박막 모니터
박막 모니터는 디스플레이, 반도체, 광학 코팅, 페로브스카이트 및 산업용 박막 어플리케이션의 정밀한 공정 제어를 위해 증착 속도와 두께를 실시간으로 측정합니다. 박막 모니터의 고정밀 기술은 일관성, 효율성 및 우수한 필름 품질을 보장합니다.
결과를 얻으려면 필터를 재설정하세요.
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- EtherCAT communications for seamless integration
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- Ethernet communications for seamless integration
SQM-160은 입증된 INFICON 석영 크리스탈 센서 기술을 사용하여 박막 증착 공정의 속도와 두께를 측정합니다
- 2개의 측정 채널이 표준으로 제공되고 4개의 채널을 옵션으로 추가할 수 있음
- 속도/두께 기록을 위한 아날로그 출력
- 고해상도 옵션: 10개 판독값/초에서 0.03 Hz
- RS-232 표준, USB 또는 이더넷 옵션
STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다
- 저렴한 기기
- USB 연결
- 내부 오실레이터
- 초당 10회 측정 시 높은 정확도
SemiQCM™ SR sensor is one component of a system for precursor monitoring with the other components being an IMM-200 and FabGuard (version 19.12.00-a or higher).
- QCM data monitored at 10 Hz
- FabGuard correlates QCM data to tool state and process step
- Precise measurement of deposition or etch rates
- Sensitivity & precision for sub-monolayer thickness measurement
real-Time, in situ process monitoring, prevent over-etching, identify chamber clean end point
- QCM data monitored at 10 Hz
- FabGuard correlates QCM data to tool state and process step
- Precise measurement of deposition or etch rates
- Sensitivity & precision for sub-monolayer thickness measurement