakeable Sensor |
UHV Bakeable Sensor | Sputtering Sensor |
Sputtering Sensor | CrystalSix® Sensor |
CrystalSix® Sensor | Crystal 12® Sensor |
Crystal 12® Sensor | RSH-600 Rotary Sensor |
Part Number | Description |
755-262-G1 | Handheld Power Controller (for manual power control) |
780-702-G1 | One unit rack mount kit - Provides all required materials to mount one XTC/3 unit in a standard 19 in. rack |
780-702-G2 | Two unit rack mount kit - Provides all required materials to mount two XTC/3 units side by side in a standard 19 in. rack |
780-032-G1 | Editor Software, XTC/3 |
779-220-G1 | CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables |
779-220-G2 | CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables |
Oscillator kits | (Includes oscillator and cables) |
780-611-G15 | XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) cable - Fore use with XTC/3 |
780-611-G30 | XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) cable - For use with XTC/3 |
780-611-G50 | XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) cable - For use with XTC/3 |
780-611-G100 | XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) cable - For use with XTC/3 |
780-612-G15 | 4m XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3 |
780-612-G30 | 4m XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3 |
780-612-G50 | 4m XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3 |
780-612-G100 | 4m XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3 |
780-613-G15 | 4m XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3 |
780-613-G30 | 4m XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3 |
780-613-G50 | 4m XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3 |
780-613-G100 | 4m XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3 |
Oscillator Only | (No cables included) |
780-600-G1 | XTC/3 XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 6 in. to 72 in. (15 cm to 183 cm) |
780-600-G2 | XTC/3 XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 118 in. to 157 in. (3 m to 4 m) |
Cables | |
755-257-G6 | 15.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough |
600-1261-P15 | 4.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU |
600-1261-P30 | 9.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU |
600-1261-P50 | 15.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU |
600-1261-P100 | 30.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU |
Name | Description |
Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
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매뉴얼
CrystalTwo Switch Instruction Sheet (English)
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XTC/3 Communications Library Operating Manual (English)
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XTC/3 Software Editor Operating Manual (English)
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사용 매뉴얼
XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (Chinese)
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사용 매뉴얼
XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (English)
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사용 매뉴얼
XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (German)
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XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (Japanese)
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