센서 및 피드스루
디스플레이, 태양광, 광학, 반도체, 항공우주 및 산업 분야의 박막 증착 공정을 위한 정확하고 신뢰할 수 있는 측정 및 제어를 위해 인피콘의 박막 센서와 피드스루를 사용하세요. 높은 정밀도와 내구성을 위해 설계된 이 제품은 공정 효율성과 필름 품질을 향상시킵니다.
결과를 얻으려면 필터를 재설정하세요.
Easy Rate 싱글 센서는 비용을 최소화하면서 생산을 극대화할 수 있습니다
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
INFICON 전면 장착 싱글 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 2.54cm(1인치) 볼트 피드스루/CF40 피드스루와 함께 사용
- 압축 피팅과 함께 주문한 경우 조정 가능한 길이
INFICON 전면 장착 듀얼 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 듀얼 크리스털
- 크리스탈 셔터
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
Cool Drawer 싱글 센서를 사용하면 측면 센서에 크리스탈을 설치할 수 있어 전면 크리스탈 설치 공간이 부족한 시스템에 편리합니다
- 내부 케이블 없음
- Cool Drawer 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 용접된 CF40 플랜지와 함께 주문할 경우 베이크 가능
Cool Drawer 듀얼 센서는 진공 챔버에 두 번째 크리스탈이 있는 것이 바람직한 중요한 공정에 사용하도록 설계되어 있습니다
- Dual crystals
- Cool Drawer crystal holder
- No internal cables
- Crystal shutter
Easy Rate 듀얼 센서는 한 개의 크리스탈로 충분하지 않을 수 있는 QCM 적용개소에 간단하고 경제적인 솔루션을 제공합니다
- 듀얼 크리스털
- 가격
- 로우 프로파일 설계
- 크리스털 셔터 포함
INFICON UHV 베이커블 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 고온 납땜 및 용접 구조
- 최고 450°C 베이크아웃 온도
- 크리스탈 셔터(옵션)
- 전면 장착 크리스탈 홀더
INFICON ALD 센서는 QCM(Quartz Crystal Microbalance) 측정의 반복성, 정밀도 및 내구성을 원자층 증착(ALD)까지 가능하게 합니다
- 대부분의 ALD 공정 온도에 사용 가능
- 유지보수를 크게 줄입니다.
- 시스템 가동시간이 극대화됩니다.
- 측정 정확도가 극대화합니다.
INFICON CrystalSix 센서는 지속적인 속도 제어가 요구되는 긴 공정에서 중요합니다
- Holds 6 crystals with robust, automatic switching to maximize process uptime
- Stable crystal temperature, because crystal switching is pneumatically-driven (competitive units use heat-generating motors)
- 1/8" tubes maintain thermal stability and allow flexibility in sensor placement
- Optional crystal shutter available
RSH-600 회전 센서 헤드는 매우 두꺼운 막과 몇 가지 다른 재료를 사용하는 까다로운 공정을 위해 설계되었습니다
- 6개의 크리스탈
- 위치 피드백(컨트롤러에 따라 다름)
- 조절 가능한 길이(플랜지 옵션 포함)
- 견고한 디자인
INFICON Crystal 12 센서는 INFICON IC6 박막 증착 컨트롤러와 함께 사용할 경우 공정을 중단하지 않고도 크리스탈을 자동으로 교체합니다
- 안정적인 자동 전환 기능으로 12개의 크리스탈을 사용하여 공정 가동 시간을 극대화함
- 제거하기 쉬운 캐러셀로 12개의 크리스탈 모두를 빠르게 교체할 수 있음
- 공압 방식으로 크리스탈을 전환하므로 크리스탈 온도가 안정적임(경쟁 제품은 발열 모터 사용)
- 제거하기 쉬운 전면 증착 실드는 재료 축적으로부터 크리스탈과 캐러셀을 보호하여 유지보수를 위해 전체 센서를 제거할 필요성을 줄여줌
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 많은 QCM 센서와 챔버 구성을 수용합니다
- 2.54cm(1인치) 볼트 또는 CF40(2.75인치 ConFlat®) 스타일 사용 가능
- 사용 가능한 Ultra-Torr O-링 압축 피팅
- 사용자 지정 피드스루 구성 사용 가능
- 요청 시 기타 피드스루 스타일 사용 가능
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 Easy Rate 센서를 수용합니다
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings