Hot Ionization Gauges
BAG402 중간~초고진공 게이지
INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지인 BAG402는 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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유연성 향상. 안정성 향상.
슬라이딩 에미션 모드, 탈착식 보정 칩, 갈바닉 절연 전자 장치, 옵션 OLED 디스플레이(90° 회전 가능), 이제 VGC50x와도 호환됩니다.
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INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지인 BAG402는 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다. 기본 압력 측정에 적정하고 반복 가능한 프로세스에 대해 컴팩트한 활성 게이지 패키지로 제공되는 INFICON BAG402를 선택하십시오. 지원되는 고유한 듀얼 필라멘트가 뛰어난 정확성, 장기간 안정성 및 오랜 지속성을 제공합니다.
장점
- 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- 과압을 감지하여 필라멘트가 조기 단선되지 않도록 보호
- 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
- 자동 방출 전류 선택으로 간편하게 제어 가능
- 탁월한 재생력을 보장하는 온보드 보정 데이터를 사용하여 간단하게 감지 소자 교체
- RoHS 준수
일반적인 응용 분야
- 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
- 산업용 코팅
- 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
사양서
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 2.7×10-2 3.75×10-10 5×10-2 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange without electronics | °C | 80 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| 353-600 | BAG402 DSUB9 KF25 |
| 353-601 | BAG402 DSUB9 CF40 |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
| 354-484 | Spare sensor head BAG402 DN 25 ISO-KF |
| 354-485 | Spare sensor head BAG402 DN 40 CF-R |
다운로드
Manual
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