PPG550
ATM ~ 중진공 게이지
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새로운 INFICON 피라니 피에조 컴비네이션 게이지(PPG550)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 합니다.
MEMS 공정에서 소형화된 피라니/피에조 컴비네이션 기술은 매우 작은 센서 구성을 가능하게 하여 공간 절약형 센서로 측정 장치의 전체 높이를 매우 작게 유지할 수 있습니다.
낮은 높이의 이점 외에도 MEMS 기술 기반의 피라니는 기존 피라니보다 HV 범위에서 더 깊고 정확하게 측정할 수 있는 이점도 제공합니다. 동일한 플랜지에 장착된 MEMS 피에조 센서와 결합하여 피라니 게이지는 일반적인 1000mbar를 훨씬 넘어 대기 쪽으로 측정 범위를 확장하는 진정한 진공 광역 게이지가 됩니다. 동시에 MEMS 피에조 센서는 2 ... 1333 mbar 범위에서 가스 유형 독립적인 압력 측정을 제공합니다. 언급된 기술의 또 다른 장점은 가속력과 진동에 대한 저항력이 증가했다는 것입니다.
마지막으로 새로운 INFICON PPG550은 소위 MKS910 " DualTrans ™ MicroPirani ™ - 앱솔루트 피에조 진공 압력 트랜스듀서" 및 MKS925 "Micro Pirani™ 진공 압력 트랜스듀서"를 직접 교체하는 데 사용할 수 있습니다. 인피콘 동일한 커넥터/핀 할당, 아날로그 출력 및 RS232/485 호환성을 제공합니다.
장점
- 2 mbar 이상에서 가스 유형에 독립적 – 모든 가스로 안전한 벤팅 가능
- 대기압에서 높은 정확도 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 압력 감지 다양한 장착 방향 – 장비 설계에서 엔지니어링 자유 제공 손쉬운 시스템 통합을 위한 선택 가능한 아날로그 출력 신호
- 디지털 인터페이스 RS232/ RS485 준수 및 표준: CE, EN, UL, CSA, RoHS MKS910 " DualTrans ™ MicroPirani ™ - 앱솔루트 피에조 진공 압력 변환기" 및 MKS925 "Micro Pirani™ 진공 압력
- 변환기"를 직접 교체할 수 있습니다.
- DualTrans ™ MicroPirani ™ 는 등록 상표 입니다. of MKS Instruments, Andover, MA
- 준수 및 표준 : CE, EN, UL, CSA, RoHS
일반적인 응용 분야
- 분석 장비/질량 분석기에서 사용
- 물리적 기상 증착
- 전방 측정
- 가스 되메우기
사양서
| Measurement range (N2) | mbar | 1x10-6 … 1333 |
| Accuracy | ||
| 100 ... 1333 mbar | % of reading | 0.5 |
| 800 ... 1099 mbar | % of reading | 0.25 |
| 100 ... 800 mbar | % of reading | 0.5 |
| 2 ... 99.9 mbar | % of reading | 1 |
| 1 x 10-4 ... 1.99 mbar | % of reading | 5 |
| 1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar | % of reading | 25 |
| Temperature compensation | °C | +10 … +50 |
| Temperature measurement absolute accuracy | °C | +/-1.5 (0 … +80) |
| Supply voltage at the gauge | V (dc) | +12 … 30 |
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