핫 이온 게이지
Trigon™ BPG552
ATM - 초고진공 듀얼 게이지
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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UHV(5 x10-10)에서 ATM(1000 mbar)까지의 측정 범위가 필요한 어플리케이션을 위해 Trigon™ 제품군에는 듀얼 기술 BPG552 게이지가 포함되어 있습니다. BPG552는 고전적이고 견고하며 신뢰할 수 있는 피라니 센서 소자와 함께 베이야드-알퍼트 고온 이온화 센서 소자로 구성됩니다. 지원되는 베이야드-알퍼트 듀얼 필라멘트는 뛰어난 정확도, 반복성 및 수명을 제공합니다.
VacXplor™ Software
당사의 모듈식 사용자 소프트웨어인 VacXplor는 인피콘 트라이곤 게이지의 사용 경험을 향상시키기 위해 설계되었습니다. VacXplor는 통합 인터페이스, 동적 데이터 시각화 및 고급 사용자 지정 옵션을 제공하며, 설치 시 관리자 권한이 필요하지 않습니다.
장점
- 넓은 측정 범위, 비용 절감 및 공간 절약을 위한 듀얼 게이지(2개의 감지 요소)
- 베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
- 필라멘트의 조기 파손을 방지하는 피라니 인터락 보호 기능
- 자동 고진공 피라니 조정으로 작업자 개입 감소
- 전기 부유 전류를 방지하는 갈바닉 절연 전자 장치
- 에미션 스트림 전환 시 압력 점프를 방지하는 슬라이딩 에미션 모드
- 탈착식 보정 데이터 칩으로 인한 베이킹 가능성 확장
- 셋포인트 릴레이
- 사용자 인터페이스가 있는 밝고 큰 OLED 디스플레이(90° 회전 가능)
- 아날로그 출력, RS232C 인터페이스, EtherCAT®
- VGC50x 컨트롤러 시리즈와 함께 사용 가능
- BPG402와 호환 가능
- RoHS 준수
대표적인 어플리케이션
- 반도체 공정에서의 압력 측정
- 산업용 코팅
- 저진공에서 초고진공 범위의 시스템에 대한 일반 진공 측정 및 제어
사양
| 측정 범위 (공기, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 1000 mbar |
| 정확도 | |
| 1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar | ±15 측정값의 |
| 1 x 10-2 mbar … 1000 mbar | ±30% 측정값의 |
| 반복성 | 5% 측정값의 , 10-8 … 10-2 mbar (10분 안정화 후) |
| 진공에 노출된 재료 | 스테인리스강, 니켈 도금, 하스텔로이, 유리, 이리듐, 산화 이트륨(Y2O3), 니켈, 텅스텐 |
파트 넘버
스페어 파트
| 파트 넘버 | 설명 |
| 354-420 | BPG552 스페어 센서 헤드, KF25 |
| 354-421 | BPG552 스페어 센서 헤드, CF40 |
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