Pirani Gauges
PCG55x
INFICON 피라니 용량식 격막 진공계(PCG55x)는 INFICON 피라니 기술과 세라믹 용량식 격막 센서의 이점을 단일 제품에 결합하고 있습니다.
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 피라니 용량식 격막 진공계(PCG55x)는 INFICON 피라니 기술과 세라믹 용량식 격막 센서의 이점을 단일 제품에 결합하고 있습니다.
10 mbar ~ 대기의 측정 범위에서 용량식 격막 기술은 신뢰할 수 있는 압력 측정을 위해 가스 유형 독립형의 매우 정확한 값을 제공합니다. PCG55x는 요구되는 분야에 적합한 제품 구성이 가능한 다양한 기능도 제공합니다.
장점
- 10 mbar 초과하는 가스 유형 독립적 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 환기할 수 있음
- 대기에서의 높은 정확성 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 신속한 대기압 탐지를 위해
- 다양한 장착 방향 – 공구 설계에서 자유로운 엔지니어링 제공
- 텅스텐(PCG550) 또는 니켈(PCG552) 필라멘트, 또는 부식성이 강한 적용개소를 위한 완전 세라믹 코팅(PCG554) 센서 장치와 함께 사용 가능
- Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- 온보드 보정 데이터를 사용하여 플러그 앤 플레이 센서 요소를 교체하기 쉬움 – 높은 재현성과 낮은 소유 비용 보장
- 통합 용이성을 위한 선택 가능한 출력신호
- 옵션 대기 스위치, 디스플레이 및 디지털 인터페이스
- 규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, CSA, RoHS
일반적인 응용 분야
- 로드록 제어
- 초기 진공 압력 측정
- 진공 시스템 내 안전 회로
- 중진공부터 저진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
사양서
PCG550 Tungsten
PCG552 Nickel
PCG554 ceramic coated
| Measurement range | mbar Torr | 5×10-5 … 1500 3.8×10-5 … 1125 |
| Accuracy (N2) | ||
| 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) | % of reading | ±50 |
| 1×10-3 … 100 mbar (N2) | % of reading | ±15 |
| 100 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 1×10-3 … 1100 mbar (N2) | % of reading | ±2 |
| Admissible temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +10 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +65 |
| Bakeout at flange | °C | ≤80 |
| Bakeout at flange long tube | °C | ≤250 |
| Supply voltage | V (dc) | +15 … +30 |
| Setpoint relay | ||
| Number of setpoints | 2 | |
| Range (N2) | mbar | 5×10-5 … 1000 |
| Relay contact | Relay contact | n.o., potential free |
| Hysteresis | % of threshold | 10 |
| Contact rating solid state relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤0.3 |
| Contact rating mechanical relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤1 |
| Switching time | ms | ≤30 |
| Materials exposed to vacuum | W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass | |
| Measurement range | mbar Torr | 5×10-5 … 1500 3.8×10-5 … 1125 |
| Accuracy (N2) | ||
| 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) | % of reading | ±50 |
| 1×10-3 … 100 mbar (N2) | % of reading | ±15 |
| 100 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 1×10-3 … 1100 mbar (N2) | % of reading | ±2 |
| Admissible temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +10 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +65 |
| Bakeout at flange | °C | ≤80 |
| Bakeout at flange long tube | °C | ≤250 |
| Supply voltage | V (dc) | +15 … +30 |
| Setpoint relay | ||
| Number of setpoints | 2 | |
| Range (N2) | mbar | 5×10-5 … 1000 |
| Relay contact | Relay contact | n.o., potential free |
| Hysteresis | % of threshold | 10 |
| Contact rating solid state relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤0.3 |
| Contact rating mechanical relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤1 |
| Switching time | ms | ≤30 |
| Materials exposed to vacuum | Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass | |
| Measurement range | mbar Torr | 5×10-5 … 1500 3.8×10-5 … 1125 |
| Accuracy (N2) | ||
| 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) | % of reading | ±50 |
| 1×10-3 … 100 mbar (N2) | % of reading | ±15 |
| 100 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 1×10-3 … 1100 mbar (N2) | % of reading | ±2 |
| Admissible temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +10 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +65 |
| Bakeout at flange | °C | ≤80 |
| Bakeout at flange long tube | °C | ≤250 |
| Supply voltage | V (dc) | +15 … +30 |
| Setpoint relay | ||
| Number of setpoints | 2 | |
| Range (N2) | mbar | 5×10-5 … 1000 |
| Relay contact | Relay contact | n.o., potential free |
| Hysteresis | % of threshold | 10 |
| Contact rating solid state relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤0.3 |
| Contact rating mechanical relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤1 |
| Switching time | ms | ≤30 |
| Materials exposed to vacuum | Al2O3, stainless steel | |
Accessories
Spare Parts
| PCG550 Tungsten | |
| Part Number | Description |
| 211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
| 350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
|
| PCG552 Nickel | |
| Part Number | Description |
| 211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
| 350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
|
| PCG554 ceramic coated | |
| Part Number | Description |
| 211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
| 350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
|
| PCG550 Tungsten | |
| Part Number | Description |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF
|
| PCG552 Nickel | |
| Part Number | Description |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF
|
| PCG554 ceramic coated | |
| Part Number | Description |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF
|
| PCG550 Tungsten | |
| Part Number | Description |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3)
|
| PCG552 Nickel | |
| Part Number | Description |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3)
|
| PCG554 ceramic coated | |
| Part Number | Description |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
| PCG550 Tungsten | |
| Part Number | Description |
| 357-925 | PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF |
| 357-926 | PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long |
| 357-927 | PCG550 Spare Sensor, DN16CF-F |
| 357-928 | PCG550 Spare Sensor, DN16CF-R, long |
| 357-929 | PCG550 Spare Sensor, DN25ISO-KF |
| 357-930 | PCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT |
| 357-931 | PCG550 Spare Sensor, 8-VCR |
| 357-932 | PCG550 Spare Sensor, 4-VCR |
| 357-933 | PCG550 Spare Sensor, 7/16-20 UNF |
| 357-934 | PCG550 Spare Sensor, 29x29mm |
| 357-935 | PCG550 Spare Sensor, 4-VCR / 90°
|
| PCG552 Nickel | |
| Part Number | Description |
| 357-936 | PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF |
| 357-937 | PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long |
| 357-938 | PCG552 Spare Sensor, DN16CF-F |
| 357-939 | PCG552 Spare Sensor, DN16CF-R, long |
| 357-941 | PCG552 Spare Sensor, 1/8" NPT |
| 357-942 | PCG552 Spare Sensor, 8-VCR |
| 357-943 | PCG552 Spare Sensor, 4-VCR |
| 357-944 | PCG552 Spare Sensor, 7/16-20 UNF |
| 357-945 | PCG552 Spare Sensor, 29x29mm |
| 357-946 | PCG552 Spare Sensor, 4-VCR / 90°
|
| PCG554 ceramic coated | |
| Part Number | Description |
| 357-947 | PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF |
| 357-948 | PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long |
| 357-949 | PCG554 Spare Sensor, DN16CF-F |
| 357-950 | PCG554 Spare Sensor, DN16CF-R, long |
| 357-951 | PCG554 Spare Sensor, DN25ISO-KF |
| 357-952 | PCG554 Spare Sensor, 1/8" NPT |
| 357-953 | PCG554 Spare Sensor, 8-VCR |
| 357-954 | PCG554 Spare Sensor, 4-VCR |
| 357-955 | PCG554 Spare Sensor, 7/16-20 UNF |
| 357-956 | PCG554 Spare Sensor, 29x29mm |
| 357-957 | PCG554 Spare Sensor, 4-VCR / 90° |
Part Number
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TIRB72E1_PxG55x_Communication Protocol PROFINET
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MPCG55x_Plug_RS485_8VCR.stp
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PCG with ATM Switch EtherCAT New Generation ESI V1.3
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PCG EtherCAT New Generation ESI V1.3
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PCG55x PSG55x GSDML V2.35
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인증서
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EtherCAT ESI file PCG V1_2_1_0
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PCG55X-PC19 Int.eds
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PCG55X-PC19 Real.eds
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PCG55X-PC20 Int.eds
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PCG55X-PC20 Real.eds
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PxG_0C85.GSD
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