Cold Cathode Gauges

GEMINI® MXG5XX ATM~초고진공 게이지

INFICON Gemini^® 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중).

ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

INFICON Gemini^® 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중). 두 개의 센서 시스템이 하나의 소형 장치에 결합된 Gemini는 대기압부터 1x10 ~ 9mbar 사이를 측정합니다. 특허 받은 초저 표류 자계 설계를 통해 새로운 분야를 열었습니다. 고유의 상호 교환 가능한 이중 챔버 센서 유닛은 세척 주기가 필요 없고 유지보수를 줄이므로 Gemini를 가장 강력하고 경제적인 진공 게이지로 만듭니다.

Gemini 냉음극 및 결합 장치는 완벽하게 통합된 디지털 전자장치를 제공함으로써 시스템 통합을 위한 최상의 유연성을 제공합니다. 냉음극 및 피라니 결합 옵션은 광범위한 분야에 걸쳐 원활한 전환, 신뢰성, 실용성 및 유연성을 제공합니다.

장점

Long lifetime in harsh environments
혹독한 환경에서 긴 수명 유지
낮은 누출 자계
유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품
매우 작은 크기
내부식성 피드스루
선택 가능한 측정 전류
2개의 릴레이 설정 포인트(MxG55x PROFINET 또는 EtherCAT 버전과 함께 사용)
EtherCAT 및 RS232/ RS485 디지털 인터페이스

일반적인 응용 분야

대기에서 증발 및 스터퍼 코팅 분야의 고진공까지 기저 압력 모니터링 및 제어.
일반 진공 측정 – 산업용 용광로, 건축용 유리, 반도체, 냉동 및 공조.
분석 및 R&D 분야 – 질량 분석, 전자 현미경, 의료, 안과, 광학 및 고에너지 물리학.

사양서

MAG5xx

MPG5xx

측정 범위(공기, N₂)	mbar Torr	1×10^-9 … 1×10^-2 (7.6×10^-10 … 7.6×10^-3)

정확성 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2mbar	% of reading	30
1×10^-2 … 100mbar	% of reading	-
100 … 1,000mbar	% of reading	-

반복성 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2mbar	% of reading	5
1×10^-8 … 100mbar	% of reading	-

허용 온도
작동(주변)	°C	+5 ... +55
플랜지에서 베이크 아웃 (1)	°C	<150
보관	°C	-40 ... +70
필라멘트 온도	°C	-

공급 전압
게이지 (2)	V (dc)	+14.5 ... +30
리플	V (p-p)	<1
전력 소모량	W	<2
연결할 퓨즈	AT	<1

(1) 전자장치가 없습니다. (2) 공급 장치의 최소 전압은 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다.

측정 범위(공기, N₂)	mbar Torr	(7.6×10^-10 … 760) 1×10^-9 … 1000

정확성 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2mbar	% of reading	30
1×10^-2 … 100mbar	% of reading	30
100 … 1,000mbar	% of reading	50

반복성 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2mbar	% of reading	-
1×10^-8 … 100mbar	% of reading	5

허용 온도
작동(주변)	°C	+5 ... +55
플랜지에서 베이크 아웃 (1)	°C	<150
보관	°C	-40 ... +70
필라멘트 온도	°C	120

공급 전압
게이지 (2)	V (dc)	+14.5 ... +30
리플	V (p-p)	<1
전력 소모량	W	<=3
연결할 퓨즈	AT	<1

(1) 전자장치가 없습니다. (2) 공급 장치의 최소 전압은 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다.

전체 사양 다운로드

Accessories

Spare Parts

MAG5xx
Part Number	Description
211-098	Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550	MxG50x Ignition tool set
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512	Baffle for BPG400
MPG5xx
Part Number	Description
211-098	Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550	MxG50x Ignition tool set
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512	Baffle for BPG400

MAG5xx
Part Number	Description
351-500	MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556	Spare ion chamber ti
351-512	MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536	MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524	MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502	MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514	MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538	MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526	MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501	MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513	MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537	MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525	MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503	MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515	MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539	MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527	MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555	Spare ion chamber ss
MPG5xx
Part Number	Description
351-506	MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518	MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542	MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530	MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508	MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520	MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544	MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532	MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507	MPG504 SS,LC,9DSub,25KF
351-519	MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543	MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531	MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509	MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521	MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545	MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533	MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555	Spare ion chamber ss
351-556	Spare ion chamber ti