커패시턴스 마노메타
Edge® CDG025D2
풀 스케일 0.1 ~ 1000 Torr/mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Edge 용량식 격막 진공계는 열악한 제조 환경에 맞게 설계된 매우 정확한 진공 측정 기기입니다. 입증된 온도 제어식 부식 방지 초고순도 세라믹 센서는 최첨단 제로 안정성과 함께 수년 간 월등한 범위 안정성을 제공합니다. Edge는 원하지 않는 공정 부산물로부터 게이지를 보호하는 INFICON의 특허 받은 고유 센서 실드와 함께 제공됩니다. 고급 전자장치는 모든 응용 분야에서 구성 가능한 광범위한 신호 조절 기능과 선택적인 EtherCAT 필드버스 인터페이스를 제공합니다. 혁신적인 가열 개념을 사용하여 터치 표면을 냉각시키고 중요한 공구 공간을 확보할 수 있습니다. INFICON Edge는 이 종류 중 가장 작은 진공 측정 기기입니다.
장점
- 간편한 통합, EtherCAT, 광범위한 풀 스케일 및 플랜지, 2개의 설정 지점을 갖춘 표준
- 간단한 하나의 푸시 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 빠른 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
- 내부식성 세라믹 센서
- 뛰어난 장시간 신호 안정성
- 온도 보상
- 오염 방지 센서
- 준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
일반적인 응용 분야
- 에칭, PVD 및 기타 반도체 생산 프로세스
- 데이타 저장 장치 및 디스플레이 제조 장비
- 산업용 진공 장비
- 일반적인 고정밀 압력 측정
사양서
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr / mbar
0.1 Torr / mbar
정확성 | % of reading | 0.2 |
해상도 | percent FS | 0.003 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 30 |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
정확성 | % of reading | 0.2 |
해상도 | percent FS | 0.003 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 30 |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
정확성 | % of reading | 0.2 |
해상도 | percent FS | 0.003 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 30 |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
정확성 | % of reading | 0.25 |
해상도 | percent FS | 0.003 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 130 |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
정확성 | % of reading | 0.5 |
해상도 | percent FS | 0.003 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 130 / 30 (3) |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar DE
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Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴 ZH
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Manual Edge CDG025D2 with EtherCAT
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CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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CDGxxxD Communication manual RS232C
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SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
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Edge CDG025D2 8VCR EtherCAT
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