피라니 게이지

PPG570

ATM - 중진공 게이지 + ATM 스위치

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새로운 INFICON Pirani Piezo 조합 게이지(PPG570)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 하며 PPG550 "ATM ~ 중진공" 게이지에도 사용됩니다.

PPG570과 PPG550의 차이점은 기존 로드락 어플리케이션에서 PPG570을 사용할 수 있게 해주는 추가 설치된 ATM 센서입니다. 예를 들어 반도체 산업 또는 대기압에 대한 정확한 압력 측정이 중요한 기타 진공 어플리케이션에서.

MEMS 공정에서 소형화된 피라니/피에조 컴비네이션 기술은 매우 작은 센서 구성을 가능하게 하여 공간 절약형 센서로 측정 장치의 전체 높이를 매우 작게 유지할 수 있습니다.

낮은 높이의 이점 외에도 MEMS 기술 기반의 피라니는 기존 피라니보다 HV 범위에서 더 깊고 정확하게 측정할 수 있는 이점도 제공합니다. 동일한 플랜지에 장착된 MEMS 피에조 센서와 결합하여 피라니 게이지는 일반적인 1000mbar를 훨씬 넘어 대기 쪽으로 측정 범위를 확장하는 진정한 진공 광역 게이지가 됩니다. 동시에 MEMS 피에조 센서는 2 ... 1333 mbar 범위에서 가스 유형 독립적인 압력 측정을 제공합니다. 언급된 기술의 또 다른 장점은 가속력과 진동에 대한 저항력이 증가했다는 것입니다.

마지막으로 새로운 INFICON PPG570을 사용하여 소위 MKS Instruments MKS901P " MicroPirani ™ 및 Piezo Loadlock 진공 압력 변환기"를 직접 교체할 수 있습니다. PPG570 은 동일한 커넥터/핀맵, 아날로그 출력 및 RS232/485 디지털 통신 프로토콜 호환성을 제공합니다.

장점

2mbar 이상에서 독립적인 가스 유형 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 배출할 수 있습니다.
대기에서 높은 정확도와 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 기압 감지
대기압 측정
최대 3개의 솔리드 스테이트 릴레이
다양한 장착 방향 - 도구 설계에서 엔지니어링의 자유를 제공합니다.
손쉬운 시스템 통합을 위한 선택 가능한 아날로그 출력 신호
디지털 인터페이스 RS232/ RS485
MKS901P "MicroPirani™ - 및 Piezo Loadlock 진공 압력 변환기"를 직접 교체할 수 있습니다.
규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, CSA, RoHS

일반적인 응용 분야

반도체 로드락 애플리케이션
분석 장비/질량 분광계에 사용
물리적 기상 증착
물리적 기상 증착

사양서

Measurement range (N2)	mbar	1x10^-6 … 1333

Accuracy

1100 ... 1333 mbar	% of reading	0.5
800 ... 1099 mbar	% of reading	0.25
100 ... 800 mbar	% of reading	0.5
2 ... 99.9 mbar	% of reading	1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar	% of reading	5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar	% of reading	25

Temperature compensation	°C	+10 … +50

Temperature measurement absolute accuracy	°C	+1.5 (0 … +80)

Supply voltage at the gauge	V (dc)	+12 … +30 ripple max. 1 V_pp