컨트롤러
인피콘의 박막 컨트롤러는 디스플레이, 반도체, 광학 코팅, 페로브스카이트 및 산업용 박막 어플리케이션을 위한 정밀한 증착 속도 및 두께 제어 기능을 제공합니다. 정확성과 신뢰성을 위해 설계된 당사의 컨트롤러는 필름 품질을 최적화하고 공정 효율성을 개선하며 일관된 성능을 보장합니다.
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Controllers
IC6
Provides exceptional value by combining the best performance, quality, and features of any other quartz crystal controller
IC6
- INFICON ModeLock technology ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Auto Z improves thickness accuracy by automatically determining the Z-ratio as material is deposited
- Codeposition of up to six sources simultaneously
- USB data storage for screen shots, recipe storage, and data logging
Controllers
Cygnus® 2
Cygnus 2 박막 증착 컨트롤러는 OLED 공정을 최대한 활용할 수 있는 고유한 기능들과 INFICON 박막 컨트롤러의 입증된 성능을 결합하여 탁월한 가치를 제공합니다
CYGNUS® 2 박막 증착 컨트롤러
- INFICON ModeLock 기술은 매우 낮은 속도에서도 가장 안정적이고 가장 높은 해상도의 속도 및 두께 측정 가능
- Auto Z 기능은 재료가 증착됨에 따라 Z 비율을 자동으로 결정하여 두께 정확도를 향상시킴
- 최대 6개의 소스를 독립적으로 또는 1개의 Cygnus 2와 결합하여 동시에 제어할 수 있어 2개 또는 3개의 컨트롤러를 대신할 수 있음
- 컬러 TFT LCD 디스플레이로 공정 진행 상황을 쉽게 볼 수 있음
Controllers
XTC/3
단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다
XTC/3 박막 증착 컨트롤러
- 단층 또는 다층 모델로 제공
- 모드 호핑으로 발생하는 막 두께 오류를 방지하는 특허 받은 ModeLock 기술
- INFICON Crystal 12®, Crystal Six® 및 듀얼 센서 자동 크리스탈 전환 지원으로 생산성 극대화
- XTC/3M 다층 모델은 최대 99개의 공정, 999개의 층, 32개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원
증착 컨트롤러
IQM-233
IQM-233 PCI Express 카드는 사용자의 PC를 박막 증착 컨트롤러로 변화시킵니다
IQM-233 박막 증착 컨트롤러 PCI-EXPRESS 카드
- PCI Express, PC에 여러 카드 설치
- 카드당 3개의 센서 입력, 3개의 제어 출력
- 손쉬운 PLC 통합을 통한 I/O 기능 추가
- 여러 소스의 공동 배치
Controllers
Guardian™ EIES CONTROLLER
Guardian은 증착 속도 0.1 ~ 10,000 Å/s 제어 가능
GUARDIAN™ EIES 컨트롤러
- 최대 8가지 재료의 동시 증착을 모니터링 및 제어
- 0.1 ~ 10,000 Å/s의 증착 속도
- 통합 EIES 및 QCM 박막 공정 제어
- 12개의 릴레이 출력과 12개의 디지털 입력
증착 컨트롤러
SQC-310
매우 정확한 시퀀스 또는 코드포지션 제어
SQC-310
- 밝은 컬러 LCD 디스플레이 - 영어 또는 중국어로 제공
- 표준 RS-232 및 USB(RS-232 및 이더넷 옵션)
- "빠른 설정" 메뉴, 상황에 맞는 6개의 푸시 버튼, 편리한 파라미터 설정 노브를 통한 간편한 설정 및 작동
- 프로세스 개발, 테스트 및 다운로드, 프로세스 분석 및 품질 관리를 위해 계측기 데이터를 PC에 로깅할 수 있는 Windows® 프로그램
컨트롤러
Zevision IMC300
반복성 극대화 및 탁월한 수정 효율을 위한 정밀 제어
Zevision® IMC300
- 모드락 측정 시스템을 사용하여 최고의 두께 정확도, 최고의 측정 해상도 및 최저 속도 노이즈로 재현성과 균일성을 극대화합니다.
- 모드 잠금(가장 긴 사용 가능한 크리스탈 수명)으로 크리스탈 소모품 비용을 낮추면서 실행 가능한 횟수를 최대화합니다.
- 이전 버전과의 호환성, 로직, 단일 컨트롤러로 단일 프로세스 중에 여러 소스를 동시에 실행하는 옵션 기능으로 통합 비용을 최소화하고 통합 속도를 극대화할 수 있습니다.
- 전 세계 전문가 어플리케이션 지원을 통해 개발 위험 최소화 및 시스템 성능 최적화