Hot Ionization Gauges

BCG450 ATM~초고진공 트리플 게이지

INFICON 바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지 BCG450은 컴팩트하고 경제적인 단일 패키지에 세 가지 기술 이점을 결합하여 5 x 10^-10 ~ 1,500mbar(3.75 x 10^-10 ~ 1,125 Torr)의 공정 및 베이스 압력을 측정합니다.

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INFICON 바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지 BCG450은 컴팩트하고 경제적인 단일 패키지에 세 가지 기술 이점을 결합하여 5 x 10^-10 ~ 1,500mbar(3.75 x 10^-10 ~ 1,125 Torr)의 공정 및 베이스 압력을 측정합니다. BCG450은 세 개의 센서(핫이온, 대류 향상 피라니, 진공 스위치)를 대체하도록 설계되어 비용 및 중요한 장비 설치 공간을 절약합니다.

장점

BCG450은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 측정장치 설치 및 설정 복잡성 감소
10 Torr 넘는 가스 유형 독립 압력 측정으로 모든 가스 혼합물에 대해 보다 신뢰성 있는 로드록 제어 가능
Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
대기에서의 차압 측정은 대기압 변화와 관련된 불확실성 제거
온보드 보정 데이터로 감지 소자를 교환하기 용이하여 재현성 보장
옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
RoHS 준수

일반적인 응용 분야

반도체 공정, 트랜스퍼 및 로드록 챔버의 압력 측정
산업용 코팅
저진공부터 초고진공 범위까지의 시스템에서 일반적인 진공 측정 및 제어

사양서

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1500 3.75×10^-10 … 1125

Accuracy

10^-8 … 50 mbar	% of reading	±15
50 … 950 mbar	% of reading	±5
950 … 1050 mbar	% of reading	±2.5

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	20 … 28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg, stainless steel, glass

전체 사양 다운로드

Part Number

Accessories

Spare Parts

Part Number	Description
353-550	BCG450 DN 25 ISO-KF
353-551	BCG450 DN 40 CF-R
353-552	BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF
353-553	BCG450 LCD, DN 40 CF-R
353-554	BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-556	BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R
353-557	BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-558	BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R
353-592	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-517	BCG450-PN PROFINET, DN 25 ISO-KF
353-518	BCG450-PN PROFINET, DN 40 CF-R