커패시턴스 마노메타
SKY® CDG025D
풀 스케일 0.1 ~ 1000 Torr/mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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매우 정확한 온도 보정 압력계의 INFICON SKY CDG025D 용량식 격막 진공계 제품군은 열악한 제조 공구 환경에서 안정적인 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 고급 디지털 전자장치는 게이지 성능을 향상시키고 하나의 누름 버튼 제로 기능 및 설정점 조정과 같이 다루기 쉬운 기능을 제공합니다. 내부식성 세라믹 센서는 대기 버스트를 포함하여 몇 백만 압력 주기의 긴 예상 수명과 함께 탁월한 제로 안정성을 제공합니다. 고유한 센서 차폐(특허 출원 중)는 프로세스 오염으로부터 게이지를 보호합니다. 견고한 기계 설계 및 디지털 전자장치는 EMC 호환성, 장기간 안정성 및 온도 보정을 향상시킵니다. CDG025D는 전원을 켠 후 신속한 안정성과 대기압 노출로부터 신속한 복구를 위한 새로운 표준을 정립합니다.
장점
- 100 mTorr ~ 1000 Torr의 전체 범위
- 전원을 켠 후 조기 안정화
- 대기압에서 빠르게 복원
- 내부식성 세라믹 센서
- 뛰어난 장시간 신호 안정성
- 온도 보상
- 오염 방지 센서
- 원 푸시 버튼 제로 기능
- 광범위한 전원 공급
일반적인 응용 분야
- Etch, CVD, PVD, ALD용 반도체 제조 장비
- 데이터 저장 및 디스플레이 제조 장비
- 산업용 진공 장비
- 일반 고정밀 압력 측정
사양서
1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
| 정확성 | % of reading | 0.2 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 |
| Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
| 정확성 | % of reading | 0.2 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 |
| Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
| 정확성 | % of reading | 0.2 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 |
| Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
| 정확성 | % of reading | 0.25 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 130 |
| 진공에 노출된 재료 |
| Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
| 정확성 | % of reading | 0.5 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 130 |
| 진공에 노출된 재료 |
| Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
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