진공 게이지 컨트롤러
IRC081
이온 레퍼런스 게이지 IRG080으로 새로운 표준 설정
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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이온 레퍼런스 게이지 컨트롤러 IRC081과 사용자 인터페이스는 표준화된 이온 레퍼런스 게이지 IRG080에 대한 작동 및 디스플레이 인터페이스입니다. IRC081은 IRG080 게이지에 대한 정밀한 기준 총 압력 측정 및 로컬 제어를 제공합니다. USB 컴퓨터 인터페이스를 통해 원격으로 판독 및 스위치 온/오프 기능을 사용할 수 있습니다.
직관적인 "IRC081 사용자 인터페이스" 소프트웨어가 포함되어 있어 선택한 설정과 측정된 압력 값을 편리하게 그래픽으로 표시할 수 있습니다. IRC081 작동 유닛은 다양한 길이의 케이블 세트와 함께 제공됩니다.
장점
- 정확한 진공 압력 측정을 위한 작동 및 디스플레이 솔루션
- 모든 IRG080 게이지 파라미터 세트에서 사용자 제어 가능
- 5개의 전위차계를 사용한 간단한 수동 조작
- USB-B 포트를 통해 PC에 사용자 인터페이스 연결
- LabVIEW의 PC 소프트웨어
- 데이터 로그 및 파라미터 로그 기능
- 상태 및 진공 인터록을 위한 외부 포트
패널 보기
전면
뒤로
| A | PC에 연결하기 위한 USB 포트 |
| B | 음극 바이어스 전압을 설정하는 바이어스 노브 |
| C | 웨넬트 전압을 설정하는 웨넬트 노브 |
| D | 케이지(양극) 전압을 설정하는 케이지 노브 |
| E | 디플렉터 전압을 설정하는 디플렉터 노브 |
| F | 패러데이 전압을 설정하는 패러데이 노브 |
| G | USB 연결을 위한 상태 LED 디스플레이 |
| H | USB 연결용 ACTIVE LED 디스플레이 |
| I | 전원 LED 디스플레이 |
| J | 필라멘트 확인 LED 디스플레이 |
| K | 인터락 확인 LED 표시 |
| L | 측정 LED 표시 |
| A | 게이지 연결(이온 수집기 전류 입력) |
| B | 디플렉터 측정 소켓(디플렉터 전압) |
| C | 웨넬트 측정 소켓(웨넬트 전압) |
| D | FIL HIGH 측정 소켓(바이어스 전압 - 상위 값) |
| E | GND 측정 소켓 |
| F | 전원 스위치 및 장치 퓨즈가 있는 전원 공급 장치 |
| G | 내부 보호 도체용 부착 및 접지 나사 |
| H | 진공 인터락/상태 연결부 |
| I | FIL LOW 측정 소켓(바이어스 전압 - 하한값) |
| J | 케이지 연결(양극 전압) |
| K | 패러데이 연결(패러데이 전압) |
| L | 게이지 연결(센서에 대한 인터페이스) |
사용자 인터페이스
IRC081 사용자 인터페이스를 통한 단일 제어 창
- 측정 온/오프 제어
- 에미션 전류 제어
- 압력 값, 설정 전압 값, 측정된 전류 값, 전송률이 포함된 전체 디스플레이
- 현재 압력 및 전류 값의 그래프 표시
- 이온 전류 측정 범위의 수동 또는 자동 설정
- 가스 유형 보정 및 감도를 위한 디스플레이(구성 가능)
- 인터록 및 시스템 상태 표시
- 경고 및 지침 메시지 영역
전체 게이지 구성
- 가스 유형
- 센서 감도(mbar-1)
- 최대 필라멘트 히터 전류c
데이터 저장소
- 로깅 설정 메뉴
사양
IRC081
IRC081
| 측정 채널 | 1 |
| 측정 속도 | 1 s-1 |
| 사용자 인터페이스 | 전면 패널, PC 소프트웨어 |
| 수동 제어 | 노브 5개 |
| 원격 제어 | USB 2.0을 통해 PC 소프트웨어 "IRC081 사용자 인터페이스" 포함 |
| 측정 범위 | <1 x 10-8 ... 1 x 10-4 mbar |
| 측정 단위(선택 가능) | mbar, Torr, Pa |
| 컨트롤러 연결 | |
| 게이지 이온 수집기 | 베요넷(BNC) |
| 게이지 제어 인터페이스 연결 | 푸시풀 셀프 래칭, 7핀 |
| 진공 인터록/상태 포트 | 1 × D-sub 9핀 |
| 사용 가능한 입력/출력 신호 | 1 × 센서 상태, 1 × 외부 진공 인터록 |
| 아날로그 측정 소켓 | 7(필라멘트 2개, 웨넬트, 양극, 디플렉터, 패러데이, GND) |
| 인터페이스(디지털) | USB 2.0 |
| 전원 공급 장치 | 100 ... 240 V (ac) |
| 주파수 | 50 ... 60 Hz |
| 작동 온도 | +5 ... +40 °C |
파트 넘버
파트 넘버
액세서리
| 399-880 | IRC081 이온 레퍼런스 게이지 컨트롤러, USB 2.0 |
| 내열성 게이지 헤드 케이블, IRG080으로 설정, 접촉 보호 기능 포함 | |
| 399-883 | 5 m (16.4 ft) |
| 399-884 | 10 m (32 ft) |
| 399-885 | 15 m (49.5 ft) |
| 충격 방지 측정 라인, CAT III, 1m | |
| 399-887 | 검은색 |
| 399-888 | 빨간색 |
| IRG080 | |
| 399-874 | 이온 레퍼런스 게이지 IRG080, DN 63 CF-F |
| 399-875 | 이온 레퍼런스 게이지 IRG080, DN 63 CF-F, 뮤-메탈 중간 피스 포함 |
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