Hot Ionization Gauges
BCG450 ATM~초고진공 트리플 게이지
INFICON 바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지 BCG450은 컴팩트하고 경제적인 단일 패키지에 세 가지 기술 이점을 결합하여 5 x 10-10 ~ 1,500mbar(3.75 x 10-10 ~ 1,125 Torr)의 공정 및 베이스 압력을 측정합니다.
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지 BCG450은 컴팩트하고 경제적인 단일 패키지에 세 가지 기술 이점을 결합하여 5 x 10-10 ~ 1,500mbar(3.75 x 10-10 ~ 1,125 Torr)의 공정 및 베이스 압력을 측정합니다. BCG450은 세 개의 센서(핫이온, 대류 향상 피라니, 진공 스위치)를 대체하도록 설계되어 비용 및 중요한 장비 설치 공간을 절약합니다.
장점
- BCG450은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 측정장치 설치 및 설정 복잡성 감소
- 10 Torr 넘는 가스 유형 독립 압력 측정으로 모든 가스 혼합물에 대해 보다 신뢰성 있는 로드록 제어 가능
- Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
- 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
- 대기에서의 차압 측정은 대기압 변화와 관련된 불확실성 제거
- 온보드 보정 데이터로 감지 소자를 교환하기 용이하여 재현성 보장
- 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
- RoHS 준수
일반적인 응용 분야
- 반도체 공정, 트랜스퍼 및 로드록 챔버의 압력 측정
- 산업용 코팅
- 저진공부터 초고진공 범위까지의 시스템에서 일반적인 진공 측정 및 제어
사양서
Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1500 3.75×10-10 … 1125 |
Accuracy | ||
10-8 … 50 mbar | % of reading | ±15 |
50 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
Repeatability | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
Temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
Storage | °C | -20 … +70 |
Bakeout at flange | °C | 80 |
Bakeout electronics removed | °C | 150 |
Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass |
Part Number
Accessories
Spare Parts
Part Number | Description |
353-550 | BCG450 DN 25 ISO-KF |
353-551 | BCG450 DN 40 CF-R |
353-552 | BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF |
353-553 | BCG450 LCD, DN 40 CF-R |
353-554 | BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
353-556 | BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R |
353-557 | BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
353-558 | BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R |
353-592 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-593 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-598 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-599 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-517 | BCG450-PN PROFINET, DN 25 ISO-KF |
353-518 | BCG450-PN PROFINET, DN 40 CF-R |
Part Number | Description |
353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
353-512 | Baffle for BPG400 |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
Part Number | Description |
354-492 | Spare sensor head BCG450, DN 25 ISO-KF |
354-493 | Spare sensor head BCG450, DN 40 CF-R |
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TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang
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BCG450 TripleGauge EtherCAT Communication Protocol
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BCG450 TripleGauge DeviceNet Communication Protocol
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BCG450 TripleGauge PROFIBUS Communication Protocol
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BCG450 TripleGauge PROFINET Communication Protocol
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TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long
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3D Step Files
353-517 BCG450 PROFINET DN 25 ISO-KF
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353-518 BCG450 PROFINET DN 40 CF-R
stp
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353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF
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353-551 BCG450 DN 40-CF-R
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353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF
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353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R
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353-554 BCG450 PROFIBUS DN 25 ISO-KF
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353-556 BCG450 PROFIBUS DN 40-CF-R
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353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF
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353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R
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353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF
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353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R
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기타
BCG450 TripleGauge int EDS
eds
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BCG450 TripleGauge Float EDS
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BCG450 TripleGauge 08E6 GSD
GSD
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BCG450 TripleGauge EtherCAT New Generation ESI V2
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BCG450 TripleGauge ESI V1.3
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Inficon_450_SP_STEP7
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