Pirani Gauges
PSG55x
ATM To Medium Vacuum Gauge
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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 피라니 표준 게이지(PSG55x)는 PCG55x 및 PSG50x와 마찬가지로 사용 가능한 가장 진보된 디지털 피라니 기술을 사용합니다. 소형 크기 및 다양한 기능과 결합된 견고한 센서 설계는 저진공에서 고진공 범위에 이르는 측정에 적합한 제품으로 적합합니다.
이제 EtherCAT 디지털 인터페이스와 함께 사용할 수 있습니다!
장점
- 텅스텐(PSG550) 또는 니켈(PSG552) 필라멘트 또는 부식성이 높은 응용 분야를 위한 완전 세라믹 코팅(PSG554) 센서 장치와 함께 사용 가능
- 선택적 디스플레이, 설정값 및 디지털 인터페이스
- 최신 EtherCAT 프로토콜 표준 ETG.5003.2080 S(R) V1.3.0
- 플러그 교환이 용이 & 온보드 보정 데이터로 센서 요소 재생 - 높은 재현성과 낮은 소유 비용 보장
- 손쉬운 통합을 위한 선택 가능한 출력 신호 및 다양한 플러그 버전
- 모든 방향으로 장착 - 도구 설계에서 엔지니어링 자유 제공
- 모든 버전의 진단 포트
- 규정 준수 및 기준: 세륨, EN, UL, CSA, RoHS
일반적인 응용 분야
- 전방 진공 압력 측정
진공 시스템의 안전 회로 - 저진공에서 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
사양서
PSG550 Tungsten
PSG552 Nickel
PSG554 세라믹 코팅
| 측정 원리 | Pirani에 대한 열 전도도 정확도 | |
| 측정 범위 | Torr mbar | 5×10-5 … 1000 3.8×10-5 … 750 |
| 정확성(N2) | ||
| 5×10-4 … 1×10-3mbar | 측정값의 % | ±50 |
| 1×10-3 … 100mbar | 측정값의 % | ±15 |
| 100 … 1,000mbar | 측정값의 % | ±50 |
| 반복성(N2) | ||
| 1×10-3 … 100mbar | 측정값의 % | ±2 |
| 장착 방향 | 어느 | |
| 측정 원리 | Pirani에 대한 열 전도도 정확도 | |
| 측정 범위 | Torr mbar | 3.8×10-5 … 750 5×10-5 … 1000 |
| 정확성(N2) | ||
| 5×10-4 … 1×10-3mbar | 측정값의 % | ±50 |
| 1×10-3 … 100mbar | 측정값의 % | ±15 |
| 100 … 1,000mbar | 측정값의 % | ±50 |
| 반복성(N2) | ||
| 1×10-3 … 100mbar | 측정값의 % | ±2 |
| 장착 방향 | 어느 | |
| 측정 원리 | Pirani에 대한 열 전도도 정확도 | |
| 측정 범위 | Torr mbar | 5×10-5 … 1000 3.8×10-5 … 750 |
| 정확성(N2) | ||
| 5×10-4 … 1×10-3mbar | 측정값의 % | ±50 |
| 1×10-3 … 100mbar | 측정값의 % | ±15 |
| 100 … 1,000mbar | 측정값의 % | ±50 |
| 반복성(N2) | ||
| 1×10-3 … 100mbar | 측정값의 % | ±2 |
| 장착 방향 | 어느 | |
Accessories
Spare Parts
| PSG550 Tungsten | |
| 211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
| 350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
| PSG552 Nickel | |
| 211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
| 350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
| PSG554 ceramic coated | |
| 211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF |
| 350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
| PSG552 Nickel | |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF |
| PSG550 Tungsten | |
| # | |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF |
| PSG552 Nickel | |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
| PSG554 ceramic coated | |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
| PSG550 Tungsten | |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
| PSG550 Tungsten | |
| 355-925 | PSG550 Spare sensor, DN 16 ISO-KF |
| 355-926 | PSG550 Spare sensor, DN16 ISO-KF, long |
| 355-927 | PSG550 Spare sensor, DN 16 CF-F |
| 355-928 | PSG550 Spare sensor, DN 16 CF-R, long |
| 355-929 | PSG550 Spare sensor, DN 25 ISO-KF |
| 355-930 | PSG550 Spare sensor, 1/8" NPT |
| 355-931 | PSG550 Spare sensor, 8-VCR |
| 355-932 | PSG550 Spare sensor, 4-VCR |
| 355-933 | PSG550 Spare sensor, 7/16-20 UNF |
| 355-934 | PSG550 Spare sensor, 29x29mm |
| 355-935 | PSG550 Spare sensor, 4-VCR / 90° |
| PSG552 Nickel | |
| 355-936 | PSG552 Spare sensor, DN 16 ISO-KF |
| 355-937 | PSG552 Spare sensor, DN16 ISO-KF, long |
| 355-938 | PSG552 Spare sensor, DN 16 CF-F |
| 355-939 | PSG552 Spare sensor, DN 16 CF-R, long |
| 355-940 | PSG552 Spare sensor, DN 25 ISO-KF |
| 355-941 | PSG552 Spare sensor, 1/8" NPT |
| 355-942 | PSG552 Spare sensor, 8-VCR |
| 355-943 | PSG552 Spare sensor, 4-VCR |
| 355-944 | PSG552 Spare sensor, 7/16-20 UNF |
| 355-945 | PSG552 Spare sensor, 29 x 29mm |
| 355-946 | PSG552 Spare sensor, 4-VCR / 90° |
| PSG554 ceramic coated | |
| 355-947 | PSG554 Spare sensor, DN 16 ISO-KF |
| 355-948 | PSG554 Spare sensor, DN 16 ISO-KF, long |
| 355-949 | PSG554 Spare sensor, DN 16 CF-F |
| 355-950 | PSG554 Spare sensor, DN 16 CF-R, long |
| 355-951 | PSG554 Spare sensor, DN 25 ISO-KF |
| 355-952 | PSG554 Spare sensor, 1/8" NPT |
| 355-953 | PSG554 Spare sensor, 8-VCR |
| 355-954 | PSG554 Spare sensor, 4-VCR |
| 355-955 | PSG554 Spare sensor, 7/16-20 UNF |
| 355-956 | PSG554 Spare sensor, 29x29mm |
| 355-957 | PSG554 Spare sensor, 4-VCR / 90° |
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PxG55x RS232c RS485c Communication Protocol
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MPSG55x_Plug_RS485_UNF.stp
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