Hot Ionization Gauges

BAG302 중간 ~ 초고진공 게이지

INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지 BAG302는 1.3 × 10^-9mbar ~ 6.7×10^-2mbar(1 × 10^-9 Torr ~ 5 × 10^-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.

ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

여기에서 웨비나를 확인하세요.

INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지 BAG302는 1.3 × 10^-9mbar ~ 6.7×10^-2mbar(1 × 10^-9 Torr ~ 5 × 10^-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다. 소형의 올인원 고온 이온 게이지인 BAG302는 듀얼 필라멘트 센서, 내장된 OLED 디스플레이, 설정값 릴레이, 로그 선형 아날로그 출력뿐만 아니라 통합된 RS485 디지털 인터페이스를 쉽게 교체할 수 있어 높은 통합 유연성을 제공합니다. 이러한 기능에 견고한 설계가 결합되어 BAG302는 자체 기본 압력 측정 기기에 대한 적정하고 반복 가능한 공정이 되고 높은 가치와 낮은 소유 비용을 제공합니다.

장점

1.3 × 10^-9 ~ 6.7×10^-2mbar(1 × 10^-9 ~ 5 × 10^-2 Torr)의 광범위한 측정 범위
수명이 긴 2개의 표준 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
내장 디스플레이, 셋포인트, 아날로그 출력 신호 및 표준 통합 RS485 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
간편한 설정, 작동 및 프로그래밍을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
사용자 프로그래밍 가능한 셋포인트 릴레이
사용자 프로그래밍 가능 디스플레이 단위(mbar, Torr 또는 Pa)
사용자가 선택 가능한 방출 전류 자동 범위
기계적 강도 및 견고함
다양한 플랜지 옵션 선택
감지 소자 교체 용이
규정 준수 및 표준: CE, RoHS
Granville-Phillips^® 354 Micro-Ion^® 모듈을 직접 드롭인 교체 – 소프트웨어 명령을 포함한 동일한 제어 기능(RS485) (Granville-Phillips^® 및 Micro-Ion^®은 매사추세츠주 앤도버에 소재한 MKS Instruments의 등록 상표)

일반적인 응용 분야

반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
산업용 코팅
저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

사양서

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr Pa	1.3 x 10^-9 ... 6.7 x 10^-2 1 x 10^-9 ... 5 x 10^-2 1.3 x 10^-7 ... 6.7

Accuracy (N₂)

1.3×10^-8 … 6.7 ×10^-2 mbar	% of reading	±15
1×10^-8 … 5×10^-2 Torr	% of reading	±15

Repeatability	% of reading	±5

Temperature	°C	+10 … +50

Operation (ambient)	°C	0 ... +40
Storage	°C	-40 ... +70
Bakeout at flange (sensor only, electrics removed)	°C	200

Supply voltage	V (dc)	+20 ... +28

Setpoint relay		1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive

Materials exposed to vacuum		Y₂O₃, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni