컨트롤러

Zevision® IMC300

반복성 극대화 및 탁월한 수정 효율을 위한 정밀 제어

300-L
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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인피콘 IMC300은 오늘날의 광학 코팅기에 필요한 새로운 특허 기술을 제공하는 차세대 Zevision 증착 컨트롤러의 일부입니다.

모드락 측정 시스템

인피콘 Zevision IMC300은 최고의 두께 정확도, 최고의 측정 분해능 및 최저 속도 노이즈로 재현성과 균일성을 극대화하기 위해 인피콘 ModeLock™ 측정 시스템을 사용합니다. 모드락 측정 시스템은 사용 가능한 크리스탈 수명을 연장하여 가동 시간과 처리량을 극대화하며, 경우에 따라서는 주파수 카운팅 컨트롤러의 예상 수명보다 두 배 이상 연장할 수 있습니다.

간편한 시스템 통합

이전 버전과의 호환성, 로직 및 단일 컨트롤러를 사용하여 여러 소스를 동시에 실행할 수 있는 옵션 기능을 통해 인피콘 Zevision IMC300과 시스템을 빠르고 쉽게 통합할 수 있습니다. 인피콘 Zevision IMC300은 메뉴를 쉽게 탐색하고 직관적인 레시피를 만들 수 있는 터치스크린 전면 패널을 갖추고 있습니다. 모든 명령과 응답에 명확한 시작 및 중지 문자가 있는 ASCII 인쇄 가능 문자만 사용하므로 소프트웨어 작성이 크게 간소화됩니다. 새로운 직렬 통신 프로토콜에는 사용 설명서를 참조하지 않고도 어떤 명령어를 사용할 수 있는지 알아볼 수 있는 도움말 명령도 있습니다.

업그레이드 및 사후 관리 계획

이제 전면 패널 USB 포트를 통해 손쉽게 옵션 카드와 펌웨어 업데이트를 설치하여 현장에서 모든 펌웨어 업데이트 및 하드웨어 업그레이드를 수행할 수 있습니다. 옵션 I/O 및 2-센서-2-소스 측정 보드는 추가 도구 없이 현장에서 설치할 수 있습니다.

인피콘 Zevision IMC300은 수십 년 동안 사용할 수 있도록 제작되었지만, 선택적 애프터 케어 플랜 기간 내에 수리가 필요한 경우 무료로 수리를 받을 수 있습니다. 2년 또는 4년 애프터 케어 플랜(선택 사항)을 이용하면 인피콘 Zevision IMC300을 수리해야 하는 경우 표준 2년 보증을 넘어 연장할 수 있습니다. IMC300에 애프터 케어 플랜이 있는 경우, 기기 수명 기간 동안 서비스가 필요한 경우 대여 장치를 제공할 수 있습니다.

IMC 300_Left Side+Circuit board
IMC 300_Left Side+Circuit board

장점

  • 모드락 측정 시스템을 사용하여 최고의 두께 정확도, 최고의 측정 해상도 및 최저 속도 노이즈로 재현성과 균일성을 극대화합니다. 
  • 모드 잠금(가장 긴 사용 가능한 크리스탈 수명)으로 크리스탈 소모품 비용을 낮추면서 실행 가능한 횟수를 최대화합니다.
  • 이전 버전과의 호환성, 로직, 단일 컨트롤러로 단일 프로세스 중에 여러 소스를 동시에 실행하는 옵션 기능으로 통합 비용을 최소화하고 통합 속도를 극대화할 수 있습니다.
  • 전 세계 전문가 어플리케이션 지원을 통해 개발 위험 최소화 및 시스템 성능 최적화

사양

측정 
수정 주파수 범위6.0 to 4.5 MHz
주파수 해상도±0.00656 Hz @ 6 MHz
주파수 정확도±2.5 ppm 0 to 50°C
측정 속도10 Hz
두께 및 속도 해상도±0.008 Å and ±0.08 Å/s
두께 정확도0.5%
증착 속도 정확도0.1%
  
  
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스페어 파트

파트 넘버설명
051-1509SPower Supply AC Input Spare
051-1510SFuse Drawer Spare
062-0128SFuse Spare
786-021-G1SHardware Spare Kit
786-210-G1SFront Panel Assembly IMC300 Spare
786-211-G1SChassis Weld Assembly Spare
786-303-P1SBottom Cover Spare
786-304-P1STop Cover Spare
786-310-P1SCard Guide Top Spare
786-311-P1SPartition Spare
786-350-P1SController Card Faceplate Spare
786-351-P1SFaceplate Blank Spare

Zevision 파트 넘버 구성기

ZevisionCongfigurationArt
ZevisionCongfigurationArt

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