BPG400

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INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG400은 하나의 작은 장치에서 두 개의 게이지로 작동하여 5×10^-10 mbar ~ 대기(3.8×10^-10 ~ 대기)를 측정합니다. 결합된 기술로 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 줄어듭니다. 하나의 경제적인 패키지에서 적정하고 반복 가능한 공정으로 기본 압력을 측정할 수 있는 BPG400을 선택하십시오.

장점

5×10^-10 mbar ~ 대기(3.8×10^-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
5%의 10^-8 … 10^-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
Pirani 인터록은 Bayard-Alpert 시스템의 조기 필라멘트 단선 및 고압 작동으로 인한 과도한 오염 방지
수명이 긴 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
RoHS 준수
저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

일반적인 응용 분야

반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
산업용 코팅
저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

사양서

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1000 3.8×10^-10 … 750

Accuracy

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	±15

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange with extension	°C	150
Bakeout at flange without extension	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	+20 … +28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

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파트 넘버

악세사리

스페어 파트

파트 넘버	설명
353-500	BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501	BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502	BPG400 DN 40 CF-R
353-503	BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505	BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506	BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508	BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R

파트 넘버	설명
353-511	Power supply BPG400 24VDC
353-510	100 mm sensor extension tube
353-512	Baffle for BPG400
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF

파트 넘버	설명
354-490	Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF
354-491	Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display

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장점

일반적인 응용 분야

사양서

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