Pirani Gauges

PSG50x & PSG51x

ATM~중간진공 게이지

Pirani-PSG5XX
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 피라니 표준 게이지인 PSG500, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S에는 시장에서 제공되는 최첨단 디지털 피라니 기술이 적용되어 있습니다. 견고한 스테인리스 스틸 센서 셀 및 소형 디자인 덕분에 반도체 시스템에 사용하거나 전면 진공 라인 등의 표준 적용개소에 사용하기에 적합합니다.

장점

  • 간단한 푸시 버튼 ATM 및 HV 조정
  • 공간 절약형의 견고한 디자인
  • 알루미늄 하우징
  • 모든 방향으로 장착 가능
  • 금속 씰링 피드스루가 있는 스테인레스강 측정 셀
  • 로그 신호 출력으로 손쉬운 통합
  • 나사산 연결부가 있는 10 bar 절대 과압
  • 250°C 베이크 가능 버전
  • 부식성 분야를 위한 니켈 필라멘트 옵션
  • 부식성이 매우 강한 분야에 적합한 세라믹 피드스루(PSG510 및 PSG512)
  • 셋포인트 옵션
  • RoHS 준수

일반적인 응용 분야

  • Controlling high vacuum ionization gauges
  • Fore vacuum pressure monitoring
  • Safety circuits in vacuum systems
  • General vacuum measurement and control in the fine and rough vacuum range

사양서

PSG500 tungsten
PSG500-S tungsten, setpoints
PSG502-S nickel, setpoints
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading±50%
100 … 1000 mbar% of reading±50%
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpointsnone
Setting rangembar
Hysteresis% of reading
Relay contact 
Relay contact: Switching timems
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
전체 사양 다운로드
Part Number
Accessories
Spare Parts
PSG500 tungsten 
350-060PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061PSG500 1/8" NPT
350-062PSG500 DN 16 CF-R
350-063PSG500 1/2" Tube
350-064PSG500 8-VCR (1/2")
350-065PSG500 4-VCR (1/4")
350-066PSG500 7/16-20 UNF
350-067PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-080PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081PSG500-S 1/8" NPT
350-082PSG500-S DN 16 CF-R
350-083PSG500-S 1/2" Tube
350-084PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-140PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141PSG502-S 1/8" NPT
350-142PSG502-S DN 16 CF-R
350-143PSG502-S 1/2" Tube
350-144PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-200PSG510-S DN 16 ISO-KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-300PSG512-S DN 16 ISO-KF
PSG500 tungsten 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG502-S nickel, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
PSG500 tungsten 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-900PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-930PSG510 Spare Sensor DN 16 KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-940PSG512 Spare Sensor DN 16 KF

다운로드

3D 파일
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF
zip 195,3 KB 3D 파일
350-061 PSG500 1/8" NPT
zip 271,2 KB 3D 파일
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
zip 284,1 KB 3D 파일
350-063 PSG500 1/2" tube
zip 265,9 KB 3D 파일
350-064 PSG500 8 VCR®
zip 279,6 KB 3D 파일
350-065 PSG500 4 VCR®
zip 278,4 KB 3D 파일
350-066 PSG500 7/16-20 UNF
zip 277,9 KB 3D 파일
350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF long tube
zip 281,0 KB 3D 파일
350-068 PSG500 DN 16 CF-R long tube
zip 295,4 KB 3D 파일
350-072 PSG500 G1/8"
stp 2,2 MB 3D 파일
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
zip 319,0 KB 3D 파일
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
zip 342,8 KB 3D 파일
350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
zip 355,3 KB 3D 파일
350-083 PSG500-S 1/2" tube
zip 337,7 KB 3D 파일
350-084 PSG500-S 8 VCR®
zip 351,4 KB 3D 파일
350-085 PSG500-S 4 VCR®
zip 350,3 KB 3D 파일
350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
zip 349,7 KB 3D 파일
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF long tube
zip 281,0 KB 3D 파일
350-088 PSG500-S DN 16 CF-R long tube
zip 367,1 KB 3D 파일
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
zip 295,4 KB 3D 파일
350-141 PSG502-S 1/8" NPT
zip 342,8 KB 3D 파일
350-142 PSG502-S DN 16 CF-R
zip 355,3 KB 3D 파일
350-143 PSG502-S 1/2" tube
zip 337,7 KB 3D 파일
350-144 PSG502-S 8 VCR®
zip 351,4 KB 3D 파일
350-145 PSG502-S 4 VCR®
zip 350,3 KB 3D 파일
350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF
zip 349,7 KB 3D 파일
350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF long tube
zip 281,0 KB 3D 파일
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R long tube
zip 367,1 KB 3D 파일
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