Hot Ionization Gauges
HPG400 ATM~고진공 게이지
INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10-6 mbar부터 대기(1.5×10-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다.

ACADEMY
산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?
INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10-6 mbar부터 대기(1.5×10-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다. HPG400은 정확한 스퍼터 공정 압력 제어를 위해 매우 반복성 높고 재현 가능한 압력 측정을 제공합니다.
장점
- HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
- 고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
- 5×10-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
- Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
- 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
- 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
- RoHS 준수
일반적인 응용 분야
- 반도체 제조, 전자장치 및 미디어 산업의 스터퍼 분야
- 산업용 코팅
- 저진공부터 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
사양서
Measurement range (air, N2) | mbar Torr | 2×10-6 … 1000 1.5×10-6 … 750 |
Accuracy | ||
10-5 … 1 mbar | % of reading | ±15 (1) |
Repeatability | ||
10-5 … 10-1 mbar | % of reading | 2 |
10-1 … 100 mbar | % of reading | 30 |
Temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
Storage | °C | -20 … +70 |
Bakeout at flange | °C | 80 |
Bakeout electronics removed | °C | 150 |
Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
(1) Accuracy from 10-5 mbar to the selected hot ion emission on value |
Part Number
Accessories
Spare Parts
Part Number | Description |
353-520 | HPG400 DN 25 ISO-KF |
353-521 | HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF |
353-522 | HPG400 DN 40 CF-F |
353-523 | HPG400 LCD, DN 40 CF-F |
353-525 | HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
353-526 | HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F |
353-527 | HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF |
353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
Part Number | Description |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
357-499 | Baffle HPG (10 pieces) |
Part Number | Description |
354-487 | Spare sensor head HPG400, DN 25 ISO-KF |
354-488 | Spare sensor head HPG400, DN 40 CF-F |
다운로드
데이터시트
HPG400 DE
pdf
•
283,4 KB
•
독일어
•
데이터시트
HPG400 Datasheet
pdf
•
171,6 KB
•
영어
•
데이터시트
HPG400 ES
pdf
•
283,7 KB
•
스페인어
•
데이터시트
HPG400 JA
pdf
•
409,6 KB
•
일본어
•
데이터시트
HPG400 ZH
pdf
•
411,9 KB
•
중국어
•
데이터시트
HPG400 KO
pdf
•
333,6 KB
•
한국어
•
데이터시트
매뉴얼
TINA31E1_Operating manual_long
pdf
•
1,1 MB
•
영어
•
사용 매뉴얼
TIMA31E1_Operating manual_short
pdf
•
307,4 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short
pdf
•
417,4 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet
pdf
•
323,7 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus
pdf
•
404,8 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
3D Step Files
353-520 HPG400 without LCD
zip
•
445,3 KB
•
3D 파일
353-521 HPG400 without LCD
zip
•
462,0 KB
•
3D 파일
353-522 HPG400 without LCD
zip
•
452,1 KB
•
3D 파일
353-523 HPG400 with LCD
zip
•
459,2 KB
•
3D 파일
353-525 HPG400-SP with PROFIBUS DP
zip
•
467,4 KB
•
3D 파일
353-526 HPG with PROFIBUS DP
zip
•
470,4 KB
•
3D 파일
353-527 HPG400-SD with DeviceNet
zip
•
461,2 KB
•
3D 파일
353-528 HPG400-SD with DeviceNet
zip
•
464,5 KB
•
3D 파일
354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF
zip
•
31,1 KB
•
3D 파일
354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF
zip
•
45,4 KB
•
3D 파일
제품은 다음 마켓에서 사용됩니다