Pirani Gauges
PSG010, PSG017 & PSG018
VGC094용 피라니 패시브 게이지 헤드
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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게이지 헤드 PSG010, PSG017 및 PSG018은 진공 게이지 컨트롤러 VGC094와 함께 작동하도록 설계된 오랜 전통의 패시브 피라니 게이지입니다. 이 제품들은 8x10-4~1000 mbar의 압력 범위에서 가스의 진공 측정을 위해 설계되었습니다. 컴팩트한 금속 디자인으로 일반 진공 어플리케이션에 적합한 견고한 솔루션을 제공합니다.
PSG010은 일반 진공 어플리케이션에 적합하지만, PSG017과 PSG018은 금속 밀봉 설계 덕분에 최대 250°C의 베이크 아웃 온도 또는 높은 이온화 방사선 저항이 필요한 까다로운 어플리케이션의 요구에 대응할 수 있습니다. PSG017은 부식성 매체에 적합한 니켈 필라멘트를 사용합니다.
장점
- 엘라스토머(PSG010) 또는 금속 밀폐형(PSG017, PSG018) 설계
- 지정된 높은 측정 정확도 및 반복성
- 최대 100°C(PSG010)/250°C(PSG017, PSG018)의 베이크 아웃 온도
- 최대 106 Gy의 전리방사선 내성(PSG017, PSG018)
- Ni 필라멘트를 사용한 내식성(PSG017)
- 케이블 길이 최대 100m(PI 300 DL/CP 300 T11L 사용 시 500m)
일반적인 어플리케이션
- 저진공에서 고진공 범위의 까다로운 및/또는 고온 응용 분야를 위한 일반 진공 측정 및 제어
작동 단위
- 진공 게이지 컨트롤러 VGC094
사양
PSG010
PSG017
PSG018
| 측정 원리 | Pirani |
| 측정 범위(공기,O2, CO,N2) | 8×10-4 … 1000 mbar |
| 정확도(N2) | |
| ≥100 mbar 범위에서 | 측정값의 최대 계수 2 |
| 실온 및 케이블 길이 <20m | 1×10-1... 10 mba 범위에서 측정값의 ~±20% 10-2 mba 범위에서 측정값의 최대 계수 2까지 |
| 반복성(N2) | 1×10-2 범위에서 측정값의 ~±2% ... 100 mba |
| 피드스루 | 내부 씰 | 유리 | 엘라스토머 (FPM |
| 베이크 아웃 온도 | ≤100 °C |
| 최대 작동 거리 | ≤100 m |
| 진공에 노출되는 재료 | AIMgSi, 유리, FPM, W, Ni, 신터 브론즈 |
| 특징 | 텅스텐(W) 필라멘트 |
| 측정 원리 | Pirani |
| 측정 범위(공기,O2, CO,N2) | 8×10-4 … 1000 mbar |
| 정확도(N2) | |
| ≥100 mbar 범위에서 | 측정값의 최대 인자 2 |
| 실온 및 케이블 길이 <20m | 1×10-2 범위에서 측정값의 ~±10% ... 100 mbar |
| 반복성(N2) | 1×10-2 범위에서 측정값의 ~±2% ... 100 mbar |
| 피드스루 | 내부 씰 | AI2O3 세라믹 | 금속 |
| 베이크 아웃 온도 | ≤250 °C |
| 최대 작동 거리 | ≤100 m |
| 진공에 노출되는 재료 | 106 Gy |
| 특징 | 스테인리스 스틸, AI2O3, Ag, Ni |
| 측정 원리 | 니켈(Ni) 필라멘트, 내식성 |
| 측정 원리 | Pirani |
| 측정 범위(공기,O2, CO,N2) | 8×10-4 … 1000 mbar |
| 정확도(N2) | |
| ≥100 mbar 범위에서 | 측정값의 최대 인자 2 |
| 실온에서 케이블 길이 <20m | 1×10-2 범위에서 측정값의 ~±10% ... 100 mbar |
| 최대 +70°C 및 지정된 케이블 길이의 전체 지정된 케이블 길이의 범위 | 1×10-2 범위에서 측정값의 ~±20% ... 100 mbar |
| 지정된 전체 범위 내 온도 및 케이블 길이 | 1×10-2 범위에서 측정값의 ~±35% ... 100 mbar |
| 반복성(N2) | 1×10-2 범위에서 측정값의 ~±2% ... 100 mba |
| 피드스루 | 내부 씰 | AI2O3 세라믹 | 금속 |
| 베이크 아웃 온도 | ≤250 °C |
| 최대 작동 거리 | ≤500m(PI 300 DL/CP 300 T11L 사용) |
| 이온화 방사선 내성 | 106 Gy |
| 특징 | 스테인리스 스틸, AI2O3, Ag, W, Ni |
| 측정 원리 | 텅스텐(W) 필라멘트 |
파트 번호
파트 번호
악세서리
| PSG010 | |
| 350-400 | DN 10 ISO-KF |
| PSG017 | |
| 350-430 | DN 16 ISO-KF |
| 350-431 | DN 16 CF-F |
| PSG018 | |
| 350-420 | DN 16 ISO-KF |
| 350-424 | DN 16 CF-F |
| 350-423 | DN 40 CF-F |
| VGC094 케이블 | |
| PSG010 80°C | |
| BG548402-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548403-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG548450-T | 10 m (33 ft) |
| BG548451-T | 15 m (49 ft) |
| VGC094 케이블 | |
| PSG017/018 80°C | |
| BG548308-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548309-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG548456-T | 10 m (33 ft) |
| BG548457-T | 15 m (49 ft) |
| VGC094 케이블 | |
| PSG017/018 250°C | |
| BG548414-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548465-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG448047-T | 10 m (33 ft) |
| BG448043-T | 15 m (49 ft) |
| PSG010/017/018 80°C용 연장 케이블 | |
| BG548466-T | 10 m (33 ft) |
| BG548468-T | 20 m (65 ft) |
| BG548470-T | 30 m (99 ft) |
