HPG400 ATM~고진공 게이지

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INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10^-6 mbar부터 대기(1.5×10^-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다. HPG400은 정확한 스퍼터 공정 압력 제어를 위해 매우 반복성 높고 재현 가능한 압력 측정을 제공합니다.

장점

HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10^-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
5×10^-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
RoHS 준수

일반적인 응용 분야

반도체 제조, 전자장치 및 미디어 산업의 스터퍼 분야
산업용 코팅
저진공부터 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

사양서

Measurement range (air, N₂)	mbar Torr	2×10^-6 … 1000 1.5×10^-6 … 750

Accuracy

10^-5 … 1 mbar	% of reading	±15 ⁽¹⁾

Repeatability

10^-5 … 10^-1 mbar	% of reading	2
10^-1 … 100 mbar	% of reading	30

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	20 … 28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

(1) Accuracy from 10^-5 mbar to the selected hot ion emission on value

전체 사양 다운로드

Part Number

Accessories

Spare Parts

Part Number	Description
353-520	HPG400 DN 25 ISO-KF
353-521	HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522	HPG400 DN 40 CF-F
353-523	HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525	HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526	HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527	HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528	HPG400-SD DNet DN 40 CF-F