Vacuum Gauge Controller

IM540

다기능 핫 캐소드 이온화 패시브 게이지 컨트롤러

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진공 게이지 컨트롤러 IM540은 다기능 이온화 게이지 컨트롤러로, 10-12 mbar 및 대기압 범위에서 완벽한 진공 측정 및 제어를 제공합니다. 어플리케이션과 사용자의 요구에 따라 피라니, 커패시턴스 다이아프램, 베이야드-알퍼트, 익스트랙터 등 최대 4가지 진공 측정 원리를 결합할 수 있는 IM540은 하나의 솔루션입니다. 이 컨트롤러를 사용하면 복잡한 공정 제어 시스템에 안정적이고 완벽하게 통합할 수 있습니다.

장점

IE414(베이야드-알퍼트) 및 IE514(추출기) 핫 캐소드 이온화 게이지의 작동 지원
PSG5xx(피라니), PCG55x(피라니-커패시턴스 다이아프램) 및 CDG(커패시턴스 다이아프램) 액티브 게이지 라인에서 2개의 액티브 게이지를 연결하여 작동할 수 있습니다.
파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 메뉴 안내 디스플레이로 간단한 조작 가능
내장 RS232 통신 인터페이스, 프로피버스 DP 인터페이스 보드(옵션)(IF 540 P)
히스테리시스를 조정할 수 있는 2개의 셋 포인트(옵션 7)
고해상도 - 16비트 A/D 컨버터
프로그래밍 가능한 0~10V 차트 레코더 출력 2개

사양

IM540

측정 채널	4
디스플레이	LCD, LED 백라이트
표시 속도	4 s^-1
측정 범위	1 x 10^-12 ... 1100 mbar
측정 단위(선택 가능)	mbar, Torr, Pa, hPa, 미크론, V
측정 범위 전환	자동 또는 10년 사전 선택
차트 레코더 출력	로그 0~10V(1V/데시) 또는 선형 0~10V
인터페이스	RS232C, 프로피버스(IF540P 포함)
스위칭 임계값 (단일 작동 또는 간격)	2 플로팅 전환 접점 포함
전원 공급 장치	90 ... 264 V (ac)
주파수	47 ... 63 Hz
작동 온도	+5 ... +40°C

파트 넘버

액세서리

399-660

IM540 진공 게이지 컨트롤러

399-661	IE414 DN 40 CF-F
399-676	교체용 캐소드 IE414

399-663	IE514 DN 40 CF-F
399-677	교체용 캐소드 IE514

	인터페이스 보드
399-670	IF540P 프로피버스 DP 인터페이스 보드

	IE414/514용 게이지 헤드 케이블, 80 °C
399-680	3 m
399-681	5 m
399-682	10 m
399-685	50 m

	IE414/514 - 게이지 헤드 케이블, 200 °C
399-686	3 m
399-687	5 m
399-688	10 m
399-690	50 m

게이지 개요

IE414

IE514

PSG5xx

PCG55x

CDG (e.g. CDG025D, CDG045D)

게이지 원리	베이야드-알퍼트, 핫 캐소드 이온화

압력 범위	2×10-11 ... 1×10-2 mbar(모듈식 에미션 전류 사용)

베이크 아웃 온도	≤400 °C

게이지 원리	익스트랙터, 핫 캐소드 이온화

압력 범위	2×10^-12 ... 1×10^-4 mbar

베이크 아웃 온도	≤400 °C

게이지 원리	피라니(액티브 게이지 유형)

압력 범위	8x10^-4 mbar to ATM

베이크 아웃 온도	≤80 / 250°C(모델에 따라 다름)

게이지 원리	피라니-커패시턴스 다이아프램(액티브 게이지형)

압력 범위	5×10^-5 mbar to 1.5×10³ mbar

베이크 아웃 온도	≤80 / 250°C(모델에 따라 다름)

게이지 원리	커패시턴스 다이아프램(액티브 게이지형)#

압력 범위	사용자가 선택할 수 있는 4개의 풀 스케일

베이크 아웃 온도	모델에 따라 다름

측정 구성

채널 1 + 2

채널 3 + 4

게이지 원리	핫 캐소드 이온화 게이지

게이지 모델	IE414(베이야드-알퍼트) IE514(익스트랙터)

게이지 원리	액티브 게이지: 피라니 피라니-커패시턴스 다이아프램 커패시턴스 다이아프램

게이지 모델	PSG5xx PCG55x CDG(예: CDG025D, CDG045D)