BPG402-SX

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유연성 향상. 안정성 향상.

슬라이딩 에미션 모드, 탈착식 보정 칩, 갈바닉 절연 전자 장치, 옵션 OLED 디스플레이(90° 회전 가능) 등이 있습니다.

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INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG402-S는 하나의 작은 장치에서 5×10^-10 ~ 대기(3.8×10^-10 Torr ~ 대기)를 측정하며 두 게이지의 기능을 합니다. 결합된 기술로 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 줄어듭니다. 하나의 경제적인 패키지에서 적정하고 반복 가능한 공정으로 기본 압력을 측정할 수 있는 BPG402-S와 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트를 선택하십시오. 온보드 보정 데이터를 사용하는 감지 소자는 센서 교체 시 높은 재현성을 보장합니다.

장점

5×10^-10 mbar ~ 대기(3.8×10^-10Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
5%의 10^-8 … 10^-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
Pirani 인터록이 필라멘트의 조기 단선 방지
수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
탁월한 재생력을 보장하는 온보드 보정 데이터를 사용하여 간단하게 감지 소자 교체
RoHS 준수

일반적인 응용 분야

반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
산업용 코팅
저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

사양서

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1000 3.8×10^-10 … 750

Accuracy

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	±15

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange without electronics BPG402-S	°C	80
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	+20 … +28 ≤0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

전체 사양 다운로드

파트 넘버

악세사리

스페어 파트

파트 넘버	설명
353-570	BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571	BPG402-S DN 40 CF-R
353-572	BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573	BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-578	BPG402-SL long tube DN 40 CF-R
353-574	BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575	BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576	BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577	BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-590	BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591	BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596	BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597	BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R