Cold Cathode Gauges

MPG40X ATM~초고진공 게이지

INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지인 MPG400 및 MPG401은 5 x 10^-9 mbar ~ 대기(3.8 x 10^-9 Torr ~ 대기)를 측정합니다.

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INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지인 MPG400 및 MPG401은 5 x 10^-9 mbar ~ 대기(3.8 x 10^-9 Torr ~ 대기)를 측정합니다. 하나의 로그 아날로그 출력 신호를 사용하는 하나의 소형 장치에 기술을 결합하면 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 크게 줄어듭니다.

장점

조합 게이지 – 전환형 마그네트론 및 Pirani
5 x 10^-9 mbar ~ 대기의 광범위한 측정 범위
단선될 필라멘트 없음
뛰어난 점화 특성
세척 용이
FPM 또는 금속 씰링 피드스루
고전압 LED 표시등
로그 아날로그 출력 신호

일반적인 응용 분야

고진공 압력 모니터링
증발 및 스퍼터링 시스템에 대한 기저 압력
중진공부터 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

사양서

MPG400 FPM sealed

MPG401 metal-sealed

측정 범위(공기, N₂)	mbar Torr	5 x 10^-9 … 1000 3.8 x 10^-9 … 760

정확성(N₂)
1 x 10^-8 … 100 mbar	% of reading	≈±30%

Repeatability
1 x 10^-8 … 100 mbar	% of reading	≈±5%

허용 온도
작동(주변)	°C	+5 … +55
보관	°C	–40 … +65
베이크 아웃 (1)	°C	150

공급 전압
게이지	V (dc)	+15 … +30
최대 케이블 길이의 공급 유닛에서 (2)	V (dc)	+16 … +30
리플	V (p-p)	≤1

전력 소모량	W	≤2

진공에 노출된 재료		stainless steel, Al₂O₃, FPM75, Mo, Ni, Au, W

(1) 전자장치 및 자기 차폐 장치가 없습니다. (2) 공급 장치의 최소 전압은 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다.

측정 범위(공기, N₂)	mbar Torr	5 x 10^-9 … 1000 3.8 x 10^-9 … 760

정확성(N₂)
1 x 10^-8 … 100 mbar	% of reading	≈±30%

Repeatability
1 x 10^-8 … 100 mbar	% of reading	≈±5%

허용 온도
작동(주변)	°C	+5 … +55
보관	°C	–40 … +65
베이크 아웃 (1)	°C	150

공급 전압
게이지	V (dc)	+15 … +30
최대 케이블 길이의 공급 유닛에서 (2)	V (dc)	+16 … +30
리플	V (p-p)	≤1

전력 소모량	W	≤2

진공에 노출된 재료		stainless steel, Al₂O₃, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W

(1) 전자장치 및 자기 차폐 장치가 없습니다. (2) 공급 장치의 최소 전압은 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다.

전체 사양 다운로드

Part Number

Accessories

Spare Parts

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-010	MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
351-011	MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
351-012	MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-020	MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF
351-021	MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
351-022	MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
351-023	Magnetic shield

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-023	Magnetic shield

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-023	Magnetic shield

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
BN846469-T	Spare measurement system MPG400 DN25 KF

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
BN846472-T	Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
BN846470-T	Spare measurement system MPG400 DN40 KF

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
BN846473-T	Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
BN846471-T	Spare measurement system MPG400 DN40CF-F

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
BN846474-T	Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-994	MPG40x Ignition tool set

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-994	MPG40x Ignition tool set

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-998	MPG400 Repair set.

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-996	MPG401 Repair set

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-999	MPG400 Maintenance set

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-997	MPG401 Maintenance set