IRG080

이온화 진공 측정기의 새로운 표준.

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이온 레퍼런스 게이지 IRG080은 진공 시스템에서 정밀한 총 압력 측정을 위해 개발된 최초의 진공 센서입니다. 혁신적인 개념의 이온화 진공 게이지(핫 캐소드가 패러데이 컵으로 직선 경로를 따라 이동하는 전자를 방출)를 기반으로 하는 IRG080은 10-8 mbar ~ 10-4 mbar 범위의 기준 표준으로 적합합니다.

IRG080은 1% 미만의 탁월한 정확도, 매우 작은 스프레드로 예측 가능한 가스 감도, 매우 우수한 단기 반복성 및 재현성을 제공합니다. 이 게이지는 계측 및 교정에 이상적인 솔루션입니다. IRG080은 IRC081 디스플레이 및 작동 장치에 의해 연결되고 제어됩니다.

장점

고진공 및 초고진공 범위에서 높은 측정 정확도가 요구되는 어플리케이션을 위해 개발되었습니다.
ISO TS 6737에 따른 전극 시스템 구성
불확실성이 적고 예측 가능한 상대 가스 감도로 모든 가스 종에 대한 실제 압력 제공
안정적인 전자 방출 및 ESD 또는 X-선 효과의 영향 없음
재현 가능하고 운반이 용이함
165°C(내열 케이블 사용 시) 또는 커넥터 유닛 없이 최대 400°C까지 베이킹 가능
자기 차폐 목적으로 뮤-메탈 중간 부품 사용 가능

작동 단위

이온 레퍼런스 게이지 컨트롤러 IRC081

레퍼런스 표준

N2의 경우 1% 미만의 정확도
예측 가능한 가스 감도, 매우 작은 스프레드(1.5% 미만)
진정한 총 압력 측정
매우 우수한 단기 반복성(<1%) 및 재현성(<1%)

측정 원리

캐소드(왼쪽)을 떠난 전자는 애노드에 의해 200eV로 가속되고 이온 콜렉터에 의해 집중됩니다. 전자 경로의 길이가 잘 특성화되어 있으므로 게이지의 감도를 예측할 수 있습니다. 애노드 그리드 내의 전자에 의해 생성된 이온은 컬렉터로 가속되어 전류로 측정됩니다. 애노드 그리드 외부에서 생성된 이온은 디플렉터에 의해 포착됩니다.

IRG080 Measurement Principle Illustration

하나의 완벽한 패키지

이온 기준 게이지 컨트롤러 IRC081을 통한 작동 및 디스플레이 인터페이스
사용자는 IRG080 게이지 파라미터를 제어할 수 있습니다.
IRC081 사용자 인터페이스 소프트웨어(LabVIEWTM)에 표시되는 설정 및 측정 값
데이터 및 파라미터 로깅 기능

사양

측정 시스템	핫 캐소드 이온화
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전극 시스템 구성	ISO TS 6737에 따라
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IRC081 컨트롤러를 사용한 측정 범위(N2)	<1×10^-8 … 1×10^-4 mbar
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감도(N2, 일반)	29 mbar^-1
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정확도(N2, 일반)	<±1% of reading
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반복성(N2)	<±1% of reading
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피드스루	Al₂O₃세라믹
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베이크 아웃 온도	≤400 °C
#
진공에 노출된 재료	스테인리스 스틸, NiFeCo, Al2O3, Ta, W

Download full specifications

파트 넘버

액세서리

	IRG080
399-874	IRG080 DN 63 CF-R, BNC 및 멀티핀 커넥터
399-875	IRG080 DN 63 CF-F, BNC 및 멀티핀 커넥터, 뮤-메탈 중간 피스

	내열성 게이지 헤드 케이블, IRC081로 설정, 접촉 보호 기능 포함 IRG080 165°C
399-883	5 m (16.4 ft)
399-884	10 m (32 ft)
399-885	15 m (49.5 ft)

399-890	교체용 캐소드
399-891	뮤-메탈 중간 피스, DN 63 CF-F
399-892	중간 피스용 보호 격자