Controllers

XTC/3 박막 증착 컨트롤러

단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다

ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다. 특허 받은 ModeLock이 포함된 XTC/3은 입증된 모드 호핑 방지로 일관된 품질을 제공합니다. XTC/3 박막 증착 컨트롤러를 사용하면 증착 속도 및 두께를 매우 정확히 제어할 수 있으며, 거의 모든 층을 수용할 수 있고 설치가 쉬우며 신뢰성이 매우 높아 생산성을 보장할 수 있습니다.

박막 증착 분야의 세계적인 선두 업체인 INFICON은 이제 크게 낮아진 소유 비용으로 독보적인 가치를 누릴 수 있는 기기를 제공합니다.

제어 요구에 생산 또는 연구 개발 용도가 반영되는 경우 INFICON XTC/3가 바로 그러한 제품임을 알 수 있습니다.

전 세계 INFICON 지원

사용자는 어느 위치에 있든 간에 빠른 응답, 세심한 서비스 및 최대 가동 시간을 얻을 수 있습니다. 전 세계에 지사를 두고 있는 INFICON은 전 세계에서 현지 서비스 및 기술 지원을 제공하는 유일한 박막 증착 컨트롤러 제조업체입니다.

특징

단층 또는 다층 모델로 제공
모드 호핑으로 발생하는 막 두께 오류를 방지하는 특허 받은 ModeLock 기술
INFICON Crystal 12^®, Crystal Six^® 및 듀얼 센서 자동 크리스탈 전환 지원으로 생산성 극대화
XTC/3M 다층 모델은 최대 99개의 공정, 999개의 층, 32개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원
XTC/3S 단층 모델은 최대 9개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원
읽기 쉬운 TFT LCD 그래픽 디스플레이
막과 공정에 고유의 서술적 이름을 지정할 수 있어 쉽게 검색됨
이더넷 연결 가능
독립형(컴퓨터 불필요) 또는 PC 작동을 위한 옵션 Windows^® 소프트웨어
INFICON XTC/2 컨트롤러에 대한 플러그 앤 플레이 교환(XTC/2 기능 및 명령어 세트로 제한됨)

일반적인 응용 분야

고급 광학 코팅

사양서

XTC3/S

XTC3/M

측정 주파수 범위	6.0 to 5.0 MHz (fixed)

두께 및 비율 해상도/측정(1)	±0.034 Å

센서 입력 수	2

소스 출력 수	2

(1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6MHz

측정 주파수 범위	6.0 to 5.0 MHz (fixed)

두께 및 비율 해상도/측정(1)	±0.034 Å

센서 입력 수	2

소스 출력 수	2

(1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6MHz

파트 넘버

XTC3 Part Number

pdf • 1,8 MB

Accessories

Accessories and Replacement Parts

Consumables

Name	Description
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
ALD Sensor	UHV Bakeable Sensor
UHV Bakeable Sensor	Sputtering Sensor
Sputtering Sensor	CrystalSix® Sensor
CrystalSix® Sensor	Crystal 12® Sensor
Crystal 12® Sensor	RSH-600 Rotary Sensor

Part Number	Description
755-262-G1	Handheld Power Controller (for manual power control)
780-702-G1	One unit rack mount kit - Provides all required materials to mount one XTC/3 unit in a standard 19 in. rack
780-702-G2	Two unit rack mount kit - Provides all required materials to mount two XTC/3 units side by side in a standard 19 in. rack
780-032-G1	Editor Software, XTC/3
779-220-G1	CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables
779-220-G2	CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables
Oscillator kits	(Includes oscillator and cables)
780-611-G15	XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) cable - Fore use with XTC/3
780-611-G30	XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) cable - For use with XTC/3
780-611-G50	XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) cable - For use with XTC/3
780-611-G100	XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) cable - For use with XTC/3
780-612-G15	4m XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-612-G30	4m XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-612-G50	4m XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-612-G100	4m XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G15	4m XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G30	4m XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G50	4m XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G100	4m XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
Oscillator Only	(No cables included)
780-600-G1	XTC/3 XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 6 in. to 72 in. (15 cm to 183 cm)
780-600-G2	XTC/3 XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 118 in. to 157 in. (3 m to 4 m)
Cables
755-257-G6	15.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough
600-1261-P15	4.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P30	9.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P50	15.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P100	30.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU