핫 이온 게이지

IE414, IE514

IM540용 핫 캐소드 이온화 패시브 게이지 헤드

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IE414와 IE514는 핫 캐소드 이온화 효과를 기반으로 하는 고급 진공 센서입니다. IE414는 베이야드-알퍼트 게이지이며, IE514는 Extractor 원리를 기반으로 합니다. 이러한 패시브 게이지는 IM540 진공 게이지 컨트롤러에 의해 결합 및 제어됩니다.

캐소드 에미션 전류의 변조 덕분에 IE414의 측정 범위는 10^-2 mbar에서 10^-11 mbar까지 9 Decade 이상에 걸쳐 있습니다. Extractor 원리를 통해 IE514는 X-선 및 이온 탈착 효과의 본질적인 감소 덕분에 2x10-12 mbar의 낮은 측정 한계에 도달할 수 있습니다. IE414 및 IE514 게이지 헤드는 가스 배출이 적은 진공 시스템용으로 설계되었으며 극도로 높은 온도(400°C)까지 베이킹 할 수 있습니다. 내열성 게이지 헤드 케이블 세트는 200°C(센서 플랜지 250°C)를 초과하는 높은 베이크 아웃 온도에도 견딜 수 있도록 설계되었습니다.

장점

개별적으로 보정된 감지 시스템으로 인한 높은 측정 정확도
교체 가능한 캐소드
최대 400°C의 극한 고온 베이크 아웃

IE414

베이야드-알퍼트 감지 원리
2×10^-11mbar까지의 측정 범위
캐소드 에미션 전류의 변조(IM540 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용)

IE514

Extractor 감지 원리
최저 측정 한계, 최저 2×10^-12 mbar
X-선 및 이온 탈착 효과의 현저한 감소

일반적인 어플리케이션

초고진공 범위에서 정밀한 진공 측정과 고온 베이크 아웃이 필요한 과학 및 R&D 응용 분야

작동 단위

진공 게이지 컨트롤러 IM540

사양

IE414

IE514

측정 원리	베이야드-알퍼트, 핫 캐소드 이온화
측정 범위	2×10^-11 ... 1×10^-2 mbar (모듈식 에미션 전류 사용)
X-선 제한	<10^-11 mbar
피드스루	Al₂O₃ 세라믹
베이크 아웃 온도	≤400 °C
진공에 노출된 재료	NiFe, Al2I3, 스테인리스강, Mo, 텅스텐
특징	Y2O3 코팅된 이리듐 필라멘트 몰리브덴 애노드

측정 원리	Extractor, 핫 캐소드 이온화
측정 범위	2×10^-12 ... 1×10^-4 mbar
X-선 제한	<10^-12 mbar
피드스루	Al₂O₃ 세라믹
베이크 아웃 온도	≤400 °C
진공에 노출된 재료	NiFe, Al₂O₃, 스테인리스강, Y₂O₃, Mo, 텅스텐
특징	Y2O3 코팅된 이리듐 필라멘트, 몰리브덴 애노드

파트 넘버

액세서리

	IE414
399-661	IE414 DN 40 CF-F
399-676	교체용 캐소드 IE414
	IE514
399-663	IE514 DN 40 CF-F
399-677	교체용 캐소드 IE514

	게이지 헤드 케이블 - IM540 IE414/514, 80°C로 연결
399-680	3 m
399-681	5 m
399-682	10 m
399-685	50 m

	게이지 헤드 케이블 - IM540 IE414/514, 200°C로 연결
399-686	3 m
399-687	5 m
399-688	10 m
399-690	50 m