핫 이온 게이지
BAG05X
UHV BAYARD-ALPERT 고온 이온 패시브 진공 게이지
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 베이어드-알퍼트 패시브 진공 게이지 헤드 BAG050, BAG051, BAG052 및 BAG053은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083A 및 VGC083B와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다. 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트는 공기 및 비활성 기체(예: N2, 아르곤)에서 일반적인 진공 적용개소에 제공됩니다. 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트와 호환되지 않는 가스의 경우에는 텅스텐 필라멘트를 선택하십시오. BAG05x 게이지는 다른 제조업체의 호환 가능한 진공 게이지 컨트롤러로도 작동할 수 있습니다. INFICON 패시브 베이어드-알퍼트 이온화 진공 게이지(BAG05x)는 다음과 같이 3가지의 다른 구성으로 제공됩니다.
BAG050은 2×10-11 Torr의 낮은 압력 측정이 가능한 EB 디가스 UHV 누드 이온화 진공 게이지입니다.
BAG051은 4×10-10 Torr의 낮은 압력 측정이 가능한 저항성 디가스(I2R) 누드 이온화 진공 게이지입니다.
BAG052 및 BAG053은 4×10-10 Torr의 낮은 압력 측정이 가능한 저항성 디가스(I2R) 유리 밀폐형 이온화 진공 게이지입니다.
장점
- 믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
- 대부분의 누드 고온 이온 게이지 헤드에 대해 드롭인
- 광범위한 방출 전류(100 μA ~ 10 mA)
- 단일/이중 산화이트륨 코팅 이리듐 및 이중 텅스텐 필라멘트 음극 어셈블리와 함께 사용 가능
- 가스 제거: 모든 모델은 EB(전자 충격 가공)를 사용하여 가스를 제거할 수 있습니다. BAG051, BAG052 및 BAG053은 저항성 디가스(I2R)를 사용하여 가스를 제거할 수도 있습니다.
사양서
BAG050
BAG051
BAG052
BAG053
BAG055
Measurement range | mbar Torr | 2.7 x 10-11 ... 1.3 x 10-3 2 x 10-11 ... 1 x 10-3 |
X-ray limit | Torr | 2 x 10-11 |
Bakeout temperature | °C | 450 |
Insulator | ceramic | |
Flange material | stainless steel 304 |
Measurement range | mbar Torr | 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3 4 x 10-10 ... 1 x 10-3 |
X-ray limit | Torr | 4 x 10-10 |
Bakeout temperature | °C | 450 |
Insulator | ceramic | |
Flange material | stainless steel 304 |
Measurement range | mbar Torr | 4 x 10-10 ... 1 x 10-3 5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1 |
X-ray limit | Torr | 4 x 10-10 |
Bakeout temperature | °C | 450 |
Insulator | glass to metal | |
Flange material | glass Nonex 7720 |
Measurement range | mbar Torr | 5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1 4 x 10-10 ... 1 x 10-3 |
X-ray limit | Torr | 4 x 10-10 |
Bakeout temperature | °C | 450 |
Insulator | glass to metal | |
Flange material | glass Nonex 7720 |
Measurement range | mbar Torr | 1.3×10-9 … 6.7×10-2 1×10-9 … 5×10-2 |
X-ray limit | Torr | 5 x 10-10 |
Bakeout temperature | °C | 200 |
Insulator | glass | |
Flange material | stainless steel 304 |
파트 넘버
제품은 다음 마켓에서 사용됩니다.