커패시턴스 마노메타
Edge® CDG045D2
45°C 온도 제어, 풀 스케일 1 … 1000 Torr / mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
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INFICON Edge 용량식 격막 진공계는 열악한 제조 환경에 맞게 설계된 매우 정확한 진공 측정 기기입니다. 입증된 온도 제어식 부식 방지 초고순도 세라믹 센서는 최첨단 제로 안정성과 함께 수년 간 월등한 범위 안정성을 제공합니다. Edge는 원하지 않는 공정 부산물로부터 게이지를 보호하는 INFICON의 특허 받은 고유 센서 실드와 함께 제공됩니다. 고급 전자장치는 모든 응용 분야에서 구성 가능한 광범위한 신호 조절 기능과 선택적인 EtherCAT 필드버스 인터페이스를 제공합니다. 혁신적인 가열 개념을 사용하여 터치 표면을 냉각시키고 중요한 공구 공간을 확보할 수 있습니다. INFICON Edge는 동종 제품 중 가장 작은 진공 측정 기기입니다.
장점
- 중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
- 간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
- 2년 보증, 고급 가열 개념을 이용한 수명 연장 및 게이지 보호
- 열악한 플라즈마 응용 분야에서도 탁월한 신호 안정성과 반복성으로 인해 장기간 재교정 없음
- 규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
일반적인 응용 분야
- CVD, Etch, PVD 및 기타 반도체 생산 공정
사양서
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
| 정확성 | % of reading | 0.15 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 정확성 | % of reading | 0.15 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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CDGxxxD Communication manual RS232C
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Edge® CDG045D2 3D Tube 9DSUB
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