커패시턴스 마노메타
큐브 CDGSCI
풀 스케일 0.1 ~ 1000 Torr/mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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고급 INFICON Cube 용량식 격막 진공 계기는 가장 정확하고(≤ 0.025 % Rd 정확성, ≤ 50ppm FS 반복성) 가장 안정적인 진공 게이지(< 5ppm FS/ °C 온도 안정성; < 70ppm FS/ 연간 장기 안정성)입니다. Cube는 진공 측정 시스템을 표준화하기 위한 순수한 기준 장치이며 진공 연구 분야의 유일한 선택입니다. 입증된 INFICON 온도 제어식 부식 방지 초고순도 센서는 Cube의 탁월한 성능의 핵심입니다. Cube는 20비트 아날로그 출력과 무선 또는 유선 이더넷 인터페이스를 통해 연결된 RS232-C, TCP / IP 및 HTML 디지털 출력으로 현대식 통신 및 사용자 유연성에 있어서 새로운 표준을 수립하고 있습니다. 각 장치는 Cube의 선도적인 제품 연구자들이 직접 서명한 품질 보증 인증서와 함께 제공됩니다. 보관이나 교정 실험실로 배송을 위해 재사용 가능한 하드쉘 슈트케이스에 담아서 제공함으로써 전문성을 강조합니다.
장점
- 진정한 고정밀 압력 측정 – 세라믹 기술
- 아주 안정적인 출력 – PTB에서 입증됨
- 유연한 통신 – 다양한 최신 인터페이스
- 모든 기능 통합 – 컨트롤러 필요 없음
- 챔버에 직접 장착 – 무게중심 최적화
- 차단 밸브 없이 운송 가능
일반적인 응용 분야
- 운송 표준
- 주 기준 게이지
- 검사
- 실내 표준
사양서
1000 Torr
100 ... 1 Torr
100mTorr
정확성 | % of reading | 0.025 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 100 |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
정확성 | % of reading | 0.025 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 100 |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
정확성 | % of reading | 0.05 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 100 |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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Cube® CDGsci Operating Manual
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사용 매뉴얼
Communication protocol RS232 ASCII
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Communication protocol REST services
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Communication protocol RS232C
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사용 매뉴얼
Communication protocol web interface
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사용 매뉴얼
3D Step Files
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